Đặc điểm chính
• Công nghệ không mặt nạ: Cho phép tạo mẫu trực tiếp nhanh chóng, lý tưởng cho các ứng dụng cần thay đổi thiết kế liên tục.
• Thiết kế để bàn nhỏ gọn: Tiết kiệm không gian phòng sạch mà vẫn đảm bảo hiệu suất cao.
• Độ phân giải cao: Hỗ trợ các cấu trúc vi mô với độ chính xác và độ lặp lại vượt trội theo tiêu chuẩn Đức.
• Tính linh hoạt: Xử lý được nhiều loại đế (substrate) và kích thước khác nhau.
Thông số kỹ thuật cơ bản
1. Loại hệ thống: Quang khắc Laser không mặt nạ (Maskless Lithography)
2. Dòng sản phẩm: µMLA Series
3. Kích thước đế tối đa: Tùy chỉnh theo cấu hình hệ thống
4. Nguồn sáng: Laser diode ổn định
5. Chế độ vận hành: Tạo mẫu trực tiếp (Direct Writing)
6. Định dạng file hỗ trợ: CAD/GDSII và các định dạng phổ biến
7. Môi trường vận hành: Phù hợp phòng sạch hoặc phòng thí nghiệm
8. Năng suất: Phụ thuộc vào độ phân giải và diện tích ghi