Thể tích buồng xử lý 100 lít
Buồng bằng thép không gỉ 304L hình hộp: Rộng 387,4mm x sâu 419,1mm x cao 610mm), kích thước bên trong.
Buồng thiết kế với cửa trước, vòng đệm nhôm hàn kín hai mặt đảm bảo khả năng tối đa cho việc nâng cấp và lắp đặt thêm các mô đun.
Cấu tạo tủ bằng thép cacbon, khung đỡ máy kín hoàn toàn, khu vực buồng để mở.
Nguồn lắng đọng (phủ): sẵn sàng với nhiều dạng kết hợp khác nhau)
Nguồn catot phún xạ magnetron lên đến (6) 3 ''
Nguồn chùm tia điện tử 4 khay 8cc, 8 khay 12cc và 6 khay 20cc
Nguồn bốc bay nhiệt lên đến (4) 4 ''
Nguồn bốc bay hữu cơ lên đến 2 nguồn
Hướng lắng đọng: từ dưới lên trên.
- Nguồn ion làm sạch bề mặt hoặc nguồn ion tác động mẫu với Bias eH400 hoặc RF 100W
- Kích thước đế mẫu (tối đa) một tấm 6 '' (150mm) với chức năng quay và có thể điều chỉnh độ quay tối đa 20 vòng/phút.
- Đế mẫu gia nhiệt lên đến 850 ° C ( mẫu đơn150mm) hoặc làm mát bằng nước (mẫu đơn 150mm)
- Bơm chân không tiêu chuẩn Bơm Turbo 790 l / giây - 5 x 10-7 torr (6,7 x 10-7 mbar) 1250 l / giây Turbo hoặc - 8 x 10-8 torr (1,1 x 10-7 mbar)
- Có sẵn bơm Cryo 1500 l / giây - 5 x 10-8 torr (6,7 x 10-8 mbar)
- Đo máy đo chân không phạm vi rộng
- Quy trình Khí 4 Kênh Điều khiển lưu lượng khối lượng với van cổng 3 vị trí hoặc vị trí thay đổi
- Kiểm soát hệ thống HMI dựa trên PC, kiểm soát công thức nâng cao eKLipseTM và lập danh mục dữ liệu
- Công suất yêu cầu (điển hình, dựa trên các tùy chọn) 208VAC, 3Ø, 50/60 Hz;
- Tùy chọn 380VAC, 3Ø, 50/60 Hz
- Chứng chỉ, Bảng điểm có sẵn Các hệ thống trong Khu vực Kinh tế Châu Âu (EEA) được đánh dấu CE và tuân thủ tuân theo các chỉ thị của EU: -Chỉ thị điện áp thấp (LVD) 2014/35 / EU -Chỉ thị về khả năng tương thích điện từ (EMC) 2014/30 / EU Các hệ thống bên ngoài EEA có thể được đánh dấu CE theo yêu cầu Có chứng nhận CSA và NRTL Bảo hành 12 tháng khi giao hàng
- Kích thước tổng thể (xấp xỉ) rộng 73,5 ”(1866,9mm) x sâu 32” (812,8mm) x cao 75,9 ”(1928mm) Trọng lượng (khoảng) 1.800 lbs (816 kg)
