Kính hiển vi điện tử quét phát xạ trường SEM5000Pro 
Hãng sản xuất: CIQTEK - Trung Quốc
Model: SEM5000Pro 
Xuất xứ: Trung Quốc
Hình ảnh độ phân giải cao ở điện áp thấp
CIQTEK SEM5000Pro là kính hiển vi điện tử quét phát xạ trường Schottky có độ phân giải cao, chuyên dụng cho hình ảnh độ phân giải cao ngay cả khi sử dụng điện áp kích thích thấp
Việc ứng dụng công nghệ quang học điện tử tiên tiến "Super-Tunnel" giúp tạo ra đường đi của chùm tia không có điểm giao cắt và sử dụng thiết kế thấu kính kết hợp điện tĩnh – điện từ.
Những cải tiến này giúp giảm hiệu ứng tích điện cục bộ, giảm thiểu sai lệch thấu kính, tăng cường độ phân giải hình ảnh ở điện áp thấp và đạt độ phân giải 1,2 nm tại 1 kV, cho phép quan sát trực tiếp các mẫu không dẫn điện hoặc bán dẫn mà vẫn giảm thiểu hiệu quả tác động chiếu xạ lên mẫu.
Thấu kính vật tiêu làm mát bằng nước và giữ nhiệt độ không đổi: Đảm bảo sự ổn định, độ tin cậy và tính lặp lại trong quá trình vận hành thấu kính.
Khẩu độ nhiều lỗ thay đổi được, tích hợp hệ thống điều hướng chùm tia bằng điện từ: Chuyển đổi khẩu độ hoàn toàn tự động, không cần chuyển động cơ học, cho phép chuyển đổi nhanh giữa các chế độ quan sát.

Hệ thống cung cấp bao gồm:
Thân máy chính
Hệ thống quang học điện tử
Súng điện tử: Schottky FEG (Field Emission Gun)
Độ phân giải: 0,8 nm @ 15 kV; 1,2 nm @ 1 kV
Dải điện áp gia tốc: 20 V ~ 30 kV
Dải dòng chùm tia: 1 pA ~ 20 nA
Dải độ phóng đại: 1× ~ 2.500.000× (1 ~ 16× đối với độ phóng đại quang học)
Thấu kính vật tiêu làm mát bằng nước, công suất ổn định: Công nghệ làm mát hiệu quả đảm bảo sự ổn định của hình ảnh quét, giảm hiện tượng trôi ảnh do nhiệt độ
Super-Tunnel: Công nghệ đường hầm điện áp cao đảm bảo độ phân giải cao khi vận hành ở điện áp thấp
Khẩu độ nhiều lỗ: Gồm 6 lỗ có thể điều chỉnh, cho phép chuyển đổi khẩu độ bằng điều hướng điện tử, không cần điều chỉnh thủ công
Đường đi chùm tia không có điểm giao cắt (non-crossover electron optical path): Giảm sai lệch hệ thống và nâng cao độ phân giải
Hệ thống khẩu độ sáu lỗ điều hướng bằng từ, cho phép chuyển đổi khẩu độ tự động mà không cần điều chỉnh cơ học, hỗ trợ chuyển đổi nhanh chỉ bằng một thao tác nhấp giữa chế độ hình ảnh độ phân giải cao và chế độ phân tích dòng chùm tia lớn.
Hệ thống chân không
1 bơm turbo phân tử
1 bơm cơ học
2 bơm ion
Hệ thống điều khiển chân không: Tự động hoàn toàn, có tích hợp chức năng liên khóa chân không (vacuum interlock), giúp ngăn ngừa thao tác sai
Mức độ chân không:
     Tại súng điện tử: ≤ 9 × 10⁻⁸ Pa
     Tại buồng mẫu: ≤ 5 × 10⁻⁴ Pa
Buồng chân không và bàn gá mẫu
Giao diện mở rộng: 16 cổng, có thể lắp đặt nhiều loại phụ kiện khác nhau
Bàn giữ mẫu: Bàn dịch chuyển tự động 5 trục
Phạm vi di chuyển của bàn mẫu:
     Trục X = 110 mm
     Trục Y = 110 mm
     Trục Z = 65 mm
     Nghiêng (Tilt): -10° ~ +70°
     Quay (Rotate): 360° điều chỉnh liên tục
Thể tích lưu trữ mẫu trong buồng:
     Rộng = 360 mm
     Cao = 317 mm
     Sâu = 310 mm
Kích thước mẫu tối đa:
    Đường kính = 260 mm
    Chiều cao = 53 mm
Tải trọng tối đa của bàn giữ mẫu: 500 g
Mô-đun chống va chạm phần cứng: Tích hợp chức năng phát hiện dòng điện hấp thụ của bàn mẫu để ngăn ngừa va chạm
Bộ phụ kiện
Detector trong trục (In-lens detector): Hỗ trợ các chế độ hình ảnh SE (Secondary Electrons – điện tử thứ cấp) và TOP-BSE (Backscattered Electrons – điện tử phản xạ từ vùng trên cùng)
Detector loại ETD (Everhart-Thornley Detector): Hỗ trợ các chế độ hình ảnh SE và BSE (Backscattered Electrons)
Phần mềm và hiển thị hình ảnh
Hiển thị hình ảnh: 768×512 hoặc 1536×1024 pixel
Lưu trữ hình ảnh: Độ phân giải tối đa 48.000 × 32.000 pixel
Hỗ trợ chụp ảnh đồng thời 4 kênh, cho phép hiển thị hình ảnh từ các loại tín hiệu khác nhau cùng lúc

Bộ phân tích phổ tán xạ năng lượng (EDS) – Bruker Quantax Compact 30
Bộ phân tích phổ tia X tán xạ năng lượng (EDX) phải là một hệ thống dễ sử dụng, phục vụ cho các mục đích phân tích vi cấu trúc định tính và định lượng trong công nghiệp, nghiên cứu và giáo dục.
Phần mềm định lượng không cần chuẩn (standardless quantification) của hệ thống cho phép đánh giá phổ theo cách thủ công, tự động hoặc tương tác, và cung cấp kết quả đáng tin cậy cho cả mẫu bề mặt bóng hoặc gồ ghề.
Detector của hệ thống EDX phải hoàn toàn không cần bảo trì, sử dụng detector trôi silicon (Silicon Drift Detector – SDD), không yêu cầu làm mát bằng nitơ lỏng (LN₂), có khả năng xử lý tốc độ cao và độ nhạy vượt trội đối với các nguyên tố nhẹ.
Hệ thống EDX phải tích hợp bộ quét mạnh mẽ để thu nhận hình ảnh, đường quét tuyến tính (line scan) với chức năng PTS, và HyperMap (bản đồ phổ siêu phổ) bao gồm cả khả năng giải chồng phổ theo thời gian thực (online deconvolution) để tách biệt các đỉnh phổ chồng lắp.
Tính năng tạo báo cáo nhanh, cùng với phần mềm xử lý ngoại tuyến miễn phí, cũng phải được cung cấp kèm theo hệ thống EDX này.

Bộ dò điện tử phản xạ có thể thu gọn (Retractable BSE) model GY-BSED203 - Loại detector bán dẫn
Gồm bốn phần cảm biến, mỗi phần có thể hoạt động độc lập
Ba chế độ làm việc: chế độ phân tích thành phần