Hệ thống kính hiển vi điện tử quét kết hợp chùm ion hội tụ DB550

Model: DB550
Hãng sản xuất: CQTEK
Nguồn ion: nguồn ion kim loại lỏng (Ga+); Độ phân giải: 3nm@30kV;
Dải dòng chùm tia: 1 pA~65 nA; Dải điện áp gia tốc: 500 V~30 kV;
Súng điện tử: Schottky FEG;
Độ phân giải: 0.9 nm@15 kV, 1.6 nm@1.0 kV;
Dải điện áp gia tốc: 20 V ~ 30 kV;
Dải dòng chùm tia: 1pA ~ 20 nA;
Dải độ phóng đại: 1x ~ 2.500.000x (1 ~ 16x cho độ phóng đại quang học);
Vật kính công suất không đổi được làm mát bằng nước: công nghệ làm mát kính hiển vi điện tử hiệu quả để đảm bảo sự ổn định của hình ảnh quét, giảm sự trôi nhiệt của hình ảnh;
Siêu đường hầm (Super-Tunnel): Công nghệ xuyên hầm cao áp đảm bảo độ phân giải ở điện áp thấp;
Màn chắn vật kính: 6 lỗ có thể điều chỉnh, có thể thực hiện chuyển đổi bằng lệch điện, không cần điều chỉnh thủ công;
Đường quang điện tử không có điểm giao cắt giúp giảm quang sai hệ thống và cải thiện độ phân giải;
Hệ thống khẩu độ sáu lỗ dùng lệch từ, với các khẩu độ có thể chuyển đổi tự động, không cần điều chỉnh cơ học, đạt được chế độ chụp ảnh độ phân giải cao hoặc chế độ phân tích dòng chùm tia lớn thông qua một cú nhấp chuột để chuyển đổi nhanh chóng.
Hệ thống chân không
1 bơm phân tử turbo; 1 bơm cơ học;
4 bơm ion;
Điều khiển chân không: hoàn toàn tự động, với chức năng khóa liên động chân không, tránh hiệu quả các thao tác sai;
Độ chân không: độ chân không của súng điện tử ≤9×10⁻⁸ Pa; độ chân không của buồng ≤5×10⁻⁴ Pa;
Buồng và bệ mẫu
Giao diện mở rộng: 24, có thể lắp đặt nhiều loại phụ kiện;
Loại bệ mẫu: bệ mẫu tâm cơ học năm trục;
Phạm vi di chuyển của bệ mẫu: X=110 mm, Y=110 mm, Z=65 mm, T:-10°~ +70°, R: 360° có thể điều chỉnh liên tục;
Thể tích lưu trữ mẫu: rộng=380 mm, cao=290 mm, sâu =330 mm;
Kích thước mẫu tối đa: đường kính=300 mm, cao=70 mm;
Module chống va chạm phần cứng: với chức năng phát hiện dòng hấp thụ của bệ mẫu;