Quang phổ quang điện tử XPS FlexMod

Giới thiệu

FlexMod là một loạt các mô-đun chuyên dụng, có thể được kết hợp với nhau hoặc là các hệ thống mà sau này có thể được nâng cấp mở rộng. Có các mô-đun được xác định rõ ràng cho XPS (FlexPS), SPM (FlexPM), Chuẩn bị mẫu (FlexPrep) và tra mẫu (FlexIntro).

Các mô-đun hệ thống FlexMod là một khái niệm mô-đun có thể tích hợp nhiều công nghệ hiện đại khác nhau vào một hệ thống cho các giải pháp khoa học phân tích bề mặt. Với khả năng này, các nhà khoa học có thể tập trung vào các giải pháp vấn đề khoa học, thay vì đi sâu vào các chi tiết nhỏ của thiết kế hệ thống phức tạp. Người dùng có thể bắt đầu từ các mô-đun để xây dựng cấu hình thiết bị tối ưu hóa cho một ứng dụng chuyên dụng. Với tất cả các mô-đun sẵn có, sự kết hợp ngay lập tức hoặc sau này của một số mô-đun lựa chọn thêm sẽ giúp xây dựng một hệ thống đa phương thức, được tối ưu hóa chính xác cho ứng dụng hiện tại cũng như khả năng phát triển trong tương lai với các ứng dụng mở rộng.

FlexMod Modules

FlexPS Module quang phổ

 

 

FlexPrep Module cho chuẩn bị mẫu

 

 

FlexIntro Module cho tra mẫu

 

 

FlexMan Module cho vi thao tác mẫu

 

 

FlexPM Module cho kính hiển vi quét đầu dò

 

 

FlexProbe Module mới nhất cho đầu dò micro và HAXEPS

FlexPS

Buồng UHV được thiết kế đặc biệt với hình học được tối ưu hóa để kết hợp các ứng dụng quang phổ điện tử như XPS, UPS, AES và ISS với hiệu suất đầy đủ cho từng phương pháp.

Tính năng chính

  • Hình học được tối ưu hóa cho tất cả các ứng dụng quang phổ electron và ion
  • Dễ dàng tùy chỉnh
  • Dễ dàng nâng cấp
  • Hiệu quả về chi phí

Trung tâm của hệ thống quang phổ quang điện tử FlexPS là một buồng UHV được thiết kế đặc biệt với hình học được tối ưu hóa cho tất cả các ứng dụng quang phổ điện tử và ion phổ biến. Hệ thống quang phổ quang điện tử FlexPS cho phép kích thước mẫu lên tới 2” sử dụng các khả năng thao tác với tối đa 6 trục di chuyển. 

Trung tâm phân tích của quang phổ FlexPS là máy phân tích bán cầu linh hoạt cao PHOIBOS, các cấu hình có sẵn cho ESCA, XPS, ARXPS, ARPES, UPS, AES, SAM, ISS, thu thập dữ liệu ảnh chụp nhanh và chế độ phát hiện 2D. Tùy thuộc vào ứng dụng, có thể chọn các nguồn kích thích phù hợp từ nhiều tùy chọn:

Các nguồn tia X cho X PS/ESCA bao gồm nguồn tia X anode kép XR 50 và nguồn tia X đơn sắc FOCUS 500 và các nguồn μ-FOCUS đặc biệt

  • Nguồn điện tử EQ 22 cho AES và nguồn điện tử cho SEM/SAM với độ phân giải ngang 100 nm
  • Nhiều nguồn UV cho UPS: UVS 10/35
  • Nguồn ion để chuẩn bị mẫu.

Chuẩn bị mẫu XPSFlexPrep mô đun với buồng UHV được thiết kế đặc biệt với nhiều kỹ thuật chuẩn bị tại chỗ  bao gồm khắc ion, lắng đọng chùm tia điện tử, phân tích LEED và RHEED cho phân tích XPS.

SPECS cũng cung cấp nhiều loại thiết bị kỹ thuật và phụ kiện tương ứng. Mô-đun FlexPrep là phần mở rộng của mô-đun FlexPS và FlexPM để chuẩn bị mẫu riêng biệt nhưng tại chỗ. Điều này cho phép mức độ tinh khiết cao nhất trong phân tích kết hợp với tính linh hoạt cần thiết để chuẩn bị. 
Thao tác mẫu FlexPrep bao gồm các giải pháp có kích thước mẫu lên tới 2” với tối đa 5 trục di chuyển và các tính năng làm nóng và làm mát mẫu mở rộng. Ngoài ra, một buồng giữ mẫu thể được thêm vào để giữ độ sạch cho mẫu. Tùy thuộc vào ứng dụng, có thể chọn các phụ kiện phù hợp để chuẩn bị mẫu từ nhiều tùy chọn:

  • Nguồn ion IQE 11/35 để làm sạch mẫu
  • Nguồn plasma PCS-ECR, MPS-ECR hoặc PCS-RF để chuẩn bị mẫu với khí phản ứng
  • Thiết bị bay hơi chùm tia điện tử dạng túi đơn, EBE-1, EBE-4, cấu hình để lắng đọng màng mỏng
  • Hệ thống quang học LEED ErLEED với tùy chọn Auger và gói phần mềm Safire để thu thập và đánh giá hình ảnh
  • Bộ thao tác mẫu lên đến 6 trục, kích thước mẫu lên đến 2” và khả năng làm gia nhiệt và làm mát

TÍNH NĂNG CHÍNH

  • Tải mẫu nhanh
  • Bơm chân không nhanh
  • Dễ dàng tùy chỉnh
  • Dễ dàng nâng cấp
  • Hiệu quả về chi phí

Flex Intro là hệ thống chuyển mẫu đặc biệt với thể tích tối thiểu giúp thời gian bơm xuống chân không nhanh. Hệ thống được thiết kế để xử lý mẫu và nạp các tấm mẫu cho kích thước mẫu lên đến 10 mm x 10 mm. 

Flex Intro Plus là một hệ thống khóa tải đa năng tiên tiến với các đường dẫn nâng cấp để chuẩn bị mẫu và phân phối mẫu. Hệ thống đã mở rộng khả năng xử lý mẫu cho kích thước mẫu lên tới 2”, khả năng lưu trữ mẫu lên tới 8 mẫu và phân phối mẫu. Các cổng được tối ưu hóa cho các tùy chọn chuẩn bị mẫu, như gia nhiệt để khử khí, bắn phá ion và lắng đọng. Cấu hình bơm có thể được chọn để phù hợp với áp suất mong muốn. Hệ thống có phân phối mẫu với băng chuyền và kết nối lên đến 5 buồng vệ tinh. 

  • Các khả năng chuẩn bị mẫu bao gồm nguồn ion IQE 11/35, nguồn cracker hydro TGC-H, thiết bị bay hơi chùm tia điện tử, EBE-1 hoặc EBE-4 hoặc nguồn plasma.
  • Có thể lựa chọn thêm bộ loadlock

Mô-đun vi thao tác FlexMan cho phép cấu hình linh hoạt với tối đa 5 bậc tự do để thao tác mẫu và lựa chọn hành trình Z, bao gồm làm nóng, làm mát và cơ giới hóa tùy chọn. Để gắn mẫu, có sẵn nhiều loại tấm mẫu có thể chuyển đổi. Các mẫu được gắn trực tiếp vào các tấm mẫu, giúp vận hành linh hoạt. 

TÍNH NĂNG CHÍNH

  • Nhiều loại tấm mẫu khác nhau có sẵn để gia nhiệt bằng dòng điện trực tiếp, gia nhiệt bằng chùm tia điện tử, mẫu bột, v.v.
  • Các vật liệu khác nhau có sẵn bao gồm thép không gỉ, Ta và Mo
  • Kết nối cặp nhiệt điện có thể chuyển đổi để đo nhiệt độ chính xác ở bề mặt mẫu, ví dụ như đối với các nghiên cứu giải hấp phụ được lập trình bằng nhiệt độ
  • Lưu trữ mẫu cho tối đa ba mẫu được gắn vào bộ thao tác
  • Cơ giới hóa của trục thao tác riêng lẻ hoặc tất cả các trục và khả năng điều khiển bằng PC
  • Dễ dàng tùy chỉnh
  • Dễ dàng nâng cấp
  • Hiệu quả về chi phí

FlexPM là module được thiết kế đặc biệt với hình học được tối ưu hóa để kết hợp các kỹ thuật chuẩn bị mẫu và các ứng dụng hiển vi quét xuyên hầm STM và hiển vi lực nguyên tử AFM có độ phân giải nguyên tử.

CÁC TÍNH NĂNG CHÍNH

  • Hình học được tối ưu hóa cho tất cả các ứng dụng SPM
  • Dễ dàng tùy chỉnh
  • Dễ dàng nâng cấp
  • Hiệu quả về chi phí

Mô-đun FlexPM dựa trên STM 150 Aarhus có độ ổn định cao. Dòng SPM Aarhus bao gồm các cấu hình cho STM thuần túy và cả các kết hợp STM/AFM. Đối với AFM, KolibriSensor đặc biệt được sử dụng có hiệu suất song song cho STM và AFM. Trong tất cả các cấu hình, việc chuẩn bị đầu tip tại chỗ để có độ phân giải tối ưu trong SPM là một tính năng độc đáo của thiết kế Aarhus. Có thể chọn thiết bị điện tử STM nhanh nhất cũng như thiết bị điện tử Nanonis có tính linh hoạt cao cho SPM. Phạm vi nhiệt độ cho SPM có thể được chọn từ nhiệt độ âm sâu nitơ lỏng hoặc heli đến nhiệt độ cao lên tới 1300 K.

Tùy thuộc vào ứng dụng, có thể chọn các phụ kiện phù hợp để chuẩn bị mẫu từ rất nhiều tùy chọn:

  • Nguồn ion IQE 11/35 để chuẩn bị mẫu và chuẩn bị đầu tip
  • Thiết bị bay hơi chùm tia điện tử dạng pocket đơn hoặc multi, EBE-1, , EBE-4, lắng đọng màng mỏng
  • Buồng chứa mẫu với bệ mẫu gia nhiệt dòng điện trực tiếp lên đến 1400 K

FlexProbe là mô đun mới nhất trong hệ thống FlexMode. FlexProbe, kết hợp đầu dò μ XPS với các kỹ thuật HAXPES trong một hệ thống sáng tạo. Đó là một minh họa cho kinh nghiệm sâu rộng của chúng tôi trong việc phát triển các giải pháp hệ thống phức hợp đáp ứng các yêu cầu đối với các ứng dụng khoa học đòi hỏi khắt khe nhất.

Một trong những tính năng nổi bật của hệ thống là hai nguồn tia X đơn sắc, điểm nhỏ được gắn trên buồng phân tích: µ-FOCUS 195 với cực dương Al để phân tích µ-điểm XPS với độ phân giải bên 10µm cũng như µ- FOCUS 730 với cực dương Cr để kiểm soát HAXPES. Việc chuyển đổi nhanh chóng và dễ dàng giữa năng lượng kích thích AlKα (1,486 keV) và CrKα (5,414 keV) cho phép người vận hành không chỉ mô tả đặc điểm bề mặt mẫu mà còn hiểu rõ hơn về các đặc tính khối. Hệ thống FlexProbe được trang bị máy phân tích điện tử bán cầu SPECS PHOIBOS 150 với đầu dò 1D-DLD, đây là sự kết hợp hoàn hảo cho các phép đo XPS và HAXPES cực nhanh.

Các thành phần khác nhau như nguồn ion hoặc nguồn UV có thể được thêm vào buồng phân tích. Buồng chuẩn bị được trang bị đầy đủ tùy chọn cho phép chuẩn bị mẫu bằng kỹ thuật phún xạ, ủ hoặc lắng đọng. Việc tích hợp các thành phần này trong gói phần mềm SpecsLab Prodigy giúp linh hoạt và dễ sử dụng làm cho FlexProbe trở thành công cụ hoàn hảo cho các tác vụ đo lường XPS hàng ngày của bạn.

CÁC TÍNH NĂNG CHÍNH

  • Máy phân tích năng lượng PHOIBOS 150 với bộ dò (DLD) cho các phép đo cực nhanh
  • Nguồn Al Kα đơn sắc hiệu suất cao cho μ-Probe XPS
  • Nguồn tia X Cr Kα đơn sắc hiệu suất cao cho HAXPES
  • Bộ thao tác mẫu 4 trục với hệ thống gia nhiệt e-beam và làm mát LN 2
  • Nguồn UV tùy chọn UVS 10/35 cho phép đo UPS
  • Buồng chuẩn bị mẫu chuyên dụng tùy chọn
  • Bộ phần mềm SpecsLab Prodigy
  • Phần mềm điều khiển chân không để vận hành hệ thống
  • Chia sẻ qua viber bài: Quang phổ quang điện tử XPS FlexMod
  • Chia sẻ qua reddit bài:Quang phổ quang điện tử XPS FlexMod

sản phẩm

Loading...

Sản phẩm liên quan

Nền tảng điện toán lượng tử trên đám mây IQM Resonance

Nền tảng điện toán lượng tử trên đám mây IQM Resonance  Hãng cung cấp: IQM - Phần Lan IQM Resonance là nền tảng điện toán lượng tử trên đám mây được quản lý hoàn toàn, cung cấp truy cập tức thì đến các QPU (Quantum Processing Unit) tiên tiến, lý tưởng cho doanh nghiệp, viện nghiên cứu và môi trường học thuật
Xem thêm

Máy tính lượng tử siêu dẫn 20, 54 và 150 qubit

Máy tính lượng tử siêu dẫn 20, 54 và 150 qubit Model: IQM Radiance Nhà sản xuất: IQM Quantum Computers - Phần Lan Xuất xứ: Phần Lan IQM Radiance là nền tảng máy tính lượng tử siêu dẫn tiên tiến, được thiết kế cho các trung tâm tính toán hiệu năng cao (HPC), trung tâm dữ liệu, cơ quan chính phủ và các doanh nghiệp muốn khai thác lợi thế lượng tử (quantum advantage). Với các qubit chất lượng cao và tích hợp hybrid, Radiance là giải pháp lý tưởng cho các ứng dụng thực tiễn trong machine learning, an ninh mạng, tối ưu hóa năng lượng, và nghiên cứu hóa học.
Xem thêm

TIN MỚI

CHÚNG TÔI ĐÃ CHUYỂN TỚI WWW.adst.vn

CÁM ƠN BẠN ĐÃ GHÉ THĂM WEBSITE MỚI CỦA CHÚNG TÔI!

CHUYỂN TRANG