Hệ thống tạo màng mỏng NANO 36™

Phần mềm của KJLC cho phép tạo công thức thân thiện với người dùng cùng với mô-đun xử lý đáng tin cậy, không bị gián đoạn cho phép hoàn thành quy trình, bất kể trạng thái của giao diện người dùng máy tính. Để biết thêm thông tin về gói phần mềm trực quan, độc đáo và đáng tin cậy này, vui lòng xem Tab Phần mềm.

NANO 36 Thin Film Deposition System Platform

NANO 36 Thin Film Deposition System PlatformNANO 36 Thin Film Deposition System Platform 1NANO 36 Thin Film Deposition System Platform 2

Buồng xử lý

  • Các tấm trên và dưới có thể tháo rời và cấu hình lại trên các cổng ISO 250 (ống 10")

  • Thân buồng bằng thép không gỉ hình trụ định hướng theo chiều ngang

  • Cửa trước bằng lò xo, kiểu con lắc, ra vào toàn phần, bằng nhôm

  • Bao gồm các cổng bơm, quy trình, đo lường và thiết bị phù hợp

  • Số lượng (2) khung nhìn bao gồm trong cửa buồng. Mỗi cổng xem có vùng xem 1,26" Ø.

Vacuum Pumping & Gauging

Độ an toàn

Hệ thống giá đỡ điện tử đi kèm.

  • *Khung nhỏ gọn, rộng 30.00" x sâu 32.00" x cao 44.15" (rộng 762mm x sâu 812.8mm x cao 1121.4mm)

  • Bảo vệ EMO Protection đáp ứng tiêu chuẩn trên toàn bộ hệ thống KJLC.

  • Biến áp cách ly và khoá liên động an toàn được đáp ứng tiêu chuẩn trên toàn bộ hệ thống KJLC.

*kích thước và giá treo hệ thống phụ thuộc vào các tuỳ chọn đã được lựa trước.

Quality

Việc sử dụng các thành phần hàng đầu trong ngành cho phép KJLC sản xuất công cụ R&D PVD chất lượng cao nhất trên thị trường. Các thành phần và điểm sản xuất chính là:

  • Tiêu chuẩn bảo hành một năm

  • Bơm Turbomolecular Pfeiffer

  • Nguồn nhiệt độ thấp KJLC

  • Nguồn phún xạ KJLC Torus và nguồn điện

  • Hàn quỹ đạo trên tất cả các dòng / ống dẫn khí quy trình

 

Specifications

Process Chamber Volume

58 liters

Process Chamber Geometry

Horizontally Oriented, Cylindrical 304L Stainless Steel Chamber Body: 15.13” Diameter x 16.25” Overall Length (OAL).

Process Chamber Construction

304L Stainless Steel with 6061 Aluminum. Pendulum Door Assembly

Cabinet Construction

Carbon Steel, Fully Enclosed Instrument Rack, Open Chamber Area, Gray Powder Coat Finish

Deposition Sources

Up to (3) 2’’ or 3’’ Torus® Magnetron Sputtering Cathodes

 

Up to (4) 2’’ Thermal Evaporation Sources

 

Up to (4) LTE Organic Material Evaporation Sources

 

Combination Baseplate of (2) 2'' Thermal & (2) LTE Sources

Deposition Orientation

Sputter Up, Evaporation Up

Substrate Size (max)

100mm x 100mm, 150mm Dia

Substrate Heating

Up to 800°C, with a 1'' Static Platen; Up to 350°C, Rotating 100mm x 100mm or 150mm Diameter Platen

Standard Vacuum Pumping

260 l/sec Turbo Pump

Gauging

Wide Range Vacuum Gauge

Process Gas

Up to 2 Fujikin FCST1000F Mass Flow Controllers

System Control

PC-Based HMI, with Optional Recipe Control and Datalogging

Required Power (typical, based on options)

208VAC, Single Phase, 50/60 Hz; Optional 380VAC, Single Phase, 50/60 Hz

Available Certifications, Markings

Systems within the European Economic Area (EEA) are CE marked and comply with the following EU directives:Low Voltage Directive (LVD) 2014/35/EU / Electromagnetic Compatibility (EMC) Directive 2014/30/EU : CSA and NRTL

Warranty

12 Months upon Shipment

Overall Dimensions (approx)

Door Closed: 34'' (864mm) wide x 32'' (813mm) deep x 75'' (1911mm) high Door Open: 48’’ (1207mm) wide x 32’’ (813mm) deep x 75’’ (1911mm) high

Weight (approx)

650 lbs (295 kg)

  • Chia sẻ qua viber bài: Hệ thống tạo màng mỏng NANO 36™
  • Chia sẻ qua reddit bài:Hệ thống tạo màng mỏng NANO 36™

sản phẩm

Loading...

Sản phẩm liên quan

Hệ thống Quang khắc không mặt nạ đầu dò nhiệt NanoFrazor

NanoFrazor dùng công nghệ khắc nhiệt không mặt nạ (t-SPL) với đầu dò siêu nhọn, tạo cấu trúc nano chính xác cao, không cần chùm điện tử hay mặt nạ đắt tiền. Độ sâu khắc sai số <1nm, tích hợp kiểm tra in-situ, hỗ trợ grayscale 3D cho quang tử nano, cảm biến lượng tử, màng sinh học. Module Decapede 10 đầu dò giúp tăng thông lượng gấp 10 lần.
Xem thêm

Hệ thống Quang khắc không mặt nạ sản xuất khối lượng lớn MLA 300

MLA 300 được tối ưu cho sản xuất khối lượng lớn. Công nghệ Spatial Light Modulator (SLM) cho phép hiệu chỉnh biến dạng theo từng die, tự động lấy nét theo bề mặt cong, tương thích với SECS/GEM. Loại bỏ hoàn toàn chi phí và rắc rối của mask vật lý. Ứng dụng trong sản xuất MEMS, cảm biến, ASIC, advanced packaging, power electronics.
Xem thêm

Hệ thống Quang khắc không mặt nạ Grayscale DWL 2000 GS / 4000 GS

DWL 2000 GS / 4000 GS đáp ứng chuẩn công nghiệp, hỗ trợ xuất CAD với 1023 mức xám. Công nghệ Grayscale độc quyền từ Heidelberg Instruments cho phép tạo cấu trúc 2.5D và vi thấu kính với độ nhám bề mặt xuống 5nm. Giải pháp tối ưu cho chế tạo hologram, bộ khuếch tán ánh sáng và thấu kính Fresnel trong nghiên cứu quang tử, vi quang học.
Xem thêm

TIN MỚI

CHÚNG TÔI ĐÃ CHUYỂN TỚI WWW.adst.vn

CÁM ƠN BẠN ĐÃ GHÉ THĂM WEBSITE MỚI CỦA CHÚNG TÔI!

CHUYỂN TRANG