Hệ thống tạo màng mỏng NANO 36™

Phần mềm của KJLC cho phép tạo công thức thân thiện với người dùng cùng với mô-đun xử lý đáng tin cậy, không bị gián đoạn cho phép hoàn thành quy trình, bất kể trạng thái của giao diện người dùng máy tính. Để biết thêm thông tin về gói phần mềm trực quan, độc đáo và đáng tin cậy này, vui lòng xem Tab Phần mềm.

NANO 36 Thin Film Deposition System Platform

NANO 36 Thin Film Deposition System PlatformNANO 36 Thin Film Deposition System Platform 1NANO 36 Thin Film Deposition System Platform 2

Buồng xử lý

  • Các tấm trên và dưới có thể tháo rời và cấu hình lại trên các cổng ISO 250 (ống 10")

  • Thân buồng bằng thép không gỉ hình trụ định hướng theo chiều ngang

  • Cửa trước bằng lò xo, kiểu con lắc, ra vào toàn phần, bằng nhôm

  • Bao gồm các cổng bơm, quy trình, đo lường và thiết bị phù hợp

  • Số lượng (2) khung nhìn bao gồm trong cửa buồng. Mỗi cổng xem có vùng xem 1,26" Ø.

Vacuum Pumping & Gauging

Độ an toàn

Hệ thống giá đỡ điện tử đi kèm.

  • *Khung nhỏ gọn, rộng 30.00" x sâu 32.00" x cao 44.15" (rộng 762mm x sâu 812.8mm x cao 1121.4mm)

  • Bảo vệ EMO Protection đáp ứng tiêu chuẩn trên toàn bộ hệ thống KJLC.

  • Biến áp cách ly và khoá liên động an toàn được đáp ứng tiêu chuẩn trên toàn bộ hệ thống KJLC.

*kích thước và giá treo hệ thống phụ thuộc vào các tuỳ chọn đã được lựa trước.

Quality

Việc sử dụng các thành phần hàng đầu trong ngành cho phép KJLC sản xuất công cụ R&D PVD chất lượng cao nhất trên thị trường. Các thành phần và điểm sản xuất chính là:

  • Tiêu chuẩn bảo hành một năm

  • Bơm Turbomolecular Pfeiffer

  • Nguồn nhiệt độ thấp KJLC

  • Nguồn phún xạ KJLC Torus và nguồn điện

  • Hàn quỹ đạo trên tất cả các dòng / ống dẫn khí quy trình

 

Specifications

Process Chamber Volume

58 liters

Process Chamber Geometry

Horizontally Oriented, Cylindrical 304L Stainless Steel Chamber Body: 15.13” Diameter x 16.25” Overall Length (OAL).

Process Chamber Construction

304L Stainless Steel with 6061 Aluminum. Pendulum Door Assembly

Cabinet Construction

Carbon Steel, Fully Enclosed Instrument Rack, Open Chamber Area, Gray Powder Coat Finish

Deposition Sources

Up to (3) 2’’ or 3’’ Torus® Magnetron Sputtering Cathodes

 

Up to (4) 2’’ Thermal Evaporation Sources

 

Up to (4) LTE Organic Material Evaporation Sources

 

Combination Baseplate of (2) 2'' Thermal & (2) LTE Sources

Deposition Orientation

Sputter Up, Evaporation Up

Substrate Size (max)

100mm x 100mm, 150mm Dia

Substrate Heating

Up to 800°C, with a 1'' Static Platen; Up to 350°C, Rotating 100mm x 100mm or 150mm Diameter Platen

Standard Vacuum Pumping

260 l/sec Turbo Pump

Gauging

Wide Range Vacuum Gauge

Process Gas

Up to 2 Fujikin FCST1000F Mass Flow Controllers

System Control

PC-Based HMI, with Optional Recipe Control and Datalogging

Required Power (typical, based on options)

208VAC, Single Phase, 50/60 Hz; Optional 380VAC, Single Phase, 50/60 Hz

Available Certifications, Markings

Systems within the European Economic Area (EEA) are CE marked and comply with the following EU directives:Low Voltage Directive (LVD) 2014/35/EU / Electromagnetic Compatibility (EMC) Directive 2014/30/EU : CSA and NRTL

Warranty

12 Months upon Shipment

Overall Dimensions (approx)

Door Closed: 34'' (864mm) wide x 32'' (813mm) deep x 75'' (1911mm) high Door Open: 48’’ (1207mm) wide x 32’’ (813mm) deep x 75’’ (1911mm) high

Weight (approx)

650 lbs (295 kg)

  • Chia sẻ qua viber bài: Hệ thống tạo màng mỏng NANO 36™
  • Chia sẻ qua reddit bài:Hệ thống tạo màng mỏng NANO 36™

sản phẩm

Loading...

Sản phẩm liên quan

Nền tảng điện toán lượng tử trên đám mây IQM Resonance

Nền tảng điện toán lượng tử trên đám mây IQM Resonance  Hãng cung cấp: IQM - Phần Lan IQM Resonance là nền tảng điện toán lượng tử trên đám mây được quản lý hoàn toàn, cung cấp truy cập tức thì đến các QPU (Quantum Processing Unit) tiên tiến, lý tưởng cho doanh nghiệp, viện nghiên cứu và môi trường học thuật
Xem thêm

Máy tính lượng tử siêu dẫn 20, 54 và 150 qubit

Máy tính lượng tử siêu dẫn 20, 54 và 150 qubit Model: IQM Radiance Nhà sản xuất: IQM Quantum Computers - Phần Lan Xuất xứ: Phần Lan IQM Radiance là nền tảng máy tính lượng tử siêu dẫn tiên tiến, được thiết kế cho các trung tâm tính toán hiệu năng cao (HPC), trung tâm dữ liệu, cơ quan chính phủ và các doanh nghiệp muốn khai thác lợi thế lượng tử (quantum advantage). Với các qubit chất lượng cao và tích hợp hybrid, Radiance là giải pháp lý tưởng cho các ứng dụng thực tiễn trong machine learning, an ninh mạng, tối ưu hóa năng lượng, và nghiên cứu hóa học.
Xem thêm

Máy tính lượng tử siêu dẫn 5 qubit

Máy tính lượng tử siêu dẫn 5 Qubit Model: IQM Spark Nhà sản xuất: IQM Quantum Computers - Phần Lan Xuất xứ: Phần Lan IQM Spark là hệ thống máy tính lượng tử siêu dẫn được thiết kế dành riêng cho các trường đại học, viện nghiên cứu, và phòng thí nghiệm để phục vụ giảng dạy, phát triển thuật toán lượng tử, và nghiên cứu trong kỷ nguyên NISQ (Noisy Intermediate-Scale Quantum). Với chi phí hợp lý, hệ thống này mang đến hiệu suất cao, khả năng tích hợp linh hoạt, và thiết kế tối ưu cho các ứng dụng nghiên cứu lượng tử. Ứng dụng Nghiên cứu lượng tử: Thí nghiệm vật lý lượng tử, nghiên cứu linh kiện lượng tử. Phát triển và thử nghiệm các thuật toán lượng tử (VD: VQE, QAOA). Giáo dục: Phù hợp cho giảng dạy tại các trường đại học (cử nhân, thạc sĩ, tiến sĩ). Tài liệu học tập và hướng dẫn qua IQM Academy. Ứng dụng công nghiệp: Tối ưu hóa các vấn đề trong hóa học lượng tử, tối ưu hóa tổ hợp, và máy học lượng tử.  
Xem thêm

Hệ thống làm lạnh pha loãng bằng đồng vị Heli LD250

Hệ thống làm lạnh pha loãng bằng đồng vị Heli LD250 Model: LD250 Hãng sản xuất: Bluefors - Phần Lan Xuất xứ: Phần Lan Được thiết kế để cung cấp môi trường nhiệt độ cực thấp (dưới 10 mK) cho các thí nghiệm lượng tử và nghiên cứu vật lý nhiệt độ thấp. Hệ thống này nổi bật với khả năng làm lạnh nhanh, vận hành tự động, và thiết kế mở giúp dễ dàng tiếp cận không gian thí nghiệm. LD250 được tối ưu hóa để cung cấp công suất làm lạnh, phù hợp cho các thí nghiệm yêu cầu không gian mẫu lớn và công suất làm lạnh mạnh mẽ.
Xem thêm