Quang khắc không mặt nạ ithography đầu dò nhiệt, chế tạo cấu trúc 3D

Với các ứng dụng FOWLP, chip được gắn lên wafer sau khi cắt nên vị trí mỗi die bị xê dịch ngẫu nhiên – mask vật lý không đáp ứng.

Chi phí mask lớn, cộng thêm bảo trì, lưu kho, vệ sinh.

Substrate gốm/wafer mỏng bị cong vênh gây mất nét, dẫn đến sai số CD (critical dimension), hệ thống thường không bù warp tốt.

Không mask – sửa file dữ liệu, rút từ tuần xuống vài giờ.

Hiệu chỉnh động từng die: chụp ảnh, tính độ xê dịch (X, Y, xoay, biến dạng cắt), chiếu pattern riêng.

Tiết kiệm chi phí mask + lưu kho; diode laser tuổi thọ cao.

Auto-focus thời gian thực bám bề mặt cong ±80μm, đồng đều trên gốm/wafer mỏng.

Tích hợp & mở rộng: SECS/GEM, chuck tùy chỉnh, tương thích cleanroom ISO 6.

Thông số kỹ thuật

Thông số	Giá trị
Độ phân giải	1,5 μm
Diện tích phơi sáng tối đa	300 × 300 mm²
Độ chính xác chồng lớp (3σ)	< 1 μm
Phạm vi bù lấy nét tự động	±80 μm
Nguồn sáng	Laser diode, 405 nm
Độ dày đế	0 – 12 mm
Yêu cầu phòng sạch	ISO 6 hoặc tốt hơn

{"default_contact":"Liên hệ","default_notification":"Thông báo","default_redirect_click":"Nhấn vào đây nếu đợi quá lâu.","default_fullname":"Họ và tên","default_email":"Email","default_address":"Địa chỉ","default_phone":"Điện thoại","default_send":"Gởi đi","default_reset":"Làm lại","default_select_all":"Chọn tất cả","default_captcha":"Mã bảo vệ","default_input_captcha":"Nhập vào mã bảo vệ","default_contact_send_success":"Bạn đã gởi liên hệ thành công","default_contact_send_false":"Bạn đã gởi liên hệ thất bại","default_back_page_home":"Quay về trang chủ","product_sort_name_asc":"Sắp xếp theo tên (A-Z)","product_sort_name_desc":"Sắp xếp theo tên (Z-A)","product_sort_price_asc":"Sắp xếp theo giá (Nhỏ -> Lớn)","product_sort_price_desc":"Sắp xếp theo giá (Lớn -> Nhỏ)","product_sort_price_sale_asc":"Sắp xếp theo khuyến mãi (Không -> Có)","product_sort_price_sale_desc":"Sắp xếp theo khuyến mãi (Có -> không)","key_option_product_discount":"Sản phẩm khuyến mãi","key_option_product_new":"Sản phẩm mới","key_option_product_special":"Sản phẩm đặt biệt","key_option_product_hot":"Sản phẩm Hot","key_option_news_new":"Tin mới","key_option_news_highlight":"Tin nổi bật","key_option_news_special":"Tin đặc biệt","key_option_news_hot":"Tin hot","key_option_classified_news_highlight":"Tin rao nổi bật","default_newsletter_thanks":"Cảm ơn bạn đã đăng ký trên hệ thống của chúng tôi","error_email_exists":"Email đã tồn tại trong hệ thống","error_email_not_exists":"Email không tồn tại trong hệ thống","error_email_invalid":"Địa chỉ email phải đúng cú pháp, ví dụ: info@tenmien.vn!","member_change_info_success":"Thông tin thay đổi thành công.","member_change_info_fail":"Thay đổi thông tin thất bại.","member_change_password_success":"Mật khẩu thay đổi thành công","member_change_password_fail":"Mật khẩu thay đổi thất bại","member_login_success":"Bạn đã đăng nhập thành công","member_register_success":"Đăng ký tài khoản thành công","member_register_fail":"Đăng ký tài khoản thất bại","member_send_password_new_mail_success":"Mật khẩu mới đã gửi về email đăng ký!","member_send_password_new_fail":"Lấy lại mật khẩu thất bại","error_account_not_found":"Không tìm thấy tài khoản trong hệ thống.","error_limit_login":"Bạn đã nhập sai vượt quá số lần quy định. Vui lòng đăng nhập lại sau:","error_username_required":"Bạn vui lòng nhập tên truy cập","error_username_not_exists":"Tên truy cập không tồn tại.","error_username_space":"Tên truy cập không được chứa khoảng trắng","error_username_exists":"Tên truy cập đã tồn tại","error_account_block":"Tài khoản đã bị khóa","error_password_not_exists":"Mật khẩu bạn nhập không chính xác.","error_password_required":"Bạn vui lòng nhập mật khẩu","error_password_not_regex":"Mật khẩu phải chứa ít nhất 6 ký tự. Bao gồm chữ in hoa, chữ thường và số.","error_password_old_required":"Nhập vào mật khẩu hiện tại của bạn","error_password_old_invalid":"Mật khẩu cũ không đúng","error_password_confirm_invalid":"Mật khẩu phải chứa ít nhất 6 ký tự. Bao gồm chữ in hoa, chữ thường và số.","error_register_is_login":"Bạn đã đăng nhập vào hệ thống. Vui lòng đăng xuất để thực hiện tính năng này","page_login":"Đăng nhập","error_fullname_required":"Bạn vui lòng nhập họ tên","error_fullname_max_length":"Họ tên Không vượt quá 55 ký tự","error_address_max_length":"Địa chỉ không vượt quá 150 ký tự","error_email_required":"Bạn vui lòng nhập email","error_content_required":"Bạn vui lòng nhập nội dung","error_content_max_length":"Nội dung gửi không được vượt quá 5000 ký tự","error_phone_required":"Bạn vui lòng nhập số điện thoại","error_phone_syntax":"Số điện thoại phải đủ 8 số hoặc lớn hơn, ví dụ: 19009477, 0967897890, 0286253737, ...","error_phone_exists":"Số điện thoại đã tồn tại trong hệ thống","error_captcha_required":"Bạn vui lòng nhập mã bảo vệ","error_captcha_invalid":"Mã bảo vệ không đúng","error_token_csrf_invalid":"Token không hợp lệ","time_invalid":"Thời gian không hợp lệ","forms_required":"Trường này là bắt buộc","forms_send_success":"Bạn đã gửi thông tin đăng ký thành công","forms_send_false":"Bạn đã gửi thông tin đăng ký thất bại","forms_undefined":"Không xác định được biểu mẫu","authentication_otp":"Xác thực OTP","authentication_otp_note":"Vui lòng kiểm tra điện thoại để lấy mã Xác thực.","error_limit_send_authentication_phone":"Quý khách đã đạt đến giới hạn xác thực số điện thực, vui lòng xác thực sau 30p","error_time_resend_authentication_phone":"Chưa đến thời gian gửi lại.","send_code_otp_success":"Gửi mã OTP thành công","send_code_otp_error":"Gửi mã OTP thất bại","authentication_phone":"Xác thực số điện thoại","authentication_enter_code":"Nhập mã xác thực tại đây","authentication":"Xác thực","authentication_phone_re_send":"Gửi lại","authentication_phone_success":"Xác thực điện thoại thành công","verify_success":"Xác minh thành công","titile_authentication_phone_success":"Xác thực thành công","authentication_phone_error":"Xác thực điện thoại thất bại","warning_custom_no_authentication_phone":"Quý khách chưa xác thực số điện thoại","warning_phone_number_you_have_verified":"Số điện thoại của bạn đã xác minh","error_customer_access_page_here":"Quý khách chưa được truy cập trang này","skip_authenction":"Bỏ qua xác thực","error_enter_phone_invalid":"Khách hàng vui lòng nhập số điện thoại hợp lệ","error_info_invalid":"Thông tin không hợp lệ","error_code_verify_required":"Vui lòng nhập mã xác thực OTP","save_info_failed":"Lưu thông tin thất bại","save_info_success":"Lưu thông tin thành công","news":"Tin Tức","back_to_home":"Quay lại trang chủ","content_404":"Xin lỗi! Trang bạn đang tìm kiếm không tồn tại.","mail_welcome":"Xin chào: Anh\/Chị","best_regards":"Trân trọng","admin_website":"Ban quản trị","lost_password_subject":"Yêu cầu mật khẩu mới cho tài khoản!","lost_password_info":"Chúng tôi vừa nhận được yêu cầu khôi phục mật khẩu từ phía bạn. Vui lòng nhấn vào","lost_password_link":"đường dẫn","lost_password_active":"sau để kích hoạt mật khẩu mới.","news_password":"Mật khẩu mới:","account":"Tài khoản:","lost_password_contact":"Nếu Anh\/chị có bất kỳ câu hỏi nào, xin liên hệ với chúng tôi qua mail","onepay_cart":"Hệ thống sẽ chuyển qua cổng thanh toán OnePay.vn","product_payment_onepay":"Thanh toán OnePay","product_payment_onepay_atm":"OnePay cổng nội địa","product_payment_onepay_int":"OnePay cổng quốc tế","napas_cart":"Hệ thống sẽ chuyển qua cổng thanh toán Napas","product_payment_napas":"Thanh toán NaPas","product_payment_napas_atm":"Thanh toán NaPas nội địa","product_payment_napas_int":"Thanh toán NaPas quốc tế","product_payment_sacombank":"Thanh toán qua Sacombank","paypal_cart":"Hệ thống sẽ chuyển qua cổng thanh toán Paypal.com","product_payment_paypal":"Thanh toán PayPal","error_money_limit":"Số tiền lớn hơn mức cho phép của Paypal vui lòng chọn phương thức thanh toán khác","cart_paypal_express":"Hệ thống sẽ chuyển qua cổng thanh toán Paypal Express","vnpay_cart":"Hệ thống sẽ chuyển qua cổng thanh toán Vnpayment.vn","product_payment_vnpay":"Thanh toán VNPAY","zalopay_cart":"Hệ thống sẽ chuyển qua cổng thanh toán ZaloPay","product_payment_zalopay":"Thanh toán ZaloPay","product_payment_zalopay_app":"Thanh toán qua ví ZaloPay","product_payment_zalopay_atm":"Thanh toán ZaloPay cổng ATM","product_payment_zalopay_int":"Thanh toán ZaloPay cổng Visa\/MasterCard","error_zalopay_create_url_fail":"Tạo thanh toán qua ZaloPay thất bại. Vui lòng kiểm tra lại thông tin đơn hàng khi thanh toán.","zalopay_create_url_error":"ZaloPay tạo đơn hàng thất bại.","error_zalopay_payment_int":"Số tiền tối thiểu thanh toán qua cổng ZaloPay là 10.000đ","momo_cart":"Hệ thống sẽ chuyển qua cổng thanh toán MoMo","product_payment_momo":"Thanh toán qua ví MoMo","error_momo_create_url_fail":"Tạo thanh toán qua MoMo thất bại. Vui lòng kiểm tra lại thông tin đơn hàng khi thanh toán.","momo_create_url_error":"MoMo tạo đơn hàng thất bại.","error_momo_payment":"Số tiền tối thiểu thanh toán qua cổng MoMo là 1000đ","addon_video_relate":"Video liên quan","addon_video_empty":"Không có video thuộc chủ đề này","addon_video_error_notfound":"Không tìm thấy video trên hệ thống","cart_empty":"Bạn chưa chọn món hàng nào.","cart_payment":"Thanh Toán","cart_payment_method_online":"Thanh Toán trực tuyến","cart_order_now":"Đặt hàng nhanh","error_update_cart_fail":"Cập nhật giỏ hàng thất bại","error_update_cart_success":"Cập nhật giỏ hàng thành công","cart_add_success":"Thêm vào giỏ hàng thành công","cart_add_fail":"Thêm vào giỏ hàng thất bại","cart_add_fail_quantity":"Số lượng sản phẩm mua vượt quá số lượng có","error_login_add_cart":"Quý khách vui lòng đăng nhập để đặt hàng","confirm_delete_cart":"Bạn chắc chắn muốn xóa sản phẩm này khỏi giỏ hàng","cart_delete_success":"Xóa giỏ hàng thành công","cart_delete_fail":"Xóa giỏ hàng thất bại","cart_nganluong":"Hệ thống sẽ chuyển qua cổng thanh toán NganLuong.vn","cart_baokim":"Hệ thống sẽ chuyển qua cổng thanh toán BaoKim.vn","order_success":"Đặt hàng thành công","cart_order_success":"Thông tin đặt hàng thành công","cart_order_thank":"Xin cảm ơn quý khách đã đặt hàng trên hệ thống của chúng tôi.","cart_order_success_thank_customer":"Đặt hàng thành công, xin cảm ơn quý khách đã đặt hàng trên hệ thống của chúng tôi.","cart_note":"Ghi chú","cart_total_price":"Tổng tiền","cart_order_info":"Thông tin đơn hàng","cart_price_detail":"Chi tiết giá","cart_order_button":"Sửa","cart_payment_transportation":"Phương thức vận chuyển","form_of_delivery":"Hình thức giao hàng","cart_payment_transport_to":"Vận chuyển đến","cart_payment_select_provinces":"--- Chọn tỉnh\/thành ---","cart_payment_select_state":"--- Chọn bang ---","cart_payment_select_region":"--- Chọn Khu vực ---","cart_payment_select_district":"--- Chọn quận\/huyện ---","cart_payment_select_ward":"--- Chọn phường\/xã ---","cart_payment_city_name":"Nhập thành phố","cart_payment_postal_code":"Nhập Zip\/Postal code","cart_payment_select_shipping_method":"Chọn hãng\/phương thức giao hàng","cart_payment_transport_select":"Chọn","cart_payment_shipping_carrier":"Hãng vận chuyển","cart_payment_estimated_time":"Thời gian dự kiến","cart_payment_transport_fee":"Phí vận chuyển","cart_payment_transport_service":"Dịch vụ vận chuyển","cart_payment_cod_fee":"Phí thu hàng hộ","cart_payment_total_shipping_cost":"Tổng tiền vận chuyển","cart_payment_not_transport":"Bạn có muốn nhận hàng trực tiếp tại shop ?","shipping_fast":"Giao hàng nhanh","shipping_default":"Giao hàng mặc định","shipping_other_form":"Hình thức khác","shipping_other_form_desc":"Shop liên hệ sau khi đặt hàng thành công","info_extend_payment":"Thông tin thêm","cart_customer_info":"Thông tin khách hàng","cart_buyer_info":"Người mua hàng","cart_receive_info":"Người nhận hàng","cart_use_buyer_info":"Sử dụng thông tin người mua hàng","view_cart":"Giỏ hàng","discount_shipping_note":"Giảm giá cho phí vận chuyển","address_received_product":"Địa chỉ nhận hàng","product_payment_at_the_receive":"Thanh toán khi nhận hàng","product_payment_at_the_company":"Thanh toán tại công ty","product_payment_nganluong":"Thanh toán NganLuong.vn","product_payment_baokim":"Thanh toán BaoKim.vn","product_payment_transfer":"Thanh toán chuyển khoản","product_payment_transfer_qr":"Chuyển khoản qua QR","please_warning_enter_address_shipping":"Vui lòng chọn địa chỉ giao hàng","warning_empty_province_to_shipping":"Hiện tại không có hình thức vận chuyển phù hợp","message_not_used_method_payment":"* Chúng tôi sẽ liên hệ quý khách khi nhận được đơn hàng. Hình thức thanh toán sẽ được chúng tôi thông báo đến quý khách sớm.","product_compare_limit":"Danh sách so sánh đã đạt giới hạn cho phép (10 sản phẩm)","address_store_payment":"Địa chỉ cửa hàng","shipping_status_not_delivery":"Chưa giao hàng","status_shipping_delivered":"Đã giao hàng","status_shipping_cancel_delivery":"Hủy giao hàng","error_payment_method_required":"Xin vui lòng chọn hình thức thanh toán cho đơn hàng này","error_payment_method_fail":"Hình thức thanh toán này chưa cập nhật. Vui lòng chọn hình thức thanh toán khác","error_payment_fail":"Đã có lỗi trong quá trình thanh toán","error_payment_address_required":"Xin vui lòng nhập vào địa chỉ liên lạc của bạn!","error_payment_receive_address_required":"Xin vui lòng nhập vào địa chỉ người nhận!","error_payment_fullname_required":"Xin vui lòng nhập vào họ tên người liên hệ","error_payment_receive_fullname_required":"Xin vui lòng nhập vào họ tên người nhận","error_payment_email_required":"Hãy nhập vào địa chỉ Email mà bạn đang sử dụng","error_payment_transport_not_exists":"Không tồn tại phương thức vận chuyển này","error_cart_product_not_found":"Không tìm thấy sản phẩm giỏ hàng","error_value_must_not_be_less_than_1":"Giá trị không được nhỏ hơn 1","error_transport_method_empty":"Vui lòng chọn phương thức vận chuyển cho đơn hàng này","error_payment_total_0":"Không thể chọn phương thức thanh toán online khi giá trị đơn hàng là 0đ","error_payment_warning_select":"Không có phương thức thanh toán trực tuyến phù hợp với đơn hàng hiện tại","error_payment_province_select":"Xin vui lòng chọn tỉnh\/thành","error_payment_district_select":"Xin vui lòng chọn quận\/huyện","error_payment_ward_select":"Xin vui lòng chọn phường\/xã","error_shipping_warning_select":"Không có phương thức vận chuyển phù hợp với địa chỉ này","error_payment_shipping_rate_select":"Xin vui lòng chọn phương thức vận chuyển","error_payment_shipping_rate_not_valid":"Phương thức vận chuyển không hợp lệ","error_payment_city_name_required":"Xin vui lòng nhập vào tên thành phố","error_payment_postal_code_required":"Xin vui lòng nhập mã bưu chính","error_confirm_terms_invalid":"Bạn phải đồng ý với điều khoản trước khi thanh toán","coupon_used":"Sử dụng Coupon","point_used":"Sử dụng điểm thưởng","point_current_me":"Điểm thưởng hiện tại","voucher_used":"Sử dụng Voucher","coupon_input":"Nhập mã Coupon","voucher_input":"Nhập mã Voucher","coupon_button_apply":"Áp dụng","coupon_label":"Giảm giá Coupon","voucher_label":"Giảm giá Voucher","apply_code_coupon_success":"Áp dụng mã coupon thành công","apply_code_voucher_success":"Áp dụng mã voucher thành công","error_coupon_required":"Vui lòng nhập mã Coupon để sử dụng","error_voucher_required":"Vui lòng nhập mã Voucher để sử dụng","error_coupon_not_exists":"Mã Coupon không tồn tại!","error_coupon_not_accept":"Mã Coupon không hợp lệ!","error_coupon_not_used":"Mã Coupon đã hết lượt sử dụng!","error_coupon_total_product":"Giá trị đơn hàng tối thiểu không hợp lệ!","error_voucher_not_exists":"Mã Voucher không tồn tại!","error_voucher_not_accept":"Mã Voucher không hợp lệ!","error_voucher_not_used":"Mã Voucher đã hết lượt sử dụng!","error_coupon_apply_promotion":"Mã này không áp dụng đồng thời cùng chương trình khuyến mãi","show_more":"Xem thêm","show_less":"Thu gọn","product_in_of_stock":"Còn hàng","product_out_of_stock":"Hết hàng","product_viewed_confrim_remove":"Bạn chắc chắn muốn xóa sản phẩm này khỏi danh sách đã xem","product_viewed_confrim_remove_success":"Xóa sản phẩm khỏi danh sách đã xem thành công","product_viewed_confrim_remove_fail":"Xóa sản phẩm khỏi danh sách đã xem thất bại","product_compare_add_success":"Sản phẩm đã được thêm vào so sánh","product_compare_add_fail":"Thêm sản phẩm vào so sánh thất bại","product_compare_confirm_delete":"Bạn chắc chắn muốn xóa sản phẩm này khỏi danh sách so sánh","product_compare_confirm_delete_all":"Bạn chắc chắn muốn xóa tất cả sản phẩm này khỏi danh sách so sánh","product_compare_delete_success":"Xóa sản phẩm khỏi danh sách so sánh thành công","product_compare_delete_success_fail":"Xóa sản phẩm khỏi danh sách so sánh thất bại","add_favorite_success":"Thêm vào danh sách yêu thích thành công","add_favorite_fail":"Thêm vào danh sách yêu thích thất bại","product_favorite_confrim_remove":"Bạn chắc chắn muốn xóa sản phẩm này khỏi danh sách yêu thích","remove_favorite_success":"Xóa sản phẩm khỏi danh sách yêu thích thành công","remove_favorite_fail":"Xóa sản phẩm khỏi danh sách yêu thích thất bại","error_login_required":"Đăng nhập để thực hiện thao tác này","error_product_exists":"Sản phẩm đã tồn tại","error_product_not_found":"Không tìm thấy sản phẩm trên hệ thống","product_content_expand":"Xem thêm nội dung","product_content_collapse":"Ẩn bớt nội dung","title_order":"Đơn hàng","shipping_to":"Vận chuyển tới","promotion":"Khuyến mãi","order_expires_view":"Đơn hàng hết hạn xem","order_into_money":"Thành tiền","order_price_temporary":"Tạm tính","order_total_product":"Tổng tiền hàng","order_vat":"VAT","payment_method":"Hình thức thanh toán","delivery_method":"Hình thức giao hàng","error_order_not_found":"Không tìm thấy đơn hàng trong hệ thống. Bạn vui lòng làm mới lại website","error_content_lenght_must_be_than_10":"Nội dung phải lớn hơn 9 ký tự","error_add_member_success":"Gửi câu hỏi thành công.","error_add_member_fail":"Gửi câu hỏi thất bại.","code_product":"Mã sản phẫm","date_order":"Ngày giờ đặt hàng","receive_at_the_shop":"Đến nhận hàng trực tiếp tại cửa hàng","info_store_address":"Thông tin cửa hàng","delivery_to_your_place":"Giao hàng tận nơi","cart_code":"Mã đơn hàng","note_send_mail_order":"Nếu Anh\/chị có bất kỳ câu hỏi nào, xin liên hệ với chúng tôi qua mail","admin_shop":"Ban quản trị cửa hàng","transfer_information":"Thông tin chuyển khoản","order_shipping_to":"Đơn hàng sẽ được giao đến","notify_order_receive_and_contact_customer":"Đơn hàng của Anh\/Chị đã được tiếp nhận, chúng tôi sẽ nhanh chóng liên hệ với Anh\/Chị.","cart_discount":"Giảm giá","add_cart":"Thêm vào giỏ hàng","buy_more":"Mua thêm","send_product_reviews_success":"Gửi đánh giá sản phẩm thành công","send_product_reviews_error":"Gửi đánh giá sản phẩm thất bại","empty_product_id_error":"Sản phẩm rỗng","error_customer_write_review_consecutive":"Quý khách vui lòng đánh giá sau 5 phút","used_point":"Sử dụng điểm thưởng","look_up_order":"Tra cứu đơn hàng","status_order":"Trạng thái đơn hàng","no_exits_order":"Không tồn tại đơn hàng","result_look_up":"Kết quả tra cứu","look_up":"Tra cứu","product":"Sản phẩm","service":"Dịch vụ","copy_content_success":"Sao chép thành công","subject_title_send_mail":"Thông tin đặt hàng - MĐH","from":"từ","payment_method_unknown":"Không xác định","status_order_new":"Đơn hàng mới","status_order_accepted_processing":"Đang xử lý","status_order_pending":"Chờ xuất hàng","status_order_out_stock":"Xuất hàng","status_order_completed":"Hoàn thành","status_order_cancel":"Hủy đơn hàng","status_paid":"Đã thanh toán","status_unpaid":"Chờ thanh toán","method":"Phương thức","confirm":"Xác nhận","bank":"Ngân hàng","account_no":"Số tài khoản","content":"Nội dung","number_money":"Số tiền","summary_order":"Tóm tắt đơn hàng","selected_country":"Quốc gia","error_country_empty":"Quốc gia không thể trống","default":"Mặc định","product_payment_qr":"Chuyển khoản qua QR Code","order_not_found":"Không tìm thấy đơn hàng","cart_payment_success":"Thanh toán thành công","cart_payment_fail":"Thanh toán thất bại","cart_payment_welcome":"Xin chào: Anh\/Chị","cart_payment_thank":"Cảm ơn Anh\/Chị đã đặt hàng trên website của chúng tôi.","cart_payment_noti_success":"Giao dịch thanh toán đơn hàng của Anh\/Chị đã thành công. Mã đơn hàng của Anh\/Chị là:","cart_payment_order_fail":"Số đơn hàng của Anh\/Chị là:","cart_payment_order_cus_noti":"Giao dịch của Anh\/Chị","cart_payment_order_status":"không thành công","cart_payment_phone":"Điện thoại hỗ trợ:","cart_payment_email":"Email hỗ trợ:","cart_payment_back_home":"Trở về trang chủ trong","cart_payment_contact":"Vui lòng kiểm tra lại thông tin thanh toán hoặc liên hệ với chúng tôi để biết thêm thông tin chi tiết.","cart_error_no":"Mã lỗi","result_payment_online":"Kết quả thanh toán online đơn hàng","you_have_just_made_online_payment_transaction_for_your_order":"Anh\/Chị vừa thực hiện giao dịch thanh toán online cho đơn hàng:","status_transaction":"Trạng thái giao dịch:","if_you_any_question_please_contact_us_via_mail":"Nếu Anh\/chị có bất kỳ câu hỏi nào, vui lòng liên hệ với chúng tôi qua mail"}

{"id":3678842,"name":"Máy quang khắc không mặt nạ MLA 300","desc":"MLA 300 được tối ưu cho sản xuất khối lượng lớn. Công nghệ Spatial Light Modulator (SLM) cho phép hiệu chỉnh biến dạng theo từng die, tự động lấy nét theo bề mặt cong, tương thích với SECS\/GEM. Loại bỏ hoàn toàn chi phí và rắc rối của mask vật lý. Ứng dụng trong sản xuất MEMS, cảm biến, ASIC, advanced packaging, power electronics.<\/p>","content":"Với&nbsp;các ứng dụng&nbsp;<\/span>FOWLP, chip được gắn&nbsp;lên wafer sau khi cắt<\/span> nên vị trí mỗi die bị xê dịch ngẫu nhiên –&nbsp;mask vật lý không đáp ứng<\/span>.<\/p>Chi phí mask lớn, cộng thêm bảo trì, lưu kho, vệ sinh.<\/p>Substrate gốm\/wafer mỏng bị cong vênh gây mất nét,&nbsp;dẫn đến sai số CD (critical dimension)<\/span>, hệ thống thường không bù warp tốt.<\/p>Không mask – sửa file dữ liệu, rút từ tuần xuống vài giờ.<\/p>Hiệu chỉnh động từng die: chụp ảnh, tính độ xê dịch (X, Y, xoay, biến dạng cắt), chiếu pattern riêng.<\/p>Tiết kiệm chi phí mask + lưu kho; diode laser tuổi thọ cao.<\/p>Auto-focus thời gian thực bám bề mặt cong ±80μm, đồng đều trên gốm\/wafer mỏng.<\/p>Tích hợp &amp; mở rộng<\/u>: SECS\/GEM, chuck tùy chỉnh, tương thích cleanroom ISO 6.<\/p>&nbsp;<\/p>Thông số kỹ thuật<\/strong>&nbsp;<\/p><figure class=\"table\" style=\"width:100.0%;\"><table style=\";\"><tbody><tr><td style=\"border:1.0pt solid windowtext;padding:0cm 5.4pt;vertical-align:top;width:57.52%;\">Thông số<\/span><\/p><\/td><td style=\"border-bottom-style:solid;border-color:windowtext;border-left-style:none;border-right-style:solid;border-top-style:solid;border-width:1.0pt;padding:0cm 5.4pt;vertical-align:top;width:42.48%;\">Giá trị<\/span><\/p><\/td><\/tr><tr><td style=\"border-bottom-style:solid;border-color:windowtext;border-left-style:solid;border-right-style:solid;border-top-style:none;border-width:1.0pt;padding:0cm 5.4pt;vertical-align:top;width:57.52%;\">Độ phân giải<\/span><\/p><\/td><td style=\"border-bottom:1.0pt solid windowtext;border-left-style:none;border-right:1.0pt solid windowtext;border-top-style:none;padding:0cm 5.4pt;vertical-align:top;width:42.48%;\">1,5 μm<\/span><\/p><\/td><\/tr><tr><td style=\"border-bottom-style:solid;border-color:windowtext;border-left-style:solid;border-right-style:solid;border-top-style:none;border-width:1.0pt;padding:0cm 5.4pt;vertical-align:top;width:57.52%;\">Diện tích phơi sáng tối đa<\/span><\/p><\/td><td style=\"border-bottom:1.0pt solid windowtext;border-left-style:none;border-right:1.0pt solid windowtext;border-top-style:none;padding:0cm 5.4pt;vertical-align:top;width:42.48%;\">300 × 300 mm²<\/span><\/p><\/td><\/tr><tr><td style=\"border-bottom-style:solid;border-color:windowtext;border-left-style:solid;border-right-style:solid;border-top-style:none;border-width:1.0pt;padding:0cm 5.4pt;vertical-align:top;width:57.52%;\">Độ chính xác chồng lớp (3σ)<\/span><\/p><\/td><td style=\"border-bottom:1.0pt solid windowtext;border-left-style:none;border-right:1.0pt solid windowtext;border-top-style:none;padding:0cm 5.4pt;vertical-align:top;width:42.48%;\">&lt; 1 μm<\/span><\/p><\/td><\/tr><tr><td style=\"border-bottom-style:solid;border-color:windowtext;border-left-style:solid;border-right-style:solid;border-top-style:none;border-width:1.0pt;padding:0cm 5.4pt;vertical-align:top;width:57.52%;\">Phạm vi bù lấy nét tự động<\/span><\/p><\/td><td style=\"border-bottom:1.0pt solid windowtext;border-left-style:none;border-right:1.0pt solid windowtext;border-top-style:none;padding:0cm 5.4pt;vertical-align:top;width:42.48%;\">±80 μm<\/span><\/p><\/td><\/tr><tr><td style=\"border-bottom-style:solid;border-color:windowtext;border-left-style:solid;border-right-style:solid;border-top-style:none;border-width:1.0pt;padding:0cm 5.4pt;vertical-align:top;width:57.52%;\">Nguồn sáng<\/span><\/p><\/td><td style=\"border-bottom:1.0pt solid windowtext;border-left-style:none;border-right:1.0pt solid windowtext;border-top-style:none;padding:0cm 5.4pt;vertical-align:top;width:42.48%;\">Laser diode, 405 nm<\/span><\/p><\/td><\/tr><tr><td style=\"border-bottom-style:solid;border-color:windowtext;border-left-style:solid;border-right-style:solid;border-top-style:none;border-width:1.0pt;padding:0cm 5.4pt;vertical-align:top;width:57.52%;\">Độ dày đế<\/span><\/p><\/td><td style=\"border-bottom:1.0pt solid windowtext;border-left-style:none;border-right:1.0pt solid windowtext;border-top-style:none;padding:0cm 5.4pt;vertical-align:top;width:42.48%;\">0 – 12 mm<\/span><\/p><\/td><\/tr><tr><td style=\"border-bottom-style:solid;border-color:windowtext;border-left-style:solid;border-right-style:solid;border-top-style:none;border-width:1.0pt;padding:0cm 5.4pt;vertical-align:top;width:57.52%;\">Yêu cầu phòng sạch<\/span><\/p><\/td><td style=\"border-bottom:1.0pt solid windowtext;border-left-style:none;border-right:1.0pt solid windowtext;border-top-style:none;padding:0cm 5.4pt;vertical-align:top;width:42.48%;\">ISO 6 hoặc tốt hơn<\/span><\/p><\/td><\/tr><\/tbody><\/table><\/figure>&nbsp;<\/p>","image_url":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/datafiles\/39825\/upload\/images\/Product_image_MLA300.webp?t=1779260713","image_thumb_url":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/datafiles\/39825\/upload\/thumb_images\/Product_image_MLA300.webp","tags":["Grayscale lithography","NanoFrazor","thermal scanning probe lithography","tSPL","MLA 150"],"count_view":15,"seo_name":"may-quang-khac-khong-mat-na-mla-300","date_update":1779266409,"date_created_format":"","meta_title":"Quang khắc không mặt nạ ithography đầu dò nhiệt, chế tạo cấu trúc 3D","meta_desc":"Máy quang khắc không mặt nạ nhiệt, lithography đầu dò nhiệt, chế tạo cấu trúc 3D nano","meta_keyword":"máy quang khắc grayscale,quang khắc laser grayscale,khắc vi thấu kính,chế tạo hologram,vi quang học,quang khắc 25D,máy tạo mẫu quang khắc không mặt nạ","sku":"","code":"","rate":0,"image_2_url":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/datafiles\/39825\/upload\/images\/Product_image_MLA300.webp?t=1779260713","image_2_thumb_url":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/datafiles\/39825\/upload\/thumb_images\/Product_image_MLA300.webp","time_promotion":false,"date_sale":[],"status_order":7,"variant_options":[],"variants":[],"variantIdDefault":0,"image_list":[{"image_url":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/datafiles\/39825\/upload\/images\/Product_image_MLA300.webp","image_thumb_url":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/datafiles\/39825\/upload\/\/thumb_images\/Product_image_MLA300.webp"}],"product_articles":[],"total_point_review":0,"link_youtube":"https:\/\/www.youtube.com\/embed\/","video_url":"","booking_url":"javascript:void(0)","file_url":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/datafiles\/39825\/upload\/images\/Product_image_MLA300.webp","config_panorama":[],"brand_name":"Heidelberg Instruments","qr_code":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/may-quang-khac-khong-mat-na-mla-300.html","promotion_name":"","option":{"3":"Sản phẩm đặt biệt"},"status_inventory_value":1,"status_inventory":"Còn hàng","price":false,"price_final":false,"percent_discount":false,"price_discount":false,"company_logo":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/datafiles\/39825\/upload\/files\/ADST%20logo%20final%20dark%20background.png","company_name":"ADST - Công Ty Cổ Phần Công Nghệ An Đông","company_email":"info@adst.vn","company_phone":"(+84) 24 3201 6056","company_address":"7F, Viwaseen Tower, 48 To Huu, Dai Mo ward, Hanoi, Vietnam","company_fax":"","date_now":1779321475,"company_tags":["ADST","ADST Vietnam An Đông","Cổ phần An Đông","Công nghệ An Đông","ADTECHNOLOGY","thiết bị khoa học kỹ thuật","thiết bị phòng Lab","thiết bị RD","thiết bị công nghệ cao","khoa học vật liệu","khoa học sự sống","khoa học trái đất","điện tử bán dẫn","thiết bị bán dẫn","cung cấp thiết bị khoa học kỹ thuật","phân phối thiết bị khoa học kỹ thuật","cung cấp thiết bị khoa học kỹ thuật uy tín","cung cấp thiết bị khoa học kỹ thuật lâu năm","cung cấp thiết bị khoa học kỹ thuật hàng đầu","thiết bị nghiên cứu","thiết bị đại học","Giải pháp phòng thí nghiệm","Tư vấn giải pháp khoa học","Lắp đặt thiết bị khoa học","Bảo trì","sửa chữa thiết bị khoa học","Đào tạo vận hành thiết bị công nghệ cao"],"search_keyword":null,"facebook_comment":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/maskless-lithography-system-dwl-2000-gs-dwl-4000-gs-heidelberg-instruments-1779261685.html","breadscrumb":[{"url":"https:\/\/www.adtechnology.vn","name":"Trang chủ","icon":"","active":false},{"url":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/lithography.html","name":"Lithography","icon":"","active":true}],"list_products_tmp":[],"list_section":[{"id":648466,"name":"Đầu trang - Header 01","seo_name":"#w30s-section-648466","url":"#w30s-section-648466"},{"id":648511,"name":"Đầu trang - Header 01","seo_name":"#w30s-section-648511","url":"#w30s-section-648511"},{"id":263231,"name":"Content - 26\/4\/2023 - Nghiệm thu","seo_name":"#w30s-section-263231","url":"#w30s-section-263231"},{"id":261916,"name":"Footer","seo_name":"#w30s-section-261916","url":"#w30s-section-261916"}],"type_page":4,"id_page":136575,"widget_15109877":{"content_data":{"content":" "}},"widget_15109875":{"content_data":[]},"widget_15110831":{"content_data":[{"id":39852,"title":"American","code":"us","is_expires":false,"is_active":0},{"id":39851,"title":"Viet Nam","code":"vn","is_expires":false,"is_active":1}]},"widget_15110827":{"content_data":{"content":"Liên hệ"}},"widget_6938608":{"content_data":{"content":"sản phẩm"}},"widget_6484472":{"content_data":{"content":"Xem thêm"}},"widget_6484468":{"content_data":[{"id":3678835,"name":"Máy quang khắc Grayscale DWL 2000 GS \/ DWL 4000 GS - Heidelberg Instruments","desc":"DWL 2000 GS \/ 4000 GS đáp ứng chuẩn công nghiệp, hỗ trợ xuất CAD với 1023 mức xám. Công nghệ Grayscale độc quyền từ Heidelberg Instruments cho phép tạo cấu trúc 2.5D và vi thấu kính với độ nhám bề mặt xuống 5nm. Giải pháp tối ưu cho chế tạo hologram, bộ khuếch tán ánh sáng và thấu kính Fresnel trong nghiên cứu quang tử, vi quang học.<\/p>","content":"Đặc điểm chính<\/strong><\/p>Hệ thống quang học cố định, tự động lấy nét thời gian thực, bàn ngang mang khí tĩnh cao cấp<\/p>Giao thoa kế độ phân giải cao giám sát vị trí bàn liên tục<\/p>Kiểm soát khí hậu tiên tiến, ổn định nhiệt độ ±0.1°C, môi trường ISO 4<\/p>Camera CCD tích hợp và camera tổng thể giúp căn chỉnh dễ dàng<\/p>Hỗ trợ 4 chế độ ghi (Write Modes) để tối ưu hiệu suất theo từng ứng dụng<\/p>Tạo cấu trúc phức tạp từ file CAD (DXF, BMP, STL, X,Y,Z-ASCII) lên đến 1023 mức xám<\/p>Phần mềm toàn diện: thao tác và kết hợp file CAD, tạo mẫu phức tạp, tối ưu cấu trúc<\/p>&nbsp;<\/p>Mô tả chi tiết&nbsp;<\/strong><\/p>Công nghệ &amp; nguyên lý<\/u><\/p>DWL 2000 GS \/ 4000 GS – Hệ quang khắc laser Grayscale, dùng 1023 mức xám (khác quang khắc nhị phân truyền thống). Dữ liệu 3D CAD → map trực tiếp cường độ laser → tạo cấu trúc 2.5D liên tục (vi thấu kính, cách tử blazed) chỉ trong một bước.<\/p>Pain point &amp; cách giải quyết<\/u><\/p>Pain point:&nbsp;<\/p>Quang khắc nhị phân cần nhiều mask + nhiều bước khắc xếp chồng, dễ sai lệch căn chỉnh.<\/p>Với vi thấu kính\/hologram, phương pháp cũ kéo dài hàng tuần do thiết kế, chế tạo mask và căn chỉnh nhiều lần.<\/p>Chi phí chrome mask rất cao, nhất khi cần nhiều mask cho cấu trúc phức tạp.<\/p>Thiếu phần mềm chuyển đổi trực tiếp 3D CAD → tín hiệu laser, gây sai lệch hình học.<\/p>Cách giải quyết: Quy trình chỉ một bước grayscale - tiết kiệm chi phí và thời gian sản xuất mask, nhanh hơn e-beam lithography. Bề mặt mịn (độ nhám 5nm). Phần mềm nhập STL\/DXF\/BMP, tự động mapping; hỗ trợ GenISys BEAMER.<\/p>Tích hợp\/mở rộng<\/u>: kết hợp profilometer, kính hiển vi; tương thích cản quang AZ 1500, AZ 4562; dễ tích hợp phòng sạch<\/p>&nbsp;<\/p>Thông số kỹ thuật&nbsp;<\/strong><\/p><figure class=\"table\" style=\"width:100.0%;\"><table style=\";\"><tbody><tr><td style=\"border:1.0pt solid windowtext;padding:0cm 5.4pt;vertical-align:top;width:38.44%;\">Thông số<\/span><\/p><\/td><td style=\"border-bottom-style:solid;border-color:windowtext;border-left-style:none;border-right-style:solid;border-top-style:solid;border-width:1.0pt;padding:0cm 5.4pt;vertical-align:top;width:61.56%;\">Giá trị<\/span><\/p><\/td><\/tr><tr><td style=\"border-bottom-style:solid;border-color:windowtext;border-left-style:solid;border-right-style:solid;border-top-style:none;border-width:1.0pt;padding:0cm 5.4pt;vertical-align:top;width:38.44%;\">Diện tích phơi sáng tối đa<\/span><\/p><\/td><td style=\"border-bottom:1.0pt solid windowtext;border-left-style:none;border-right:1.0pt solid windowtext;border-top-style:none;padding:0cm 5.4pt;vertical-align:top;width:61.56%;\">200 × 200 mm² (2000 GS), 400 × 400 mm² (4000 GS)<\/span><\/p><\/td><\/tr><tr><td style=\"border-bottom-style:solid;border-color:windowtext;border-left-style:solid;border-right-style:solid;border-top-style:none;border-width:1.0pt;padding:0cm 5.4pt;vertical-align:top;width:38.44%;\">Độ chồng lớp (3σ, trên 8\"x8\")<\/span><\/p><\/td><td style=\"border-bottom:1.0pt solid windowtext;border-left-style:none;border-right:1.0pt solid windowtext;border-top-style:none;padding:0cm 5.4pt;vertical-align:top;width:61.56%;\">300 nm<\/span><\/p><\/td><\/tr><tr><td style=\"border-bottom-style:solid;border-color:windowtext;border-left-style:solid;border-right-style:solid;border-top-style:none;border-width:1.0pt;padding:0cm 5.4pt;vertical-align:top;width:38.44%;\">Tốc độ ghi (tối đa)<\/span><\/p><\/td><td style=\"border-bottom:1.0pt solid windowtext;border-left-style:none;border-right:1.0pt solid windowtext;border-top-style:none;padding:0cm 5.4pt;vertical-align:top;width:61.56%;\">1250 mm²\/phút<\/span><\/p><\/td><\/tr><tr><td style=\"border-bottom-style:solid;border-color:windowtext;border-left-style:solid;border-right-style:solid;border-top-style:none;border-width:1.0pt;padding:0cm 5.4pt;vertical-align:top;width:38.44%;\">Thông lượng tối đa<\/span><\/p><\/td><td style=\"border-bottom:1.0pt solid windowtext;border-left-style:none;border-right:1.0pt solid windowtext;border-top-style:none;padding:0cm 5.4pt;vertical-align:top;width:61.56%;\">5600 mJ\/cm² (chế độ I)<\/span><\/p><\/td><\/tr><tr><td style=\"border-bottom-style:solid;border-color:windowtext;border-left-style:solid;border-right-style:solid;border-top-style:none;border-width:1.0pt;padding:0cm 5.4pt;vertical-align:top;width:38.44%;\">Phạm vi bù lấy nét tự động<\/span><\/p><\/td><td style=\"border-bottom:1.0pt solid windowtext;border-left-style:none;border-right:1.0pt solid windowtext;border-top-style:none;padding:0cm 5.4pt;vertical-align:top;width:61.56%;\">80 μm<\/span><\/p><\/td><\/tr><tr><td style=\"border-bottom-style:solid;border-color:windowtext;border-left-style:solid;border-right-style:solid;border-top-style:none;border-width:1.0pt;padding:0cm 5.4pt;vertical-align:top;width:38.44%;\">Nguồn sáng<\/span><\/p><\/td><td style=\"border-bottom:1.0pt solid windowtext;border-left-style:none;border-right:1.0pt solid windowtext;border-top-style:none;padding:0cm 5.4pt;vertical-align:top;width:61.56%;\">Laser diode, 405 nm<\/span><\/p><\/td><\/tr><tr><td style=\"border-bottom-style:solid;border-color:windowtext;border-left-style:solid;border-right-style:solid;border-top-style:none;border-width:1.0pt;padding:0cm 5.4pt;vertical-align:top;width:38.44%;\">Độ dày đế<\/span><\/p><\/td><td style=\"border-bottom:1.0pt solid windowtext;border-left-style:none;border-right:1.0pt solid windowtext;border-top-style:none;padding:0cm 5.4pt;vertical-align:top;width:61.56%;\">0 – 12 mm<\/span><\/p><\/td><\/tr><\/tbody><\/table><\/figure>","image_url":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/datafiles\/39825\/upload\/images\/Product_image_DWL4000GS.webp?t=1779260712","image_thumb_url":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/datafiles\/39825\/upload\/thumb_images\/Product_image_DWL4000GS.webp","tags":["DWL 2000 GS","DWL 4000 GS","Grayscale lithography"],"count_view":17,"seo_name":"may-quang-khac-grayscale-dwl-2000-gs-dwl-4000-gs-heidelberg-instruments","date_update":1779261182,"date_created_format":"","meta_title":"Quang khắc Grayscale DWL 2000 GS và DWL 4000 GS tạo cấu trúc 2.5D","meta_desc":"Quang khắc Grayscale DWL 2000 GS và DWL 4000 GS tạo cấu trúc 2.5D, vi thấu kính, hologram. Độ nhám 5nm, hỗ trợ CAD 1023 mức xám. Liên hệ ADST.","meta_keyword":"máy quang khắc grayscale,quang khắc laser grayscale,khắc vi thấu kính,chế tạo hologram,vi quang học,quang khắc 25D,máy tạo mẫu quang khắc không mặt nạ","sku":"","code":"","rate":0,"image_2_url":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/datafiles\/39825\/upload\/images\/Product_image_DWL4000GS.webp?t=1779260712","image_2_thumb_url":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/datafiles\/39825\/upload\/thumb_images\/Product_image_DWL4000GS.webp","time_promotion":false,"date_sale":[],"status_order":7,"variant_options":[],"variants":[],"variantIdDefault":0,"image_list":[{"image_url":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/datafiles\/39825\/upload\/images\/Product_image_DWL4000GS.webp","image_thumb_url":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/datafiles\/39825\/upload\/\/thumb_images\/Product_image_DWL4000GS.webp"}],"product_articles":[],"total_point_review":0,"link_youtube":"https:\/\/www.youtube.com\/embed\/","video_url":"","booking_url":"javascript:void(0)","brand_name":"Heidelberg Instruments","qr_code":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/may-quang-khac-grayscale-dwl-2000-gs-dwl-4000-gs-heidelberg-instruments.html","promotion_name":"","option":{"3":"Sản phẩm đặt biệt"},"status_inventory_value":1,"status_inventory":"Còn hàng","price":false,"price_final":false,"percent_discount":false,"price_discount":false},{"id":3676182,"name":"Hệ thống Quang khắc Không mặt nạ để bàn µMLA","desc":"µMLA là giải pháp quang khắc không mặt nạ để bàn nhỏ gọn nhưng mạnh mẽ, mang lại sự linh hoạt tối ưu cho các phòng nghiên cứu nano và MEMS. Với khả năng tạo mẫu trực tiếp từ file CAD, thiết bị giúp loại bỏ chi phí và thời gian chế tạo mặt nạ photomask truyền thống.<\/p>","content":"Đặc điểm chính<\/strong> •&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;Công nghệ không mặt nạ: Cho phép tạo mẫu trực tiếp nhanh chóng, lý tưởng cho các ứng dụng cần thay đổi thiết kế liên tục.&nbsp; •&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;Thiết kế để bàn nhỏ gọn: Tiết kiệm không gian phòng sạch mà vẫn đảm bảo hiệu suất cao.&nbsp; •&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;Độ phân giải cao: Hỗ trợ các cấu trúc vi mô với độ chính xác và độ lặp lại vượt trội theo tiêu chuẩn Đức.&nbsp; •&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;Tính linh hoạt: Xử lý được nhiều loại đế (substrate) và kích thước khác nhau.&nbsp; Thông số kỹ thuật cơ bản<\/strong> 1.&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;Loại hệ thống: Quang khắc Laser không mặt nạ (Maskless Lithography)&nbsp; 2.&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;Dòng sản phẩm: µMLA Series&nbsp; 3.&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;Kích thước đế tối đa: Tùy chỉnh theo cấu hình hệ thống&nbsp; 4.&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;Nguồn sáng: Laser diode ổn định&nbsp; 5.&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;Chế độ vận hành: Tạo mẫu trực tiếp (Direct Writing)&nbsp; 6.&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;Định dạng file hỗ trợ: CAD\/GDSII và các định dạng phổ biến&nbsp; 7.&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;Môi trường vận hành: Phù hợp phòng sạch hoặc phòng thí nghiệm&nbsp; 8.&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;Năng suất: Phụ thuộc vào độ phân giải và diện tích ghi&nbsp;<\/p>","image_url":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/datafiles\/39825\/upload\/files\/ADST%20favicon%20Red.png","image_thumb_url":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/datafiles\/39825\/upload\/thumb_files\/ADST%20favicon%20Red.png","tags":["Hệ thống Quang khắc Không mặt nạ để bàn µMLA","Hệ thống Quang khắc","Quang khắc Không mặt nạ","µMLA"],"count_view":47,"seo_name":"he-thong-quang-khac-khong-mat-na-de-ban-mla","date_update":1777434624,"date_created_format":"","meta_title":"µMLA: Hệ Thống Quang Khắc Không Mặt Nạ Để Bàn Từ Đức","meta_desc":"Khám phá µMLA của Heidelberg Instruments – giải pháp quang khắc không mặt nạ để bàn đỉnh cao cho nghiên cứu Nano và MEMS. Thay đổi thiết kế nhanh chóng, độ chính xác cao và tiết kiệm chi phí mặt nạ. Liên hệ đại lý chính thức tại Việt Nam ngay!","meta_keyword":"µMLA,Heidelberg Instruments Vietnam,quang khắc không mặt nạ để bàn,maskless aligner,thiết bị nghiên cứu nano,MEMS lithography","sku":"","code":"","rate":0,"image_2_url":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/datafiles\/39825\/upload\/files\/ADST%20favicon%20Red.png","image_2_thumb_url":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/datafiles\/39825\/upload\/thumb_files\/ADST%20favicon%20Red.png","time_promotion":false,"date_sale":[],"status_order":7,"variant_options":[],"variants":[],"variantIdDefault":0,"image_list":[],"product_articles":[],"total_point_review":0,"link_youtube":"https:\/\/www.youtube.com\/embed\/","video_url":"","booking_url":"javascript:void(0)","brand_name":"Heidelberg Instruments","qr_code":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/he-thong-quang-khac-khong-mat-na-de-ban-mla.html","promotion_name":"","option":{"2":"Sản phẩm mới"},"status_inventory_value":1,"status_inventory":"Còn hàng","price":false,"price_final":false,"percent_discount":false,"price_discount":false},{"id":3617151,"name":"Hệ thống quang khắc chùm ion Elionix","desc":"<ul>\n\t<li>\n\tEIS-200ERP (Elionix Ion Beam Etching\/Sputtering System):<\/b> Đ&acirc;y l&agrave; một hệ thống quang khắc\/ph&uacute;n xạ ch&ugrave;m ion, cho ph&eacute;p ăn m&ograve;n vật liệu ở cấp độ nano v&agrave; lắng đọng bằng c&aacute;ch sử dụng ch&ugrave;m ion ECR.<\/p>\n\t<\/li>\n\t<li>\n\tEIS-220P:<\/b> Một mẫu m&aacute;y mới hơn, cũng thuộc d&ograve;ng sản phẩm quang khắc\/ph&uacute;n xạ ch&ugrave;m ion ECR.<\/p>\n\t<\/li>\n<\/ul>\n","content":"<h3>Đặc điểm nổi bật<\/h3>\n\n<ul>\n\t<li>\n\tĂn m&ograve;n\/lắng đọng đa năng:<\/b> Một số mẫu như EIS-220P được trang bị hai s&uacute;ng ion, cho ph&eacute;p lu&acirc;n phi&ecirc;n thực hiện cả hai qu&aacute; tr&igrave;nh ăn m&ograve;n (etching) v&agrave; lắng đọng (deposition) m&agrave; kh&ocirc;ng cần th&aacute;o mẫu ra khỏi buồng ch&acirc;n kh&ocirc;ng, gi&uacute;p duy tr&igrave; m&ocirc;i trường sạch v&agrave; hiệu quả quy tr&igrave;nh.<\/p>\n\t<\/li>\n\t<li>\n\tSử dụng nhiều loại kh&iacute;:<\/b> M&aacute;y c&oacute; thể sử dụng cả kh&iacute; trơ (như Argon, Xenon) v&agrave; kh&iacute; hoạt h&oacute;a (như Oxy, CF4) l&agrave;m nguồn ion, cho ph&eacute;p thực hiện cả ăn m&ograve;n vật l&yacute; v&agrave; ăn m&ograve;n h&oacute;a học.<\/p>\n\t<\/li>\n\t<li>\n\tKiểm so&aacute;t g&oacute;c chiếu:<\/b> Cho ph&eacute;p điều chỉnh g&oacute;c chiếu ch&ugrave;m ion để tạo ra c&aacute;c cấu tr&uacute;c c&oacute; th&agrave;nh nghi&ecirc;ng.<\/p>\n\t<\/li>\n<\/ul>\n","image_url":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/datafiles\/39825\/upload\/files\/Elionix%20EIS-220P.png","image_thumb_url":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/datafiles\/39825\/upload\/thumb_files\/Elionix%20EIS-220P.png","tags":"","count_view":258,"seo_name":"he-thong-quang-khac-chum-ion-elionix","date_update":"1756182139","date_created_format":"","meta_title":"","meta_desc":"","meta_keyword":"","sku":"64220-64222-141017-3617151","code":"","rate":0,"image_2_url":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/datafiles\/39825\/upload\/files\/Elionix%20EIS-220P.png","image_2_thumb_url":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/datafiles\/39825\/upload\/thumb_files\/Elionix%20EIS-220P.png","time_promotion":false,"date_sale":[],"status_order":7,"variant_options":[{"id":63715,"name":"Ứng dụng","code_color":"","display_order":1,"image":"","thumb_url":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/datafiles\/39825\/upload\/thumb_files\/ADST%20favicon%20Red.png","type":3,"options":[{"id":63716,"name":"Khoa học Vật liệu","code_color":"","display_order":1,"image":"","thumb_url":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/datafiles\/39825\/upload\/thumb_files\/ADST%20favicon%20Red.png","type":3},{"id":64220,"name":"Điện tử - Bán dẫn","code_color":"","display_order":4,"image":"","thumb_url":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/datafiles\/39825\/upload\/thumb_files\/ADST%20favicon%20Red.png","type":3}]},{"id":64221,"name":"Kỹ thuật","code_color":"","display_order":2,"image":"","thumb_url":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/datafiles\/39825\/upload\/thumb_files\/ADST%20favicon%20Red.png","type":3,"options":[{"id":64787,"name":"Phân tích và đo lường","code_color":"","display_order":3,"image":"","thumb_url":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/datafiles\/39825\/upload\/thumb_files\/ADST%20favicon%20Red.png","type":3},{"id":141012,"name":"Thiết kế, tổng hợp và chế tạo","code_color":"","display_order":5,"image":"","thumb_url":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/datafiles\/39825\/upload\/thumb_files\/ADST%20favicon%20Red.png","type":3},{"id":64222,"name":"Xử lý bề mặt","code_color":"","display_order":6,"image":"","thumb_url":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/datafiles\/39825\/upload\/thumb_files\/ADST%20favicon%20Red.png","type":3}]},{"id":140780,"name":"Chuyên ngành","code_color":"","display_order":3,"image":"","thumb_url":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/datafiles\/39825\/upload\/thumb_files\/ADST%20favicon%20Red.png","type":3,"options":[{"id":141017,"name":"Vật lý","code_color":"","display_order":1,"image":"","thumb_url":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/datafiles\/39825\/upload\/thumb_files\/ADST%20favicon%20Red.png","type":3}]}],"variants":[{"status_inventory":1,"status_order":7,"id":826729,"product_id":3617151,"sku":"1755679086261","barcode":"","quantity":0,"quantity_alert":0,"price":0,"price_discount":0,"images":[],"display_order":0,"is_point":"","point":"","vat":"","weight":"","variant_options":{"63715":{"id":63716,"name":"Khoa học Vật liệu"},"64221":{"id":64787,"name":"Phân tích và đo lường"},"140780":{"id":141017,"name":"Vật lý"}},"variant_option_name":"Khoa học Vật liệu-Phân tích và đo lường-Vật lý","image":"","price_final":0,"price_final_format":"0 đ","price_format":"0 đ","price_discount_format":"0 đ","percent_discount":0,"date_sale":[],"percent_discount_format":"- 0%","price_discount_final_format":"0 đ"},{"status_inventory":1,"status_order":7,"id":827477,"product_id":3617151,"sku":"63716-141012-141017-3617151","barcode":"","quantity":0,"quantity_alert":0,"price":0,"price_discount":0,"images":[],"display_order":0,"is_point":"","point":"","vat":"","weight":"","variant_options":{"63715":{"id":63716,"name":"Khoa học Vật liệu"},"64221":{"id":141012,"name":"Thiết kế, tổng hợp và chế tạo"},"140780":{"id":141017,"name":"Vật lý"}},"variant_option_name":"Khoa học Vật liệu-Thiết kế, tổng hợp và chế tạo-Vật lý","image":"","price_final":0,"price_final_format":"0 đ","price_format":"0 đ","price_discount_format":"0 đ","percent_discount":0,"date_sale":[],"percent_discount_format":"- 0%","price_discount_final_format":"0 đ"},{"status_inventory":1,"status_order":7,"id":827478,"product_id":3617151,"sku":"63716-64222-141017-3617151","barcode":"","quantity":0,"quantity_alert":0,"price":0,"price_discount":0,"images":[],"display_order":0,"is_point":"","point":"","vat":"","weight":"","variant_options":{"63715":{"id":63716,"name":"Khoa học Vật liệu"},"64221":{"id":64222,"name":"Xử lý bề mặt"},"140780":{"id":141017,"name":"Vật lý"}},"variant_option_name":"Khoa học Vật liệu-Xử lý bề mặt-Vật lý","image":"","price_final":0,"price_final_format":"0 đ","price_format":"0 đ","price_discount_format":"0 đ","percent_discount":0,"date_sale":[],"percent_discount_format":"- 0%","price_discount_final_format":"0 đ"},{"status_inventory":1,"status_order":7,"id":827479,"product_id":3617151,"sku":"64220-64787-141017-3617151","barcode":"","quantity":0,"quantity_alert":0,"price":0,"price_discount":0,"images":[],"display_order":0,"is_point":"","point":"","vat":"","weight":"","variant_options":{"63715":{"id":64220,"name":"Điện tử - Bán dẫn"},"64221":{"id":64787,"name":"Phân tích và đo lường"},"140780":{"id":141017,"name":"Vật lý"}},"variant_option_name":"Điện tử - Bán dẫn-Phân tích và đo lường-Vật lý","image":"","price_final":0,"price_final_format":"0 đ","price_format":"0 đ","price_discount_format":"0 đ","percent_discount":0,"date_sale":[],"percent_discount_format":"- 0%","price_discount_final_format":"0 đ"},{"status_inventory":1,"status_order":7,"id":827480,"product_id":3617151,"sku":"64220-141012-141017-3617151","barcode":"","quantity":0,"quantity_alert":0,"price":0,"price_discount":0,"images":[],"display_order":0,"is_point":"","point":"","vat":"","weight":"","variant_options":{"63715":{"id":64220,"name":"Điện tử - Bán dẫn"},"64221":{"id":141012,"name":"Thiết kế, tổng hợp và chế tạo"},"140780":{"id":141017,"name":"Vật lý"}},"variant_option_name":"Điện tử - Bán dẫn-Thiết kế, tổng hợp và chế tạo-Vật lý","image":"","price_final":0,"price_final_format":"0 đ","price_format":"0 đ","price_discount_format":"0 đ","percent_discount":0,"date_sale":[],"percent_discount_format":"- 0%","price_discount_final_format":"0 đ"},{"status_inventory":1,"status_order":7,"id":827481,"product_id":3617151,"sku":"64220-64222-141017-3617151","barcode":"","quantity":0,"quantity_alert":0,"price":0,"price_discount":0,"images":[],"display_order":0,"is_point":"","point":"","vat":"","weight":"","variant_options":{"63715":{"id":64220,"name":"Điện tử - Bán dẫn"},"64221":{"id":64222,"name":"Xử lý bề mặt"},"140780":{"id":141017,"name":"Vật lý"}},"variant_option_name":"Điện tử - Bán dẫn-Xử lý bề mặt-Vật lý","image":"","price_final":0,"price_final_format":"0 đ","price_format":"0 đ","price_discount_format":"0 đ","percent_discount":0,"date_sale":[],"percent_discount_format":"- 0%","price_discount_final_format":"0 đ"}],"variantIdDefault":827481,"image_list":[{"image_url":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/datafiles\/39825\/upload\/files\/Elionix%20EIS-220P.png","image_thumb_url":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/datafiles\/39825\/upload\/\/thumb_files\/Elionix%20EIS-220P.png"}],"product_articles":[{"id":109856,"name":"Thông số kỹ thuật chính","desc":"","content":"<h3>Th&ocirc;ng số kỹ thuật ch&iacute;nh<\/h3>\n\n&nbsp;<\/p>\n\n<ul>\n\t<li>\n\tNguồn ion:<\/b> Nguồn ion loại cộng hưởng cyclotron điện tử (ECR).<\/p>\n\t<\/li>\n\t<li>\n\tKh&iacute; ion h&oacute;a:<\/b> C&oacute; thể sử dụng c&aacute;c loại kh&iacute; trơ (như Ar, Xe) v&agrave; kh&iacute; hoạt h&oacute;a (như O₂, CF₄).<\/p>\n\t<\/li>\n\t<li>\n\tĐiện &aacute;p gia tốc:<\/b> C&oacute; thể thay đổi li&ecirc;n tục từ 100 V<\/b> đến 3000 V<\/b>.<\/p>\n\t<\/li>\n\t<li>\n\tMật độ d&ograve;ng ion:<\/b> Đạt &ge; 1.5 mA\/cm&sup2;<\/b> (với Ar) v&agrave; &ge; 2.0 mA\/cm&sup2;<\/b> (với O₂) ở 2 kV.<\/p>\n\t<\/li>\n\t<li>\n\tĐường k&iacute;nh ch&ugrave;m tia:<\/b> Khoảng &Phi; 20 mm<\/b>.<\/p>\n\t<\/li>\n\t<li>\n\tK&iacute;ch thước mẫu:<\/b> Hỗ trợ tối đa wafer 4 inch<\/b>.<\/p>\n\t<\/li>\n<\/ul>\n"},{"id":109857,"name":"Ứng dụng","desc":"","content":"<h3>Ứng dụng<\/h3>\n\n<ul>\n\t<li>\n\tTạo cấu tr&uacute;c nano:<\/b> Khắc c&aacute;c mẫu nanomet như đường v&agrave; khoảng trống (Line &amp; Space), c&aacute;c cấu tr&uacute;c trụ với đường k&iacute;nh nhỏ tới 35 nm<\/b>.<\/p>\n\t<\/li>\n\t<li>\n\tVật liệu v&agrave; thiết bị quang học:<\/b> Tạo c&aacute;c mẫu c&oacute; độ s&acirc;u lớn, c&aacute;c cấu tr&uacute;c quang học như lưới nhiễu xạ (holographic pattern) với độ s&acirc;u l&ecirc;n tới 1050 nm<\/b>.<\/p>\n\t<\/li>\n\t<li>\n\tC&ocirc;ng nghệ b&aacute;n dẫn:<\/b> Chế tạo c&aacute;c cấu tr&uacute;c phức tạp như m&ocirc; h&igrave;nh n&acirc;ng (lift-off pattern) v&agrave; cấu tr&uacute;c T-gate.<\/p>\n\t<\/li>\n\t<li>\n\tNghi&ecirc;n cứu vật liệu:<\/b> Ăn m&ograve;n c&aacute;c vật liệu kh&oacute; như Pt v&agrave; Si.<\/p>\n\t<\/li>\n<\/ul>\n"}],"total_point_review":0,"link_youtube":"https:\/\/www.youtube.com\/embed\/","video_url":"","booking_url":"javascript:void(0)","brand_name":"Elionix","qr_code":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/he-thong-quang-khac-chum-ion-elionix.html","promotion_name":"","option":{"2":"Sản phẩm mới"},"status_inventory_value":1,"status_inventory":"Còn hàng","price":false,"price_final":false,"percent_discount":false,"price_discount":false},{"id":3610750,"name":"Thiết bị hoá hơi hoá học Plasma tăng cường - PECVD","desc":"PlasmaPro 80 l&agrave; một c&ocirc;ng cụ nạp mở, nhỏ gọn để khắc v&agrave; lắng đọng plasma. N&oacute; đại diện cho thế hệ hệ thống plasma tiếp theo. Hệ thống n&agrave;y l&yacute; tưởng cho R&amp;D hoặc sản xuất quy m&ocirc; nhỏ, c&oacute; khả năng xử l&yacute; từ những mảnh wafer nhỏ nhất đến wafer 200mm. Thiết kế nạp mở của n&oacute; cho ph&eacute;p nạp v&agrave; dỡ wafer nhanh ch&oacute;ng, l&yacute; tưởng cho nghi&ecirc;n cứu, tạo mẫu v&agrave; sản xuất khối lượng thấp.<\/p>\n","content":"- Hệ thống nhỏ gọn, chiếm &iacute;t kh&ocirc;ng gian, dễ d&agrave;ng lắp đặt v&agrave; sử dụng, kh&ocirc;ng ảnh hưởng đến chất lượng quy tr&igrave;nh . \n- Nhiều cấu h&igrave;nh c&ocirc;ng nghệ xử l&yacute; bao gồm RIE, ICP, PECVD v&agrave; RIE\/PE . \n- L&agrave;m m&aacute;t điện cực tối ưu mang lại khả năng kiểm so&aacute;t quy tr&igrave;nh, độ đồng đều nhiệt độ wafer v&agrave; t&iacute;nh linh hoạt tuyệt vời . \n- Bộ tự động khớp nối (AMU) ti&ecirc;n tiến cho ph&eacute;p c&agrave;i đặt dễ d&agrave;ng, khớp nối nhanh trong phạm vi rộng v&agrave; truyền RF tuyệt vời . \n- C&aacute;c hệ thống ph&aacute;t hiện điểm cuối t&ugrave;y chọn như giao thoa kế laser v&agrave; quang phổ ph&aacute;t xạ quang (OES) để kiểm so&aacute;t qu&aacute; tr&igrave;nh khắc . \n- Hệ thống điều khiển kh&iacute; m&ocirc;-đun với cơ sở bỏ qua từ xa, cho ph&eacute;p l&ecirc;n đến 12 đường kh&iacute; . \n- Phần mềm PC4000&trade; th&acirc;n thiện với người d&ugrave;ng cung cấp giao diện người d&ugrave;ng r&otilde; r&agrave;ng, quản l&yacute; c&ocirc;ng thức quy tr&igrave;nh, ghi nhật k&yacute; dữ liệu li&ecirc;n tục (50ms) v&agrave; ho&agrave;n to&agrave;n tương th&iacute;ch GEM\/SECS . \n- Tải nhiệt thấp v&agrave; hiệu suất năng lượng cao.<\/p>\n","image_url":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/datafiles\/39825\/upload\/files\/PlasmaPro-80-PECVD-Operator.jpg?t=1752828898","image_thumb_url":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/datafiles\/39825\/upload\/thumb_files\/PlasmaPro-80-PECVD-Operator.jpg?t=1779261602","tags":["PlasmaPro80","Plasma etch","Plasma deposition","RIE","ICP","PECVD","màng mỏng"],"count_view":755,"seo_name":"thiet-bi-hoa-hoi-hoa-hoc-plasma-tang-cuong-pecvd","date_update":"1756119476","date_created_format":"","meta_title":"Thiết bị hoá hơi hoá học Plasma tăng cường - PECVD","meta_desc":"PlasmaPro 80 là một công cụ nạp mở, nhỏ gọn để khắc và lắng đọng plasma. Nó đại diện cho thế hệ hệ thống plasma tiếp theo. Hệ thống này lý tưởng cho R&D hoặc sản xuất quy mô nhỏ, có khả năng xử lý từ những mảnh wafer nhỏ nhất đến wafer 200mm. Thiết kế nạp","meta_keyword":"PlasmaPro 80, khắc plasma, lắng đọng plasma, RIE, ICP, PECVD, khắc khô, khắc silicon, khắc III-V, lắng đọng DLC, khắc SiO2, khắc thạch anh, phân tích lỗi, xử lý wafer, thiết bị bán dẫn, Oxford Instruments, hệ thống plasma R&D, sản xuất quy mô nhỏ, hệ thốn","sku":"1752828286504","code":"","rate":0,"image_2_url":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/datafiles\/39825\/upload\/files\/PlasmaPro-80-PECVD-Operator.jpg?t=1752828898","image_2_thumb_url":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/datafiles\/39825\/upload\/thumb_files\/PlasmaPro-80-PECVD-Operator.jpg?t=1779261602","time_promotion":false,"date_sale":[],"status_order":7,"variant_options":[{"id":63715,"name":"Ứng dụng","code_color":"","display_order":1,"image":"","thumb_url":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/datafiles\/39825\/upload\/thumb_files\/ADST%20favicon%20Red.png","type":3,"options":[{"id":63716,"name":"Khoa học Vật liệu","code_color":"","display_order":1,"image":"","thumb_url":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/datafiles\/39825\/upload\/thumb_files\/ADST%20favicon%20Red.png","type":3}]},{"id":64221,"name":"Kỹ thuật","code_color":"","display_order":2,"image":"","thumb_url":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/datafiles\/39825\/upload\/thumb_files\/ADST%20favicon%20Red.png","type":3,"options":[{"id":64787,"name":"Phân tích và đo lường","code_color":"","display_order":3,"image":"","thumb_url":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/datafiles\/39825\/upload\/thumb_files\/ADST%20favicon%20Red.png","type":3}]}],"variants":[{"status_inventory":1,"status_order":7,"id":819862,"product_id":3610750,"sku":"1752828286504","barcode":"","quantity":0,"quantity_alert":0,"price":0,"price_discount":0,"images":[],"display_order":0,"is_point":"","point":"","vat":"","weight":"","variant_options":{"63715":{"id":63716,"name":"Khoa học Vật liệu"},"64221":{"id":64787,"name":"Phân tích và đo lường"}},"variant_option_name":"Khoa học Vật liệu-Phân tích và đo lường","image":"","price_final":0,"price_final_format":"0 đ","price_format":"0 đ","price_discount_format":"0 đ","percent_discount":0,"date_sale":[],"percent_discount_format":"- 0%","price_discount_final_format":"0 đ"}],"variantIdDefault":819862,"image_list":[{"image_url":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/datafiles\/39825\/upload\/files\/PlasmaPro-80-PECVD-Operator.jpg","image_thumb_url":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/datafiles\/39825\/upload\/\/thumb_files\/PlasmaPro-80-PECVD-Operator.jpg"}],"product_articles":[{"id":108104,"name":"Thông số kỹ thuật","desc":"","content":"K&iacute;ch thước wafer: C&aacute;c wafer nhỏ nhất c&oacute; đường k&iacute;nh l&ecirc;n đến 200mm \nĐường k&iacute;nh điện cực: Điện cực 240mm c&oacute; thể chứa c&aacute;c wafer c&oacute; k&iacute;ch thước l&ecirc;n đến 200mm cho tất cả c&aacute;c cấu h&igrave;nh hệ thống \nPhạm vi nhiệt độ điện cực: L&ecirc;n đến 400oC, với c&aacute;c t&ugrave;y chọn l&agrave;m m&aacute;t mặt sau bằng kh&iacute; heli v&agrave; t&ugrave;y chọn điện cực đ&ocirc;ng lạnh xuống đến -150 ∘ C \nTần số nguồn plasma: 13,56 MHz (cho RIE, ICP, PE). Đối với PECVD, kiểm so&aacute;t ứng suất được cung cấp bằng nguồn plasma tần số cao\/thấp c&oacute; thể lựa chọn hoặc kết hợp \nGhi dữ liệu: Ghi dữ liệu 50ms về gi&aacute; trị tụ điện v&agrave; ghi dữ liệu hệ thống li&ecirc;n tục (50ms) \nĐường dẫn kh&iacute;: Tối đa 12 đường dẫn kh&iacute; \nK&iacute;ch thước tổng thể (mm): Chiều cao: 1527mm; Chiều rộng: 762mm; Chiều s&acirc;u: 940mm (c&oacute; b&aacute;nh xe), 1256mm (để vận chuyển, c&oacute; thể kh&ocirc;ng c&oacute; b&aacute;nh xe).<\/p>\n"},{"id":108105,"name":"Đặc điểm","desc":"","content":"- Hệ thống nhỏ gọn, chiếm &iacute;t kh&ocirc;ng gian, dễ d&agrave;ng lắp đặt v&agrave; sử dụng, kh&ocirc;ng ảnh hưởng đến chất lượng quy tr&igrave;nh . \n- Nhiều cấu h&igrave;nh c&ocirc;ng nghệ xử l&yacute; bao gồm RIE, ICP, PECVD v&agrave; RIE\/PE . \n- L&agrave;m m&aacute;t điện cực tối ưu mang lại khả năng kiểm so&aacute;t quy tr&igrave;nh, độ đồng đều nhiệt độ wafer v&agrave; t&iacute;nh linh hoạt tuyệt vời . \n- Bộ tự động khớp nối (AMU) ti&ecirc;n tiến cho ph&eacute;p c&agrave;i đặt dễ d&agrave;ng, khớp nối nhanh trong phạm vi rộng v&agrave; truyền RF tuyệt vời . \n- C&aacute;c hệ thống ph&aacute;t hiện điểm cuối t&ugrave;y chọn như giao thoa kế laser v&agrave; quang phổ ph&aacute;t xạ quang (OES) để kiểm so&aacute;t qu&aacute; tr&igrave;nh khắc . \n- Hệ thống điều khiển kh&iacute; m&ocirc;-đun với cơ sở bỏ qua từ xa, cho ph&eacute;p l&ecirc;n đến 12 đường kh&iacute; . \n- Phần mềm PC4000&trade; th&acirc;n thiện với người d&ugrave;ng cung cấp giao diện người d&ugrave;ng r&otilde; r&agrave;ng, quản l&yacute; c&ocirc;ng thức quy tr&igrave;nh, ghi nhật k&yacute; dữ liệu li&ecirc;n tục (50ms) v&agrave; ho&agrave;n to&agrave;n tương th&iacute;ch GEM\/SECS . \n- Tải nhiệt thấp v&agrave; hiệu suất năng lượng cao.<\/p>\n"}],"total_point_review":0,"link_youtube":"https:\/\/www.youtube.com\/embed\/","video_url":"","booking_url":"javascript:void(0)","brand_name":"Oxford Instruments","qr_code":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/thiet-bi-hoa-hoi-hoa-hoc-plasma-tang-cuong-pecvd.html","promotion_name":"","option":{"2":"Sản phẩm mới","3":"Sản phẩm đặt biệt","4":"Sản phẩm Hot"},"status_inventory_value":1,"status_inventory":"Còn hàng","price":false,"price_final":false,"percent_discount":false,"price_discount":false}]},"widget_6484467":{"content_data":{"content":"Sản phẩm liên quan"}},"widget_6465025":{"content_data":{"content":"SẢN PHẨM"}},"widget_6465119":{"content_data":{"content":"bài viết ỨNG DỤNG"}},"widget_6465145":{"content_data":{"content":"Dịch vụ"}},"widget_6465148":{"content_data":{"content":"THƯ VIỆN KHOA HỌC"}},"widget_6465151":{"content_data":{"content":"Công ty"}},"widget_6465154":{"content_data":{"content":"MẠNG XÃ HỘI"}},"widget_6442277":{"content_data":{"content":"Thông tin"}},"widget_6465152":{"content_data":[{"id":136579,"name":"Liên hệ","desc":"","content":"","image_url":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/datafiles\/39825\/upload\/files\/ADST%20favicon%20Red.png","image_thumb_url":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/datafiles\/39825\/upload\/thumb_files\/ADST%20favicon%20Red.png","tags":"","count_view":0,"seo_name":"lien-he","date_update":0,"date_created_format":"0","meta_title":"","meta_desc":"","meta_keyword":"","unique":110713,"index":0}]},"widget_6587237":{"content_data":{"content":"Đăng ký"}},"title_page":"Sản phẩm","relate_object_id":3678842}

Máy quang khắc không mặt nạ MLA 300

sản phẩm

Sản phẩm liên quan

Máy quang khắc Grayscale DWL 2000 GS / DWL 4000 GS - Heidelberg Instruments

Hệ thống Quang khắc Không mặt nạ để bàn µMLA

Hệ thống quang khắc chùm ion Elionix

Thiết bị hoá hơi hoá học Plasma tăng cường - PECVD

ADST - Công Ty Cổ Phần Công Nghệ An Đông

Thông tin

SẢN PHẨM

bài viết ỨNG DỤNG

Dịch vụ

THƯ VIỆN KHOA HỌC

Công ty

MẠNG XÃ HỘI