Hệ thống quang khắc chùm ion Elionix

Đặc điểm nổi bật

Ăn mòn/lắng đọng đa năng: Một số mẫu như EIS-220P được trang bị hai súng ion, cho phép luân phiên thực hiện cả hai quá trình ăn mòn (etching) và lắng đọng (deposition) mà không cần tháo mẫu ra khỏi buồng chân không, giúp duy trì môi trường sạch và hiệu quả quy trình.
Sử dụng nhiều loại khí: Máy có thể sử dụng cả khí trơ (như Argon, Xenon) và khí hoạt hóa (như Oxy, CF4) làm nguồn ion, cho phép thực hiện cả ăn mòn vật lý và ăn mòn hóa học.
Kiểm soát góc chiếu: Cho phép điều chỉnh góc chiếu chùm ion để tạo ra các cấu trúc có thành nghiêng.

Thông số kỹ thuật chính

Nguồn ion: Nguồn ion loại cộng hưởng cyclotron điện tử (ECR).
Khí ion hóa: Có thể sử dụng các loại khí trơ (như Ar, Xe) và khí hoạt hóa (như O₂, CF₄).
Điện áp gia tốc: Có thể thay đổi liên tục từ 100 V đến 3000 V.
Mật độ dòng ion: Đạt ≥ 1.5 mA/cm² (với Ar) và ≥ 2.0 mA/cm² (với O₂) ở 2 kV.
Đường kính chùm tia: Khoảng Φ 20 mm.
Kích thước mẫu: Hỗ trợ tối đa wafer 4 inch.

Ứng dụng

Tạo cấu trúc nano: Khắc các mẫu nanomet như đường và khoảng trống (Line & Space), các cấu trúc trụ với đường kính nhỏ tới 35 nm.
Vật liệu và thiết bị quang học: Tạo các mẫu có độ sâu lớn, các cấu trúc quang học như lưới nhiễu xạ (holographic pattern) với độ sâu lên tới 1050 nm.
Công nghệ bán dẫn: Chế tạo các cấu trúc phức tạp như mô hình nâng (lift-off pattern) và cấu trúc T-gate.
Nghiên cứu vật liệu: Ăn mòn các vật liệu khó như Pt và Si.

{"default_contact":"Liên hệ","default_notification":"Thông báo","default_redirect_click":"Nhấn vào đây nếu đợi quá lâu.","default_fullname":"Họ và tên","default_email":"Email","default_address":"Địa chỉ","default_phone":"Điện thoại","default_send":"Gởi đi","default_reset":"Làm lại","default_select_all":"Chọn tất cả","default_captcha":"Mã bảo vệ","default_input_captcha":"Nhập vào mã bảo vệ","default_contact_send_success":"Bạn đã gởi liên hệ thành công","default_contact_send_false":"Bạn đã gởi liên hệ thất bại","default_back_page_home":"Quay về trang chủ","product_sort_name_asc":"Sắp xếp theo tên (A-Z)","product_sort_name_desc":"Sắp xếp theo tên (Z-A)","product_sort_price_asc":"Sắp xếp theo giá (Nhỏ -> Lớn)","product_sort_price_desc":"Sắp xếp theo giá (Lớn -> Nhỏ)","product_sort_price_sale_asc":"Sắp xếp theo khuyến mãi (Không -> Có)","product_sort_price_sale_desc":"Sắp xếp theo khuyến mãi (Có -> không)","key_option_product_discount":"Sản phẩm khuyến mãi","key_option_product_new":"Sản phẩm mới","key_option_product_special":"Sản phẩm đặt biệt","key_option_product_hot":"Sản phẩm Hot","key_option_news_new":"Tin mới","key_option_news_highlight":"Tin nổi bật","key_option_news_special":"Tin đặc biệt","key_option_news_hot":"Tin hot","key_option_classified_news_highlight":"Tin rao nổi bật","default_newsletter_thanks":"Cảm ơn bạn đã đăng ký trên hệ thống của chúng tôi","error_email_exists":"Email đã tồn tại trong hệ thống","error_email_not_exists":"Email không tồn tại trong hệ thống","error_email_invalid":"Địa chỉ email phải đúng cú pháp, ví dụ: info@tenmien.vn!","member_change_info_success":"Thông tin thay đổi thành công.","member_change_info_fail":"Thay đổi thông tin thất bại.","member_change_password_success":"Mật khẩu thay đổi thành công","member_change_password_fail":"Mật khẩu thay đổi thất bại","member_login_success":"Bạn đã đăng nhập thành công","member_register_success":"Đăng ký tài khoản thành công","member_register_fail":"Đăng ký tài khoản thất bại","member_send_password_new_mail_success":"Mật khẩu mới đã gửi về email đăng ký!","member_send_password_new_fail":"Lấy lại mật khẩu thất bại","error_account_not_found":"Không tìm thấy tài khoản trong hệ thống.","error_limit_login":"Bạn đã nhập sai vượt quá số lần quy định. Vui lòng đăng nhập lại sau:","error_username_required":"Bạn vui lòng nhập tên truy cập","error_username_not_exists":"Tên truy cập không tồn tại.","error_username_space":"Tên truy cập không được chứa khoảng trắng","error_username_exists":"Tên truy cập đã tồn tại","error_account_block":"Tài khoản đã bị khóa","error_password_not_exists":"Mật khẩu bạn nhập không chính xác.","error_password_required":"Bạn vui lòng nhập mật khẩu","error_password_not_regex":"Mật khẩu phải chứa ít nhất 6 ký tự. Bao gồm chữ in hoa, chữ thường và số.","error_password_old_required":"Nhập vào mật khẩu hiện tại của bạn","error_password_old_invalid":"Mật khẩu cũ không đúng","error_password_confirm_invalid":"Mật khẩu phải chứa ít nhất 6 ký tự. Bao gồm chữ in hoa, chữ thường và số.","error_register_is_login":"Bạn đã đăng nhập vào hệ thống. Vui lòng đăng xuất để thực hiện tính năng này","page_login":"Đăng nhập","error_fullname_required":"Bạn vui lòng nhập họ tên","error_fullname_max_length":"Họ tên Không vượt quá 55 ký tự","error_address_max_length":"Địa chỉ không vượt quá 150 ký tự","error_email_required":"Bạn vui lòng nhập email","error_content_required":"Bạn vui lòng nhập nội dung","error_content_max_length":"Nội dung gửi không được vượt quá 5000 ký tự","error_phone_required":"Bạn vui lòng nhập số điện thoại","error_phone_syntax":"Số điện thoại phải đủ 8 số hoặc lớn hơn, ví dụ: 19009477, 0967897890, 0286253737, ...","error_phone_exists":"Số điện thoại đã tồn tại trong hệ thống","error_captcha_required":"Bạn vui lòng nhập mã bảo vệ","error_captcha_invalid":"Mã bảo vệ không đúng","error_token_csrf_invalid":"Token không hợp lệ","time_invalid":"Thời gian không hợp lệ","forms_required":"Trường này là bắt buộc","forms_send_success":"Bạn đã gửi thông tin đăng ký thành công","forms_send_false":"Bạn đã gửi thông tin đăng ký thất bại","forms_undefined":"Không xác định được biểu mẫu","authentication_otp":"Xác thực OTP","authentication_otp_note":"Vui lòng kiểm tra điện thoại để lấy mã Xác thực.","error_limit_send_authentication_phone":"Quý khách đã đạt đến giới hạn xác thực số điện thực, vui lòng xác thực sau 30p","error_time_resend_authentication_phone":"Chưa đến thời gian gửi lại.","send_code_otp_success":"Gửi mã OTP thành công","send_code_otp_error":"Gửi mã OTP thất bại","authentication_phone":"Xác thực số điện thoại","authentication_enter_code":"Nhập mã xác thực tại đây","authentication":"Xác thực","authentication_phone_re_send":"Gửi lại","authentication_phone_success":"Xác thực điện thoại thành công","verify_success":"Xác minh thành công","titile_authentication_phone_success":"Xác thực thành công","authentication_phone_error":"Xác thực điện thoại thất bại","warning_custom_no_authentication_phone":"Quý khách chưa xác thực số điện thoại","warning_phone_number_you_have_verified":"Số điện thoại của bạn đã xác minh","error_customer_access_page_here":"Quý khách chưa được truy cập trang này","skip_authenction":"Bỏ qua xác thực","error_enter_phone_invalid":"Khách hàng vui lòng nhập số điện thoại hợp lệ","error_info_invalid":"Thông tin không hợp lệ","error_code_verify_required":"Vui lòng nhập mã xác thực OTP","save_info_failed":"Lưu thông tin thất bại","save_info_success":"Lưu thông tin thành công","news":"Tin Tức","back_to_home":"Quay lại trang chủ","content_404":"Xin lỗi! Trang bạn đang tìm kiếm không tồn tại.","mail_welcome":"Xin chào: Anh\/Chị","best_regards":"Trân trọng","admin_website":"Ban quản trị","lost_password_subject":"Yêu cầu mật khẩu mới cho tài khoản!","lost_password_info":"Chúng tôi vừa nhận được yêu cầu khôi phục mật khẩu từ phía bạn. Vui lòng nhấn vào","lost_password_link":"đường dẫn","lost_password_active":"sau để kích hoạt mật khẩu mới.","news_password":"Mật khẩu mới:","account":"Tài khoản:","lost_password_contact":"Nếu Anh\/chị có bất kỳ câu hỏi nào, xin liên hệ với chúng tôi qua mail","onepay_cart":"Hệ thống sẽ chuyển qua cổng thanh toán OnePay.vn","product_payment_onepay":"Thanh toán OnePay","product_payment_onepay_atm":"OnePay cổng nội địa","product_payment_onepay_int":"OnePay cổng quốc tế","napas_cart":"Hệ thống sẽ chuyển qua cổng thanh toán Napas","product_payment_napas":"Thanh toán NaPas","product_payment_napas_atm":"Thanh toán NaPas nội địa","product_payment_napas_int":"Thanh toán NaPas quốc tế","product_payment_sacombank":"Thanh toán qua Sacombank","paypal_cart":"Hệ thống sẽ chuyển qua cổng thanh toán Paypal.com","product_payment_paypal":"Thanh toán PayPal","error_money_limit":"Số tiền lớn hơn mức cho phép của Paypal vui lòng chọn phương thức thanh toán khác","cart_paypal_express":"Hệ thống sẽ chuyển qua cổng thanh toán Paypal Express","vnpay_cart":"Hệ thống sẽ chuyển qua cổng thanh toán Vnpayment.vn","product_payment_vnpay":"Thanh toán VNPAY","zalopay_cart":"Hệ thống sẽ chuyển qua cổng thanh toán ZaloPay","product_payment_zalopay":"Thanh toán ZaloPay","product_payment_zalopay_app":"Thanh toán qua ví ZaloPay","product_payment_zalopay_atm":"Thanh toán ZaloPay cổng ATM","product_payment_zalopay_int":"Thanh toán ZaloPay cổng Visa\/MasterCard","error_zalopay_create_url_fail":"Tạo thanh toán qua ZaloPay thất bại. Vui lòng kiểm tra lại thông tin đơn hàng khi thanh toán.","zalopay_create_url_error":"ZaloPay tạo đơn hàng thất bại.","error_zalopay_payment_int":"Số tiền tối thiểu thanh toán qua cổng ZaloPay là 10.000đ","momo_cart":"Hệ thống sẽ chuyển qua cổng thanh toán MoMo","product_payment_momo":"Thanh toán qua ví MoMo","error_momo_create_url_fail":"Tạo thanh toán qua MoMo thất bại. Vui lòng kiểm tra lại thông tin đơn hàng khi thanh toán.","momo_create_url_error":"MoMo tạo đơn hàng thất bại.","error_momo_payment":"Số tiền tối thiểu thanh toán qua cổng MoMo là 1000đ","addon_video_relate":"Video liên quan","addon_video_empty":"Không có video thuộc chủ đề này","addon_video_error_notfound":"Không tìm thấy video trên hệ thống","cart_empty":"Bạn chưa chọn món hàng nào.","cart_payment":"Thanh Toán","cart_payment_method_online":"Thanh Toán trực tuyến","cart_order_now":"Đặt hàng nhanh","error_update_cart_fail":"Cập nhật giỏ hàng thất bại","error_update_cart_success":"Cập nhật giỏ hàng thành công","cart_add_success":"Thêm vào giỏ hàng thành công","cart_add_fail":"Thêm vào giỏ hàng thất bại","cart_add_fail_quantity":"Số lượng sản phẩm mua vượt quá số lượng có","error_login_add_cart":"Quý khách vui lòng đăng nhập để đặt hàng","confirm_delete_cart":"Bạn chắc chắn muốn xóa sản phẩm này khỏi giỏ hàng","cart_delete_success":"Xóa giỏ hàng thành công","cart_delete_fail":"Xóa giỏ hàng thất bại","cart_nganluong":"Hệ thống sẽ chuyển qua cổng thanh toán NganLuong.vn","cart_baokim":"Hệ thống sẽ chuyển qua cổng thanh toán BaoKim.vn","order_success":"Đặt hàng thành công","cart_order_success":"Thông tin đặt hàng thành công","cart_order_thank":"Xin cảm ơn quý khách đã đặt hàng trên hệ thống của chúng tôi.","cart_order_success_thank_customer":"Đặt hàng thành công, xin cảm ơn quý khách đã đặt hàng trên hệ thống của chúng tôi.","cart_note":"Ghi chú","cart_total_price":"Tổng tiền","cart_order_info":"Thông tin đơn hàng","cart_price_detail":"Chi tiết giá","cart_order_button":"Sửa","cart_payment_transportation":"Phương thức vận chuyển","form_of_delivery":"Hình thức giao hàng","cart_payment_transport_to":"Vận chuyển đến","cart_payment_select_provinces":"--- Chọn tỉnh\/thành ---","cart_payment_select_state":"--- Chọn bang ---","cart_payment_select_region":"--- Chọn Khu vực ---","cart_payment_select_district":"--- Chọn quận\/huyện ---","cart_payment_select_ward":"--- Chọn phường\/xã ---","cart_payment_city_name":"Nhập thành phố","cart_payment_postal_code":"Nhập Zip\/Postal code","cart_payment_select_shipping_method":"Chọn hãng\/phương thức giao hàng","cart_payment_transport_select":"Chọn","cart_payment_shipping_carrier":"Hãng vận chuyển","cart_payment_estimated_time":"Thời gian dự kiến","cart_payment_transport_fee":"Phí vận chuyển","cart_payment_transport_service":"Dịch vụ vận chuyển","cart_payment_cod_fee":"Phí thu hàng hộ","cart_payment_total_shipping_cost":"Tổng tiền vận chuyển","cart_payment_not_transport":"Bạn có muốn nhận hàng trực tiếp tại shop ?","shipping_fast":"Giao hàng nhanh","shipping_default":"Giao hàng mặc định","shipping_other_form":"Hình thức khác","shipping_other_form_desc":"Shop liên hệ sau khi đặt hàng thành công","info_extend_payment":"Thông tin thêm","cart_customer_info":"Thông tin khách hàng","cart_buyer_info":"Người mua hàng","cart_receive_info":"Người nhận hàng","cart_use_buyer_info":"Sử dụng thông tin người mua hàng","view_cart":"Giỏ hàng","discount_shipping_note":"Giảm giá cho phí vận chuyển","address_received_product":"Địa chỉ nhận hàng","product_payment_at_the_receive":"Thanh toán khi nhận hàng","product_payment_at_the_company":"Thanh toán tại công ty","product_payment_nganluong":"Thanh toán NganLuong.vn","product_payment_baokim":"Thanh toán BaoKim.vn","product_payment_transfer":"Thanh toán chuyển khoản","product_payment_transfer_qr":"Chuyển khoản qua QR","please_warning_enter_address_shipping":"Vui lòng chọn địa chỉ giao hàng","warning_empty_province_to_shipping":"Hiện tại không có hình thức vận chuyển phù hợp","message_not_used_method_payment":"* Chúng tôi sẽ liên hệ quý khách khi nhận được đơn hàng. Hình thức thanh toán sẽ được chúng tôi thông báo đến quý khách sớm.","product_compare_limit":"Danh sách so sánh đã đạt giới hạn cho phép (10 sản phẩm)","address_store_payment":"Địa chỉ cửa hàng","shipping_status_not_delivery":"Chưa giao hàng","status_shipping_delivered":"Đã giao hàng","status_shipping_cancel_delivery":"Hủy giao hàng","error_payment_method_required":"Xin vui lòng chọn hình thức thanh toán cho đơn hàng này","error_payment_method_fail":"Hình thức thanh toán này chưa cập nhật. Vui lòng chọn hình thức thanh toán khác","error_payment_fail":"Đã có lỗi trong quá trình thanh toán","error_payment_address_required":"Xin vui lòng nhập vào địa chỉ liên lạc của bạn!","error_payment_receive_address_required":"Xin vui lòng nhập vào địa chỉ người nhận!","error_payment_fullname_required":"Xin vui lòng nhập vào họ tên người liên hệ","error_payment_receive_fullname_required":"Xin vui lòng nhập vào họ tên người nhận","error_payment_email_required":"Hãy nhập vào địa chỉ Email mà bạn đang sử dụng","error_payment_transport_not_exists":"Không tồn tại phương thức vận chuyển này","error_cart_product_not_found":"Không tìm thấy sản phẩm giỏ hàng","error_value_must_not_be_less_than_1":"Giá trị không được nhỏ hơn 1","error_transport_method_empty":"Vui lòng chọn phương thức vận chuyển cho đơn hàng này","error_payment_total_0":"Không thể chọn phương thức thanh toán online khi giá trị đơn hàng là 0đ","error_payment_warning_select":"Không có phương thức thanh toán trực tuyến phù hợp với đơn hàng hiện tại","error_payment_province_select":"Xin vui lòng chọn tỉnh\/thành","error_payment_district_select":"Xin vui lòng chọn quận\/huyện","error_payment_ward_select":"Xin vui lòng chọn phường\/xã","error_shipping_warning_select":"Không có phương thức vận chuyển phù hợp với địa chỉ này","error_payment_shipping_rate_select":"Xin vui lòng chọn phương thức vận chuyển","error_payment_shipping_rate_not_valid":"Phương thức vận chuyển không hợp lệ","error_payment_city_name_required":"Xin vui lòng nhập vào tên thành phố","error_payment_postal_code_required":"Xin vui lòng nhập mã bưu chính","error_confirm_terms_invalid":"Bạn phải đồng ý với điều khoản trước khi thanh toán","coupon_used":"Sử dụng Coupon","point_used":"Sử dụng điểm thưởng","point_current_me":"Điểm thưởng hiện tại","voucher_used":"Sử dụng Voucher","coupon_input":"Nhập mã Coupon","voucher_input":"Nhập mã Voucher","coupon_button_apply":"Áp dụng","coupon_label":"Giảm giá Coupon","voucher_label":"Giảm giá Voucher","apply_code_coupon_success":"Áp dụng mã coupon thành công","apply_code_voucher_success":"Áp dụng mã voucher thành công","error_coupon_required":"Vui lòng nhập mã Coupon để sử dụng","error_voucher_required":"Vui lòng nhập mã Voucher để sử dụng","error_coupon_not_exists":"Mã Coupon không tồn tại!","error_coupon_not_accept":"Mã Coupon không hợp lệ!","error_coupon_not_used":"Mã Coupon đã hết lượt sử dụng!","error_coupon_total_product":"Giá trị đơn hàng tối thiểu không hợp lệ!","error_voucher_not_exists":"Mã Voucher không tồn tại!","error_voucher_not_accept":"Mã Voucher không hợp lệ!","error_voucher_not_used":"Mã Voucher đã hết lượt sử dụng!","error_coupon_apply_promotion":"Mã này không áp dụng đồng thời cùng chương trình khuyến mãi","show_more":"Xem thêm","show_less":"Thu gọn","product_in_of_stock":"Còn hàng","product_out_of_stock":"Hết hàng","product_viewed_confrim_remove":"Bạn chắc chắn muốn xóa sản phẩm này khỏi danh sách đã xem","product_viewed_confrim_remove_success":"Xóa sản phẩm khỏi danh sách đã xem thành công","product_viewed_confrim_remove_fail":"Xóa sản phẩm khỏi danh sách đã xem thất bại","product_compare_add_success":"Sản phẩm đã được thêm vào so sánh","product_compare_add_fail":"Thêm sản phẩm vào so sánh thất bại","product_compare_confirm_delete":"Bạn chắc chắn muốn xóa sản phẩm này khỏi danh sách so sánh","product_compare_confirm_delete_all":"Bạn chắc chắn muốn xóa tất cả sản phẩm này khỏi danh sách so sánh","product_compare_delete_success":"Xóa sản phẩm khỏi danh sách so sánh thành công","product_compare_delete_success_fail":"Xóa sản phẩm khỏi danh sách so sánh thất bại","add_favorite_success":"Thêm vào danh sách yêu thích thành công","add_favorite_fail":"Thêm vào danh sách yêu thích thất bại","product_favorite_confrim_remove":"Bạn chắc chắn muốn xóa sản phẩm này khỏi danh sách yêu thích","remove_favorite_success":"Xóa sản phẩm khỏi danh sách yêu thích thành công","remove_favorite_fail":"Xóa sản phẩm khỏi danh sách yêu thích thất bại","error_login_required":"Đăng nhập để thực hiện thao tác này","error_product_exists":"Sản phẩm đã tồn tại","error_product_not_found":"Không tìm thấy sản phẩm trên hệ thống","product_content_expand":"Xem thêm nội dung","product_content_collapse":"Ẩn bớt nội dung","title_order":"Đơn hàng","shipping_to":"Vận chuyển tới","promotion":"Khuyến mãi","order_expires_view":"Đơn hàng hết hạn xem","order_into_money":"Thành tiền","order_price_temporary":"Tạm tính","order_total_product":"Tổng tiền hàng","order_vat":"VAT","payment_method":"Hình thức thanh toán","delivery_method":"Hình thức giao hàng","error_order_not_found":"Không tìm thấy đơn hàng trong hệ thống. Bạn vui lòng làm mới lại website","error_content_lenght_must_be_than_10":"Nội dung phải lớn hơn 9 ký tự","error_add_member_success":"Gửi câu hỏi thành công.","error_add_member_fail":"Gửi câu hỏi thất bại.","code_product":"Mã sản phẫm","date_order":"Ngày giờ đặt hàng","receive_at_the_shop":"Đến nhận hàng trực tiếp tại cửa hàng","info_store_address":"Thông tin cửa hàng","delivery_to_your_place":"Giao hàng tận nơi","cart_code":"Mã đơn hàng","note_send_mail_order":"Nếu Anh\/chị có bất kỳ câu hỏi nào, xin liên hệ với chúng tôi qua mail","admin_shop":"Ban quản trị cửa hàng","transfer_information":"Thông tin chuyển khoản","order_shipping_to":"Đơn hàng sẽ được giao đến","notify_order_receive_and_contact_customer":"Đơn hàng của Anh\/Chị đã được tiếp nhận, chúng tôi sẽ nhanh chóng liên hệ với Anh\/Chị.","cart_discount":"Giảm giá","add_cart":"Thêm vào giỏ hàng","buy_more":"Mua thêm","send_product_reviews_success":"Gửi đánh giá sản phẩm thành công","send_product_reviews_error":"Gửi đánh giá sản phẩm thất bại","empty_product_id_error":"Sản phẩm rỗng","error_customer_write_review_consecutive":"Quý khách vui lòng đánh giá sau 5 phút","used_point":"Sử dụng điểm thưởng","look_up_order":"Tra cứu đơn hàng","status_order":"Trạng thái đơn hàng","no_exits_order":"Không tồn tại đơn hàng","result_look_up":"Kết quả tra cứu","look_up":"Tra cứu","product":"Sản phẩm","service":"Dịch vụ","copy_content_success":"Sao chép thành công","subject_title_send_mail":"Thông tin đặt hàng - MĐH","from":"từ","payment_method_unknown":"Không xác định","status_order_new":"Đơn hàng mới","status_order_accepted_processing":"Đang xử lý","status_order_pending":"Chờ xuất hàng","status_order_out_stock":"Xuất hàng","status_order_completed":"Hoàn thành","status_order_cancel":"Hủy đơn hàng","status_paid":"Đã thanh toán","status_unpaid":"Chờ thanh toán","method":"Phương thức","confirm":"Xác nhận","bank":"Ngân hàng","account_no":"Số tài khoản","content":"Nội dung","number_money":"Số tiền","summary_order":"Tóm tắt đơn hàng","selected_country":"Quốc gia","error_country_empty":"Quốc gia không thể trống","default":"Mặc định","product_payment_qr":"Chuyển khoản qua QR Code","order_not_found":"Không tìm thấy đơn hàng","cart_payment_success":"Thanh toán thành công","cart_payment_fail":"Thanh toán thất bại","cart_payment_welcome":"Xin chào: Anh\/Chị","cart_payment_thank":"Cảm ơn Anh\/Chị đã đặt hàng trên website của chúng tôi.","cart_payment_noti_success":"Giao dịch thanh toán đơn hàng của Anh\/Chị đã thành công. Mã đơn hàng của Anh\/Chị là:","cart_payment_order_fail":"Số đơn hàng của Anh\/Chị là:","cart_payment_order_cus_noti":"Giao dịch của Anh\/Chị","cart_payment_order_status":"không thành công","cart_payment_phone":"Điện thoại hỗ trợ:","cart_payment_email":"Email hỗ trợ:","cart_payment_back_home":"Trở về trang chủ trong","cart_payment_contact":"Vui lòng kiểm tra lại thông tin thanh toán hoặc liên hệ với chúng tôi để biết thêm thông tin chi tiết.","cart_error_no":"Mã lỗi","result_payment_online":"Kết quả thanh toán online đơn hàng","you_have_just_made_online_payment_transaction_for_your_order":"Anh\/Chị vừa thực hiện giao dịch thanh toán online cho đơn hàng:","status_transaction":"Trạng thái giao dịch:","if_you_any_question_please_contact_us_via_mail":"Nếu Anh\/chị có bất kỳ câu hỏi nào, vui lòng liên hệ với chúng tôi qua mail"}

{"id":3617151,"name":"Hệ thống quang khắc chùm ion Elionix","desc":"<ul>\n\t<li>\n\tEIS-200ERP (Elionix Ion Beam Etching\/Sputtering System):<\/b> Đ&acirc;y l&agrave; một hệ thống quang khắc\/ph&uacute;n xạ ch&ugrave;m ion, cho ph&eacute;p ăn m&ograve;n vật liệu ở cấp độ nano v&agrave; lắng đọng bằng c&aacute;ch sử dụng ch&ugrave;m ion ECR.<\/p>\n\t<\/li>\n\t<li>\n\tEIS-220P:<\/b> Một mẫu m&aacute;y mới hơn, cũng thuộc d&ograve;ng sản phẩm quang khắc\/ph&uacute;n xạ ch&ugrave;m ion ECR.<\/p>\n\t<\/li>\n<\/ul>\n","content":"<h3>Đặc điểm nổi bật<\/h3>\n\n<ul>\n\t<li>\n\tĂn m&ograve;n\/lắng đọng đa năng:<\/b> Một số mẫu như EIS-220P được trang bị hai s&uacute;ng ion, cho ph&eacute;p lu&acirc;n phi&ecirc;n thực hiện cả hai qu&aacute; tr&igrave;nh ăn m&ograve;n (etching) v&agrave; lắng đọng (deposition) m&agrave; kh&ocirc;ng cần th&aacute;o mẫu ra khỏi buồng ch&acirc;n kh&ocirc;ng, gi&uacute;p duy tr&igrave; m&ocirc;i trường sạch v&agrave; hiệu quả quy tr&igrave;nh.<\/p>\n\t<\/li>\n\t<li>\n\tSử dụng nhiều loại kh&iacute;:<\/b> M&aacute;y c&oacute; thể sử dụng cả kh&iacute; trơ (như Argon, Xenon) v&agrave; kh&iacute; hoạt h&oacute;a (như Oxy, CF4) l&agrave;m nguồn ion, cho ph&eacute;p thực hiện cả ăn m&ograve;n vật l&yacute; v&agrave; ăn m&ograve;n h&oacute;a học.<\/p>\n\t<\/li>\n\t<li>\n\tKiểm so&aacute;t g&oacute;c chiếu:<\/b> Cho ph&eacute;p điều chỉnh g&oacute;c chiếu ch&ugrave;m ion để tạo ra c&aacute;c cấu tr&uacute;c c&oacute; th&agrave;nh nghi&ecirc;ng.<\/p>\n\t<\/li>\n<\/ul>\n","image_url":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/datafiles\/39825\/upload\/files\/Elionix%20EIS-220P.png","image_thumb_url":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/datafiles\/39825\/upload\/thumb_files\/Elionix%20EIS-220P.png","tags":[],"count_view":274,"seo_name":"he-thong-quang-khac-chum-ion-elionix","date_update":"1756182139","date_created_format":"","meta_title":"","meta_desc":"","meta_keyword":"","sku":"64220-64222-141017-3617151","code":"","rate":0,"image_2_url":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/datafiles\/39825\/upload\/files\/Elionix%20EIS-220P.png","image_2_thumb_url":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/datafiles\/39825\/upload\/thumb_files\/Elionix%20EIS-220P.png","time_promotion":false,"date_sale":[],"status_order":7,"variant_options":[{"id":63715,"name":"Ứng dụng","code_color":"","display_order":1,"image":"","thumb_url":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/datafiles\/39825\/upload\/thumb_files\/ADST%20favicon%20Red.png","type":3,"options":[{"id":63716,"name":"Khoa học Vật liệu","code_color":"","display_order":1,"image":"","thumb_url":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/datafiles\/39825\/upload\/thumb_files\/ADST%20favicon%20Red.png","type":3},{"id":64220,"name":"Điện tử - Bán dẫn","code_color":"","display_order":4,"image":"","thumb_url":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/datafiles\/39825\/upload\/thumb_files\/ADST%20favicon%20Red.png","type":3}]},{"id":64221,"name":"Kỹ thuật","code_color":"","display_order":2,"image":"","thumb_url":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/datafiles\/39825\/upload\/thumb_files\/ADST%20favicon%20Red.png","type":3,"options":[{"id":64787,"name":"Phân tích và đo lường","code_color":"","display_order":3,"image":"","thumb_url":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/datafiles\/39825\/upload\/thumb_files\/ADST%20favicon%20Red.png","type":3},{"id":141012,"name":"Thiết kế, tổng hợp và chế tạo","code_color":"","display_order":5,"image":"","thumb_url":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/datafiles\/39825\/upload\/thumb_files\/ADST%20favicon%20Red.png","type":3},{"id":64222,"name":"Xử lý bề mặt","code_color":"","display_order":6,"image":"","thumb_url":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/datafiles\/39825\/upload\/thumb_files\/ADST%20favicon%20Red.png","type":3}]},{"id":140780,"name":"Chuyên ngành","code_color":"","display_order":3,"image":"","thumb_url":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/datafiles\/39825\/upload\/thumb_files\/ADST%20favicon%20Red.png","type":3,"options":[{"id":141017,"name":"Vật lý","code_color":"","display_order":1,"image":"","thumb_url":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/datafiles\/39825\/upload\/thumb_files\/ADST%20favicon%20Red.png","type":3}]}],"variants":[{"status_inventory":1,"status_order":7,"id":826729,"product_id":3617151,"sku":"1755679086261","barcode":"","quantity":0,"quantity_alert":0,"price":0,"price_discount":0,"images":[],"display_order":0,"is_point":"","point":"","vat":"","weight":"","variant_options":{"63715":{"id":63716,"name":"Khoa học Vật liệu"},"64221":{"id":64787,"name":"Phân tích và đo lường"},"140780":{"id":141017,"name":"Vật lý"}},"variant_option_name":"Khoa học Vật liệu-Phân tích và đo lường-Vật lý","image":"","price_final":0,"price_final_format":"0 đ","price_format":"0 đ","price_discount_format":"0 đ","percent_discount":0,"date_sale":[],"percent_discount_format":"- 0%","price_discount_final_format":"0 đ"},{"status_inventory":1,"status_order":7,"id":827477,"product_id":3617151,"sku":"63716-141012-141017-3617151","barcode":"","quantity":0,"quantity_alert":0,"price":0,"price_discount":0,"images":[],"display_order":0,"is_point":"","point":"","vat":"","weight":"","variant_options":{"63715":{"id":63716,"name":"Khoa học Vật liệu"},"64221":{"id":141012,"name":"Thiết kế, tổng hợp và chế tạo"},"140780":{"id":141017,"name":"Vật lý"}},"variant_option_name":"Khoa học Vật liệu-Thiết kế, tổng hợp và chế tạo-Vật lý","image":"","price_final":0,"price_final_format":"0 đ","price_format":"0 đ","price_discount_format":"0 đ","percent_discount":0,"date_sale":[],"percent_discount_format":"- 0%","price_discount_final_format":"0 đ"},{"status_inventory":1,"status_order":7,"id":827478,"product_id":3617151,"sku":"63716-64222-141017-3617151","barcode":"","quantity":0,"quantity_alert":0,"price":0,"price_discount":0,"images":[],"display_order":0,"is_point":"","point":"","vat":"","weight":"","variant_options":{"63715":{"id":63716,"name":"Khoa học Vật liệu"},"64221":{"id":64222,"name":"Xử lý bề mặt"},"140780":{"id":141017,"name":"Vật lý"}},"variant_option_name":"Khoa học Vật liệu-Xử lý bề mặt-Vật lý","image":"","price_final":0,"price_final_format":"0 đ","price_format":"0 đ","price_discount_format":"0 đ","percent_discount":0,"date_sale":[],"percent_discount_format":"- 0%","price_discount_final_format":"0 đ"},{"status_inventory":1,"status_order":7,"id":827479,"product_id":3617151,"sku":"64220-64787-141017-3617151","barcode":"","quantity":0,"quantity_alert":0,"price":0,"price_discount":0,"images":[],"display_order":0,"is_point":"","point":"","vat":"","weight":"","variant_options":{"63715":{"id":64220,"name":"Điện tử - Bán dẫn"},"64221":{"id":64787,"name":"Phân tích và đo lường"},"140780":{"id":141017,"name":"Vật lý"}},"variant_option_name":"Điện tử - Bán dẫn-Phân tích và đo lường-Vật lý","image":"","price_final":0,"price_final_format":"0 đ","price_format":"0 đ","price_discount_format":"0 đ","percent_discount":0,"date_sale":[],"percent_discount_format":"- 0%","price_discount_final_format":"0 đ"},{"status_inventory":1,"status_order":7,"id":827480,"product_id":3617151,"sku":"64220-141012-141017-3617151","barcode":"","quantity":0,"quantity_alert":0,"price":0,"price_discount":0,"images":[],"display_order":0,"is_point":"","point":"","vat":"","weight":"","variant_options":{"63715":{"id":64220,"name":"Điện tử - Bán dẫn"},"64221":{"id":141012,"name":"Thiết kế, tổng hợp và chế tạo"},"140780":{"id":141017,"name":"Vật lý"}},"variant_option_name":"Điện tử - Bán dẫn-Thiết kế, tổng hợp và chế tạo-Vật lý","image":"","price_final":0,"price_final_format":"0 đ","price_format":"0 đ","price_discount_format":"0 đ","percent_discount":0,"date_sale":[],"percent_discount_format":"- 0%","price_discount_final_format":"0 đ"},{"status_inventory":1,"status_order":7,"id":827481,"product_id":3617151,"sku":"64220-64222-141017-3617151","barcode":"","quantity":0,"quantity_alert":0,"price":0,"price_discount":0,"images":[],"display_order":0,"is_point":"","point":"","vat":"","weight":"","variant_options":{"63715":{"id":64220,"name":"Điện tử - Bán dẫn"},"64221":{"id":64222,"name":"Xử lý bề mặt"},"140780":{"id":141017,"name":"Vật lý"}},"variant_option_name":"Điện tử - Bán dẫn-Xử lý bề mặt-Vật lý","image":"","price_final":0,"price_final_format":"0 đ","price_format":"0 đ","price_discount_format":"0 đ","percent_discount":0,"date_sale":[],"percent_discount_format":"- 0%","price_discount_final_format":"0 đ"}],"variantIdDefault":827481,"image_list":[{"image_url":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/datafiles\/39825\/upload\/files\/Elionix%20EIS-220P.png","image_thumb_url":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/datafiles\/39825\/upload\/\/thumb_files\/Elionix%20EIS-220P.png"}],"product_articles":[{"id":109856,"name":"Thông số kỹ thuật chính","desc":"","content":"<h3>Th&ocirc;ng số kỹ thuật ch&iacute;nh<\/h3>\n\n&nbsp;<\/p>\n\n<ul>\n\t<li>\n\tNguồn ion:<\/b> Nguồn ion loại cộng hưởng cyclotron điện tử (ECR).<\/p>\n\t<\/li>\n\t<li>\n\tKh&iacute; ion h&oacute;a:<\/b> C&oacute; thể sử dụng c&aacute;c loại kh&iacute; trơ (như Ar, Xe) v&agrave; kh&iacute; hoạt h&oacute;a (như O₂, CF₄).<\/p>\n\t<\/li>\n\t<li>\n\tĐiện &aacute;p gia tốc:<\/b> C&oacute; thể thay đổi li&ecirc;n tục từ 100 V<\/b> đến 3000 V<\/b>.<\/p>\n\t<\/li>\n\t<li>\n\tMật độ d&ograve;ng ion:<\/b> Đạt &ge; 1.5 mA\/cm&sup2;<\/b> (với Ar) v&agrave; &ge; 2.0 mA\/cm&sup2;<\/b> (với O₂) ở 2 kV.<\/p>\n\t<\/li>\n\t<li>\n\tĐường k&iacute;nh ch&ugrave;m tia:<\/b> Khoảng &Phi; 20 mm<\/b>.<\/p>\n\t<\/li>\n\t<li>\n\tK&iacute;ch thước mẫu:<\/b> Hỗ trợ tối đa wafer 4 inch<\/b>.<\/p>\n\t<\/li>\n<\/ul>\n"},{"id":109857,"name":"Ứng dụng","desc":"","content":"<h3>Ứng dụng<\/h3>\n\n<ul>\n\t<li>\n\tTạo cấu tr&uacute;c nano:<\/b> Khắc c&aacute;c mẫu nanomet như đường v&agrave; khoảng trống (Line &amp; Space), c&aacute;c cấu tr&uacute;c trụ với đường k&iacute;nh nhỏ tới 35 nm<\/b>.<\/p>\n\t<\/li>\n\t<li>\n\tVật liệu v&agrave; thiết bị quang học:<\/b> Tạo c&aacute;c mẫu c&oacute; độ s&acirc;u lớn, c&aacute;c cấu tr&uacute;c quang học như lưới nhiễu xạ (holographic pattern) với độ s&acirc;u l&ecirc;n tới 1050 nm<\/b>.<\/p>\n\t<\/li>\n\t<li>\n\tC&ocirc;ng nghệ b&aacute;n dẫn:<\/b> Chế tạo c&aacute;c cấu tr&uacute;c phức tạp như m&ocirc; h&igrave;nh n&acirc;ng (lift-off pattern) v&agrave; cấu tr&uacute;c T-gate.<\/p>\n\t<\/li>\n\t<li>\n\tNghi&ecirc;n cứu vật liệu:<\/b> Ăn m&ograve;n c&aacute;c vật liệu kh&oacute; như Pt v&agrave; Si.<\/p>\n\t<\/li>\n<\/ul>\n"}],"total_point_review":0,"link_youtube":"https:\/\/www.youtube.com\/embed\/","video_url":"","booking_url":"javascript:void(0)","file_url":"","config_panorama":[],"brand_name":"Elionix","qr_code":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/he-thong-quang-khac-chum-ion-elionix.html","promotion_name":"","option":{"2":"Sản phẩm mới"},"status_inventory_value":1,"status_inventory":"Còn hàng","price":false,"price_final":false,"percent_discount":false,"price_discount":false,"company_logo":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/datafiles\/39825\/upload\/files\/ADST%20logo%20final%20dark%20background.png","company_name":"ADST - Công Ty Cổ Phần Công Nghệ An Đông","company_email":"info@adst.vn","company_phone":"(+84) 24 3201 6056","company_address":"7F, Viwaseen Tower, 48 To Huu, Dai Mo ward, Hanoi, Vietnam","company_fax":"","date_now":1780430515,"company_tags":["ADST","ADST Vietnam An Đông","Cổ phần An Đông","Công nghệ An Đông","ADTECHNOLOGY","thiết bị khoa học kỹ thuật","thiết bị phòng Lab","thiết bị RD","thiết bị công nghệ cao","khoa học vật liệu","khoa học sự sống","khoa học trái đất","điện tử bán dẫn","thiết bị bán dẫn","cung cấp thiết bị khoa học kỹ thuật","phân phối thiết bị khoa học kỹ thuật","cung cấp thiết bị khoa học kỹ thuật uy tín","cung cấp thiết bị khoa học kỹ thuật lâu năm","cung cấp thiết bị khoa học kỹ thuật hàng đầu","thiết bị nghiên cứu","thiết bị đại học","Giải pháp phòng thí nghiệm","Tư vấn giải pháp khoa học","Lắp đặt thiết bị khoa học","Bảo trì","sửa chữa thiết bị khoa học","Đào tạo vận hành thiết bị công nghệ cao"],"search_keyword":null,"facebook_comment":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/he-thong-quang-khac-chum-ion-elionix.html","breadscrumb":[{"url":"https:\/\/www.adtechnology.vn","name":"Trang chủ","icon":"","active":false},{"url":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/lithography.html","name":"Lithography","icon":"","active":true}],"list_products_tmp":[],"list_section":[{"id":648466,"name":"Đầu trang - Header 01","seo_name":"#w30s-section-648466","url":"#w30s-section-648466"},{"id":648511,"name":"Đầu trang - Header 01","seo_name":"#w30s-section-648511","url":"#w30s-section-648511"},{"id":263231,"name":"Content - 26\/4\/2023 - Nghiệm thu","seo_name":"#w30s-section-263231","url":"#w30s-section-263231"},{"id":261916,"name":"Footer","seo_name":"#w30s-section-261916","url":"#w30s-section-261916"}],"type_page":4,"id_page":136575,"widget_15109877":{"content_data":{"content":" "}},"widget_15109875":{"content_data":[]},"widget_15110831":{"content_data":[{"id":39852,"title":"American","code":"us","is_expires":false,"is_active":0},{"id":39851,"title":"Viet Nam","code":"vn","is_expires":false,"is_active":1}]},"widget_15110827":{"content_data":{"content":"Liên hệ"}},"widget_6938608":{"content_data":{"content":"sản phẩm"}},"widget_6484472":{"content_data":{"content":"Xem thêm"}},"widget_6484468":{"content_data":[{"id":3679039,"name":"Hệ thống Quang khắc không mặt nạ đầu dò nhiệt NanoFrazor","desc":"NanoFrazor dùng công nghệ khắc nhiệt không mặt nạ (t-SPL) với đầu dò siêu nhọn, tạo cấu trúc nano chính xác cao, không cần chùm điện tử hay mặt nạ đắt tiền. Độ sâu khắc sai số &lt;1nm, tích hợp kiểm tra in-situ, hỗ trợ grayscale 3D cho quang tử nano, cảm biến lượng tử, màng sinh học. Module Decapede 10 đầu dò giúp tăng thông lượng gấp 10 lần.<\/span><\/p>","content":"Đặc điểm chính&nbsp;<\/strong><\/span><\/p>Closed‑loop lithography – Kiểm soát độ sâu thời gian thực, sai số &lt;1 nm, tạo grayscale chính xác.<\/span><\/p>In‑situ inspection&nbsp;– Chụp ảnh cấu trúc ngay sau khắc bằng chính đầu dò, xác nhận tức thì.<\/span><\/p>Grayscale nanolithography – Tạo cấu trúc 3D\/2.5D cho quang tử, lượng tử, khung tế bào.<\/span><\/p>Hybrid mix &amp; match – Kết hợp laser (DLS) gia công vùng rộng tốc độ cao với t‑SPL cho chi tiết nano.<\/span><\/p>Module Decapede – 10 đầu dò độc lập, tăng thông lượng 10 lần, độ phân giải &lt;50 nm.<\/span><\/p>Markerless overlay &amp; damage‑free&nbsp;– Căn chỉnh chính xác không cần marker, không hỏng vật liệu nhạy (2D, nanowire…).<\/span><\/p>&nbsp;<\/p>Mô tả chi tiết<\/strong><\/span><\/p>Công nghệ &amp; nguyên lý<\/u><\/span><\/p>NanoFrazor dùng đầu dò nhiệt đốt nóng để bay hơi cản quang PPA, không tái lắng đọng. Vừa khắc vừa chụp ảnh bề mặt (in-situ imaging), điều khiển khép kín (closed-loop), đảm bảo độ sâu chính xác đến nanomet. Không proximity effect, không cần chân không cao.<\/span><\/p>Hạn chế của lithography truyền thống<\/u><\/span><\/p>Chùm điện tử năng lượng cao dễ phá hủy vật liệu 2D (MoS₂), nanowire.<\/span><\/p>Tạo cấu trúc 3D bằng e-beam cần nhiều bước khắc xếp chồng, căn chỉnh khó, sai số lớn.<\/span><\/p>Ưu điểm của hệ thống maskless lithography NanoFrazor&nbsp;<\/u><\/span><\/p>Damage‑free&nbsp;– dùng nhiệt, không hư hại vật liệu 2D, nanowire.<\/span><\/p>In‑situ inspection&nbsp;– chụp ảnh ngay bằng đầu dò, không cần thiết bị riêng.<\/span><\/p>Grayscale chính xác &lt;1nm – closed‑loop cho phép tạo màng tế bào, grating, waveguide chỉ một bước.<\/span><\/p>Markerless overlay &amp; auto‑stitching&nbsp;– căn chỉnh không cần dấu chuẩn, lý tưởng cho transistor đơn lớp.<\/span><\/p>Tích hợp &amp; mở rộng<\/u><\/span><\/p>Hybrid DLS (laser vùng rộng µm + t-SPL nano). Glovebox tùy chọn cho mẫu nhạy khí. Quy trình transfer chuẩn (lift-off, etching, molding) với PPA + PMMA, PMMA\/MA, PMGI.<\/span><\/p>&nbsp;<\/p>Thông số kỹ thuật&nbsp;<\/strong><\/span><\/p><figure class=\"table\" style=\"width:100.0%;\"><table style=\";\"><tbody><tr><td style=\"border:1.0pt solid windowtext;padding:0in 5.4pt;vertical-align:top;width:35.92%;\">Parameter<\/span><\/p><\/td><td style=\"border-bottom-style:solid;border-color:windowtext;border-left-style:none;border-right-style:solid;border-top-style:solid;border-width:1.0pt;padding:0in 5.4pt;vertical-align:top;width:64.08%;\">Value<\/span><\/p><\/td><\/tr><tr><td style=\"border-bottom-style:solid;border-color:windowtext;border-left-style:solid;border-right-style:solid;border-top-style:none;border-width:1.0pt;padding:0in 5.4pt;vertical-align:top;width:35.92%;\">Độ phân giải (lateral)<\/span><\/p><\/td><td style=\"border-bottom:1.0pt solid windowtext;border-left-style:none;border-right:1.0pt solid windowtext;border-top-style:none;padding:0in 5.4pt;vertical-align:top;width:64.08%;\">10nm<\/span><\/p><\/td><\/tr><tr><td style=\"border-bottom-style:solid;border-color:windowtext;border-left-style:solid;border-right-style:solid;border-top-style:none;border-width:1.0pt;padding:0in 5.4pt;vertical-align:top;width:35.92%;\">Diện tích phơi sáng tối đa&nbsp;<\/span><\/p><\/td><td style=\"border-bottom:1.0pt solid windowtext;border-left-style:none;border-right:1.0pt solid windowtext;border-top-style:none;padding:0in 5.4pt;vertical-align:top;width:64.08%;\">150 × 150 mm²&nbsp;<\/span><\/p><\/td><\/tr><tr><td style=\"border-bottom-style:solid;border-color:windowtext;border-left-style:solid;border-right-style:solid;border-top-style:none;border-width:1.0pt;padding:0in 5.4pt;vertical-align:top;width:35.92%;\">Độ chính xác chồng lớp<\/span><\/p><\/td><td style=\"border-bottom:1.0pt solid windowtext;border-left-style:none;border-right:1.0pt solid windowtext;border-top-style:none;padding:0in 5.4pt;vertical-align:top;width:64.08%;\">25nm<\/span><\/p><\/td><\/tr><tr><td style=\"border-bottom-style:solid;border-color:windowtext;border-left-style:solid;border-right-style:solid;border-top-style:none;border-width:1.0pt;padding:0in 5.4pt;vertical-align:top;width:35.92%;\">Nguồn sáng&nbsp;<\/span><\/p><\/td><td style=\"border-bottom:1.0pt solid windowtext;border-left-style:none;border-right:1.0pt solid windowtext;border-top-style:none;padding:0in 5.4pt;vertical-align:top;width:64.08%;\">Không dùng laser – Dùng đầu dò nhiệt (heated tip)<\/span><\/p><\/td><\/tr><tr><td style=\"border-bottom-style:solid;border-color:windowtext;border-left-style:solid;border-right-style:solid;border-top-style:none;border-width:1.0pt;padding:0in 5.4pt;vertical-align:top;width:35.92%;\">Cơ chế lấy nét&nbsp;<\/span><\/p><\/td><td style=\"border-bottom:1.0pt solid windowtext;border-left-style:none;border-right:1.0pt solid windowtext;border-top-style:none;padding:0in 5.4pt;vertical-align:top;width:64.08%;\">In‑situ topography imaging bằng chính đầu dò<\/span><\/p><\/td><\/tr><tr><td style=\"border-bottom-style:solid;border-color:windowtext;border-left-style:solid;border-right-style:solid;border-top-style:none;border-width:1.0pt;padding:0in 5.4pt;vertical-align:top;width:35.92%;\">Độ dày đế<\/span><\/p><\/td><td style=\"border-bottom:1.0pt solid windowtext;border-left-style:none;border-right:1.0pt solid windowtext;border-top-style:none;padding:0in 5.4pt;vertical-align:top;width:64.08%;\">Lên đến 10mm<\/span><\/p><\/td><\/tr><tr><td style=\"border-bottom-style:solid;border-color:windowtext;border-left-style:solid;border-right-style:solid;border-top-style:none;border-width:1.0pt;padding:0in 5.4pt;vertical-align:top;width:35.92%;\">Loại cản quang&nbsp;<\/span><\/p><\/td><td style=\"border-bottom:1.0pt solid windowtext;border-left-style:none;border-right:1.0pt solid windowtext;border-top-style:none;padding:0in 5.4pt;vertical-align:top;width:64.08%;\">PPA, PMMA, PMMA\/MA, PMGI<\/span><\/p><\/td><\/tr><\/tbody><\/table><\/figure>","image_url":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/datafiles\/39825\/upload\/images\/product\/NanoFrazor%281%29.jpg","image_thumb_url":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/datafiles\/39825\/upload\/thumb_images\/product\/NanoFrazor%281%29.jpg","tags":["NanoFrazor","thermal scanning probe lithography","tSPL"],"count_view":60,"seo_name":"he-thong-quang-khac-khong-mat-na-dau-do-nhiet-nanofrazor","date_update":1779339650,"date_created_format":"","meta_title":"Quang khắc không mặt nạ đầu dò nhiệt NanoFrazor tạo cấu trúc 3D nano","meta_desc":"NanoFrazor sử dụng công nghệ t-SPL tạo cấu trúc nano sai số <1nm, không e-beam, không mask. Grayscale chính xác, in-situ inspection, module 10 đầu dò tăng thông lượng 10 lần. Liên hệ ADST.","meta_keyword":"máy quang khắc không mặt nạ nhiệt,lithography đầu dò nhiệt,chế tạo cấu trúc 3D nano,grayscale lithography cho quang tử,damagefree lithography,khắc vật liệu 2D MoS₂","sku":"","code":"","rate":0,"image_2_url":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/datafiles\/39825\/upload\/images\/product\/NanoFrazor%281%29.jpg","image_2_thumb_url":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/datafiles\/39825\/upload\/thumb_images\/product\/NanoFrazor%281%29.jpg","time_promotion":false,"date_sale":[],"status_order":7,"variant_options":[],"variants":[],"variantIdDefault":0,"image_list":[{"image_url":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/datafiles\/39825\/upload\/images\/product\/NanoFrazor%281%29.jpg","image_thumb_url":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/datafiles\/39825\/upload\/\/thumb_images\/product\/NanoFrazor%281%29.jpg"}],"product_articles":[],"total_point_review":0,"link_youtube":"https:\/\/www.youtube.com\/embed\/","video_url":"","booking_url":"javascript:void(0)","brand_name":"Heidelberg Instruments","qr_code":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/he-thong-quang-khac-khong-mat-na-dau-do-nhiet-nanofrazor.html","promotion_name":"","option":{"3":"Sản phẩm đặt biệt"},"status_inventory_value":1,"status_inventory":"Còn hàng","price":false,"price_final":false,"percent_discount":false,"price_discount":false},{"id":3678842,"name":"Hệ thống Quang khắc không mặt nạ sản xuất khối lượng lớn MLA 300","desc":"MLA 300 được tối ưu cho sản xuất khối lượng lớn. Công nghệ Spatial Light Modulator (SLM) cho phép hiệu chỉnh biến dạng theo từng die, tự động lấy nét theo bề mặt cong, tương thích với SECS\/GEM. Loại bỏ hoàn toàn chi phí và rắc rối của mask vật lý. Ứng dụng trong sản xuất MEMS, cảm biến, ASIC, advanced packaging, power electronics.<\/span><\/p>","content":"Đặc điểm chính<\/strong><\/span><\/p>Thông lượng cao nhất dòng Heidelberg Instruments, độ phân giải 1.5μm<\/span><\/p>Công nghệ Maskless Aligner với SLM (Spatial Light Modulator) – mặt nạ động<\/span><\/p>Hiệu chỉnh biến dạng động (dynamic distortion correction) theo từng đế<\/span><\/p>Tự động lấy nét thời gian thực, bù warp và gợn sóng bề mặt<\/span><\/p>Hệ thống loader tự động, tùy chỉnh cấu hình, tích hợp Cognex và SECS\/GEM<\/span><\/p>Bàn ngang khí tĩnh (frictionless airbearing table) – tốc độ cao, độ chính xác cao, bền bỉ<\/span><\/p>Diode laser tuổi thọ cao, không tiêu hao vật tư, chi phí sở hữu thấp<\/span><\/p>&nbsp;<\/p>Mô tả chi tiết<\/strong><\/span><\/p>Công nghệ &amp; nguyên lý<\/u><\/span><\/p>MLA 300 dùng SLM làm mặt nạ động, chiếu trực tiếp từ dữ liệu số, mỗi die có pattern hiệu chỉnh riêng. Tích hợp camera Cognex để nhận dạng căn chỉnh và tự động lấy nét bằng khí nén hoặc quang học.<\/span><\/p>Hạn chế của lithography truyền thống<\/u><\/span><\/p>Với&nbsp;các ứng dụng&nbsp;FOWLP, chip được gắn&nbsp;lên wafer sau khi cắt nên vị trí mỗi die bị xê dịch ngẫu nhiên –&nbsp;mask vật lý không đáp ứng.<\/span><\/p>Chi phí mask lớn, cộng thêm bảo trì, lưu kho, vệ sinh.<\/span><\/p>Substrate gốm\/wafer mỏng bị cong vênh gây mất nét,&nbsp;dẫn đến sai số CD (critical dimension), hệ thống thường không bù warp tốt.<\/span><\/p>Ưu điểm của hệ thống maskless lithography MLA 300<\/u><\/span><\/p>Không mask – sửa file dữ liệu, rút từ tuần xuống vài giờ.<\/span><\/p>Hiệu chỉnh động từng die: chụp ảnh, tính độ xê dịch (X, Y, xoay, biến dạng cắt), chiếu pattern riêng.<\/span><\/p>Tiết kiệm chi phí mask + lưu kho; diode laser tuổi thọ cao.<\/span><\/p>Auto-focus thời gian thực bám bề mặt cong ±80μm, đồng đều trên gốm\/wafer mỏng.<\/span><\/p>Tích hợp &amp; mở rộng<\/u><\/span><\/p>SECS\/GEM, chuck tùy chỉnh, tương thích cleanroom ISO 6.<\/span><\/p>&nbsp;<\/p>Thông số kỹ thuật<\/strong>&nbsp;<\/span><\/p><figure class=\"table\" style=\"width:100.0%;\"><table><tbody><tr><td style=\"border:1.0pt solid windowtext;padding:0cm 5.4pt;vertical-align:top;width:57.52%;\">Thông số<\/span><\/p><\/td><td style=\"border-bottom-style:solid;border-color:windowtext;border-left-style:none;border-right-style:solid;border-top-style:solid;border-width:1.0pt;padding:0cm 5.4pt;vertical-align:top;width:42.48%;\">Giá trị<\/span><\/p><\/td><\/tr><tr><td style=\"border-bottom-style:solid;border-color:windowtext;border-left-style:solid;border-right-style:solid;border-top-style:none;border-width:1.0pt;padding:0cm 5.4pt;vertical-align:top;width:57.52%;\">Độ phân giải<\/span><\/p><\/td><td style=\"border-bottom:1.0pt solid windowtext;border-left-style:none;border-right:1.0pt solid windowtext;border-top-style:none;padding:0cm 5.4pt;vertical-align:top;width:42.48%;\">1,5 μm<\/span><\/p><\/td><\/tr><tr><td style=\"border-bottom-style:solid;border-color:windowtext;border-left-style:solid;border-right-style:solid;border-top-style:none;border-width:1.0pt;padding:0cm 5.4pt;vertical-align:top;width:57.52%;\">Diện tích phơi sáng tối đa<\/span><\/p><\/td><td style=\"border-bottom:1.0pt solid windowtext;border-left-style:none;border-right:1.0pt solid windowtext;border-top-style:none;padding:0cm 5.4pt;vertical-align:top;width:42.48%;\">300 × 300 mm²<\/span><\/p><\/td><\/tr><tr><td style=\"border-bottom-style:solid;border-color:windowtext;border-left-style:solid;border-right-style:solid;border-top-style:none;border-width:1.0pt;padding:0cm 5.4pt;vertical-align:top;width:57.52%;\">Độ chính xác chồng lớp (3σ)<\/span><\/p><\/td><td style=\"border-bottom:1.0pt solid windowtext;border-left-style:none;border-right:1.0pt solid windowtext;border-top-style:none;padding:0cm 5.4pt;vertical-align:top;width:42.48%;\">&lt; 1 μm<\/span><\/p><\/td><\/tr><tr><td style=\"border-bottom-style:solid;border-color:windowtext;border-left-style:solid;border-right-style:solid;border-top-style:none;border-width:1.0pt;padding:0cm 5.4pt;vertical-align:top;width:57.52%;\">Phạm vi bù lấy nét tự động<\/span><\/p><\/td><td style=\"border-bottom:1.0pt solid windowtext;border-left-style:none;border-right:1.0pt solid windowtext;border-top-style:none;padding:0cm 5.4pt;vertical-align:top;width:42.48%;\">±80 μm<\/span><\/p><\/td><\/tr><tr><td style=\"border-bottom-style:solid;border-color:windowtext;border-left-style:solid;border-right-style:solid;border-top-style:none;border-width:1.0pt;padding:0cm 5.4pt;vertical-align:top;width:57.52%;\">Nguồn sáng<\/span><\/p><\/td><td style=\"border-bottom:1.0pt solid windowtext;border-left-style:none;border-right:1.0pt solid windowtext;border-top-style:none;padding:0cm 5.4pt;vertical-align:top;width:42.48%;\">Laser diode, 405 nm<\/span><\/p><\/td><\/tr><tr><td style=\"border-bottom-style:solid;border-color:windowtext;border-left-style:solid;border-right-style:solid;border-top-style:none;border-width:1.0pt;padding:0cm 5.4pt;vertical-align:top;width:57.52%;\">Độ dày đế<\/span><\/p><\/td><td style=\"border-bottom:1.0pt solid windowtext;border-left-style:none;border-right:1.0pt solid windowtext;border-top-style:none;padding:0cm 5.4pt;vertical-align:top;width:42.48%;\">0 – 12 mm<\/span><\/p><\/td><\/tr><tr><td style=\"border-bottom-style:solid;border-color:windowtext;border-left-style:solid;border-right-style:solid;border-top-style:none;border-width:1.0pt;padding:0cm 5.4pt;vertical-align:top;width:57.52%;\">Yêu cầu phòng sạch<\/span><\/p><\/td><td style=\"border-bottom:1.0pt solid windowtext;border-left-style:none;border-right:1.0pt solid windowtext;border-top-style:none;padding:0cm 5.4pt;vertical-align:top;width:42.48%;\">ISO 6 hoặc tốt hơn<\/span><\/p><\/td><\/tr><\/tbody><\/table><\/figure>&nbsp;<\/p>","image_url":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/datafiles\/39825\/upload\/images\/Product_image_MLA300.webp?t=1779260713","image_thumb_url":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/datafiles\/39825\/upload\/thumb_images\/Product_image_MLA300.webp","tags":["MLA 300","maskless aligner"],"count_view":93,"seo_name":"he-thong-quang-khac-khong-mat-na-san-xuat-khoi-luong-lon-mla-300","date_update":1779338850,"date_created_format":"","meta_title":"Quang khắc không mặt nạ thông lượng cao MLA 300 hiệu chỉnh biến dạng","meta_desc":"MLA 300 maskless aligner thông lượng cao, độ phân giải 1.5μm, hiệu chỉnh biến dạng động, tự động lấy nét theo bề mặt cong. Lý tưởng sản xuất MEMS, cảm biến, IC. Liên hệ ADST.","meta_keyword":"máy quang khắc không mặt nạ,lithography không mặt nạ,sản xuất MEMS,advanced packaging việt nam,quang khắc cho wafer cong,máy aligner không mask","sku":"","code":"","rate":0,"image_2_url":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/datafiles\/39825\/upload\/images\/Product_image_MLA300.webp?t=1779260713","image_2_thumb_url":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/datafiles\/39825\/upload\/thumb_images\/Product_image_MLA300.webp","time_promotion":false,"date_sale":[],"status_order":7,"variant_options":[],"variants":[],"variantIdDefault":0,"image_list":[{"image_url":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/datafiles\/39825\/upload\/images\/Product_image_MLA300.webp","image_thumb_url":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/datafiles\/39825\/upload\/\/thumb_images\/Product_image_MLA300.webp"}],"product_articles":[],"total_point_review":0,"link_youtube":"https:\/\/www.youtube.com\/embed\/","video_url":"","booking_url":"javascript:void(0)","brand_name":"Heidelberg Instruments","qr_code":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/he-thong-quang-khac-khong-mat-na-san-xuat-khoi-luong-lon-mla-300.html","promotion_name":"","option":{"3":"Sản phẩm đặt biệt"},"status_inventory_value":1,"status_inventory":"Còn hàng","price":false,"price_final":false,"percent_discount":false,"price_discount":false},{"id":3678835,"name":"Hệ thống Quang khắc không mặt nạ Grayscale DWL 2000 GS \/ 4000 GS","desc":"DWL 2000 GS \/ 4000 GS đáp ứng chuẩn công nghiệp, hỗ trợ xuất CAD với 1023 mức xám. Công nghệ Grayscale độc quyền từ Heidelberg Instruments cho phép tạo cấu trúc 2.5D và vi thấu kính với độ nhám bề mặt xuống 5nm. Giải pháp tối ưu cho chế tạo hologram, bộ khuếch tán ánh sáng và thấu kính Fresnel trong nghiên cứu quang tử, vi quang học.<\/span><\/p>","content":"Đặc điểm chính<\/strong><\/span><\/p>Hệ thống quang học cố định, tự động lấy nét thời gian thực, bàn ngang mang khí tĩnh cao cấp<\/span><\/p>Giao thoa kế độ phân giải cao giám sát vị trí bàn liên tục<\/span><\/p>Kiểm soát khí hậu tiên tiến, ổn định nhiệt độ ±0.1°C, môi trường ISO 4<\/span><\/p>Camera CCD tích hợp và camera tổng thể giúp căn chỉnh dễ dàng<\/span><\/p>Hỗ trợ 4 chế độ ghi (Write Modes) để tối ưu hiệu suất theo từng ứng dụng<\/span><\/p>Tạo cấu trúc phức tạp từ file CAD (DXF, BMP, STL, X,Y,Z-ASCII) lên đến 1023 mức xám<\/span><\/p>Phần mềm toàn diện: thao tác và kết hợp file CAD, tạo mẫu phức tạp, tối ưu cấu trúc<\/span><\/p>&nbsp;<\/p>Mô tả chi tiết&nbsp;<\/strong><\/span><\/p>Công nghệ &amp; nguyên lý<\/u><\/span><\/p>DWL 2000 GS \/ 4000 GS – Hệ quang khắc laser Grayscale, dùng 1023 mức xám (khác quang khắc nhị phân truyền thống). Dữ liệu 3D CAD → map trực tiếp cường độ laser → tạo cấu trúc 2.5D liên tục (vi thấu kính, cách tử blazed) chỉ trong một bước.<\/span><\/p>Hạn chế của lithography truyền thống<\/u><\/span><\/p>Quang khắc nhị phân cần nhiều mask + nhiều bước khắc xếp chồng, dễ sai lệch căn chỉnh.<\/span><\/p>Với vi thấu kính\/hologram, phương pháp cũ kéo dài hàng tuần do thiết kế, chế tạo mask và căn chỉnh nhiều lần.<\/span><\/p>Chi phí chrome mask rất cao, nhất khi cần nhiều mask cho cấu trúc phức tạp.<\/span><\/p>Thiếu phần mềm chuyển đổi trực tiếp 3D CAD → tín hiệu laser, gây sai lệch hình học.<\/span><\/p>Ưu điểm của hệ thống maskless lithography DWL 2000 GS \/ 4000 GS<\/u><\/span><\/p>Quy trình chỉ một bước grayscale - tiết kiệm chi phí và thời gian sản xuất mask, nhanh hơn e-beam lithography. Bề mặt mịn (độ nhám 5nm). Phần mềm nhập STL\/DXF\/BMP, tự động mapping; hỗ trợ GenISys BEAMER.<\/span><\/p>Tích hợp\/mở rộng<\/u><\/span><\/p>Kết hợp profilometer, kính hiển vi; tương thích cản quang AZ 1500, AZ 4562; dễ tích hợp phòng sạch<\/span><\/p>&nbsp;<\/p>Thông số kỹ thuật&nbsp;<\/strong><\/span><\/p><figure class=\"table\" style=\"width:100.0%;\"><table><tbody><tr><td style=\"border:1.0pt solid windowtext;padding:0cm 5.4pt;vertical-align:top;width:38.44%;\">Thông số<\/span><\/p><\/td><td style=\"border-bottom-style:solid;border-color:windowtext;border-left-style:none;border-right-style:solid;border-top-style:solid;border-width:1.0pt;padding:0cm 5.4pt;vertical-align:top;width:61.56%;\">Giá trị<\/span><\/p><\/td><\/tr><tr><td style=\"border-bottom-style:solid;border-color:windowtext;border-left-style:solid;border-right-style:solid;border-top-style:none;border-width:1.0pt;padding:0cm 5.4pt;vertical-align:top;width:38.44%;\">Diện tích phơi sáng tối đa<\/span><\/p><\/td><td style=\"border-bottom:1.0pt solid windowtext;border-left-style:none;border-right:1.0pt solid windowtext;border-top-style:none;padding:0cm 5.4pt;vertical-align:top;width:61.56%;\">200 × 200 mm² (2000 GS), 400 × 400 mm² (4000 GS)<\/span><\/p><\/td><\/tr><tr><td style=\"border-bottom-style:solid;border-color:windowtext;border-left-style:solid;border-right-style:solid;border-top-style:none;border-width:1.0pt;padding:0cm 5.4pt;vertical-align:top;width:38.44%;\">Độ chồng lớp (3σ, trên 8\"x8\")<\/span><\/p><\/td><td style=\"border-bottom:1.0pt solid windowtext;border-left-style:none;border-right:1.0pt solid windowtext;border-top-style:none;padding:0cm 5.4pt;vertical-align:top;width:61.56%;\">300 nm<\/span><\/p><\/td><\/tr><tr><td style=\"border-bottom-style:solid;border-color:windowtext;border-left-style:solid;border-right-style:solid;border-top-style:none;border-width:1.0pt;padding:0cm 5.4pt;vertical-align:top;width:38.44%;\">Tốc độ ghi (tối đa)<\/span><\/p><\/td><td style=\"border-bottom:1.0pt solid windowtext;border-left-style:none;border-right:1.0pt solid windowtext;border-top-style:none;padding:0cm 5.4pt;vertical-align:top;width:61.56%;\">1250 mm²\/phút<\/span><\/p><\/td><\/tr><tr><td style=\"border-bottom-style:solid;border-color:windowtext;border-left-style:solid;border-right-style:solid;border-top-style:none;border-width:1.0pt;padding:0cm 5.4pt;vertical-align:top;width:38.44%;\">Thông lượng tối đa<\/span><\/p><\/td><td style=\"border-bottom:1.0pt solid windowtext;border-left-style:none;border-right:1.0pt solid windowtext;border-top-style:none;padding:0cm 5.4pt;vertical-align:top;width:61.56%;\">5600 mJ\/cm² (chế độ I)<\/span><\/p><\/td><\/tr><tr><td style=\"border-bottom-style:solid;border-color:windowtext;border-left-style:solid;border-right-style:solid;border-top-style:none;border-width:1.0pt;padding:0cm 5.4pt;vertical-align:top;width:38.44%;\">Phạm vi bù lấy nét tự động<\/span><\/p><\/td><td style=\"border-bottom:1.0pt solid windowtext;border-left-style:none;border-right:1.0pt solid windowtext;border-top-style:none;padding:0cm 5.4pt;vertical-align:top;width:61.56%;\">80 μm<\/span><\/p><\/td><\/tr><tr><td style=\"border-bottom-style:solid;border-color:windowtext;border-left-style:solid;border-right-style:solid;border-top-style:none;border-width:1.0pt;padding:0cm 5.4pt;vertical-align:top;width:38.44%;\">Nguồn sáng<\/span><\/p><\/td><td style=\"border-bottom:1.0pt solid windowtext;border-left-style:none;border-right:1.0pt solid windowtext;border-top-style:none;padding:0cm 5.4pt;vertical-align:top;width:61.56%;\">Laser diode, 405 nm<\/span><\/p><\/td><\/tr><tr><td style=\"border-bottom-style:solid;border-color:windowtext;border-left-style:solid;border-right-style:solid;border-top-style:none;border-width:1.0pt;padding:0cm 5.4pt;vertical-align:top;width:38.44%;\">Độ dày đế<\/span><\/p><\/td><td style=\"border-bottom:1.0pt solid windowtext;border-left-style:none;border-right:1.0pt solid windowtext;border-top-style:none;padding:0cm 5.4pt;vertical-align:top;width:61.56%;\">0 – 12 mm<\/span><\/p><\/td><\/tr><\/tbody><\/table><\/figure>","image_url":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/datafiles\/39825\/upload\/images\/Product_image_DWL4000GS.webp?t=1779260712","image_thumb_url":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/datafiles\/39825\/upload\/thumb_images\/Product_image_DWL4000GS.webp","tags":["DWL 2000 GS","DWL 4000 GS","Grayscale lithography"],"count_view":108,"seo_name":"he-thong-quang-khac-khong-mat-na-grayscale-dwl-2000-gs-4000-gs","date_update":1779338738,"date_created_format":"","meta_title":"Quang khắc Grayscale DWL 2000 GS và DWL 4000 GS tạo cấu trúc 2.5D","meta_desc":"Quang khắc Grayscale DWL 2000 GS và DWL 4000 GS tạo cấu trúc 2.5D, vi thấu kính, hologram. Độ nhám 5nm, hỗ trợ CAD 1023 mức xám. Liên hệ ADST.","meta_keyword":"máy quang khắc grayscale,quang khắc laser grayscale,khắc vi thấu kính,chế tạo hologram,vi quang học,quang khắc 25D,máy tạo mẫu quang khắc không mặt nạ","sku":"","code":"","rate":0,"image_2_url":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/datafiles\/39825\/upload\/images\/Product_image_DWL4000GS.webp?t=1779260712","image_2_thumb_url":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/datafiles\/39825\/upload\/thumb_images\/Product_image_DWL4000GS.webp","time_promotion":false,"date_sale":[],"status_order":7,"variant_options":[],"variants":[],"variantIdDefault":0,"image_list":[{"image_url":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/datafiles\/39825\/upload\/images\/Product_image_DWL4000GS.webp","image_thumb_url":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/datafiles\/39825\/upload\/\/thumb_images\/Product_image_DWL4000GS.webp"}],"product_articles":[],"total_point_review":0,"link_youtube":"https:\/\/www.youtube.com\/embed\/","video_url":"","booking_url":"javascript:void(0)","brand_name":"Heidelberg Instruments","qr_code":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/he-thong-quang-khac-khong-mat-na-grayscale-dwl-2000-gs-4000-gs.html","promotion_name":"","option":{"3":"Sản phẩm đặt biệt"},"status_inventory_value":1,"status_inventory":"Còn hàng","price":false,"price_final":false,"percent_discount":false,"price_discount":false},{"id":3677945,"name":"G[SAFE] - Tủ Găng Tay An Toàn Cao Cho Chất Độc Hại","desc":"Dòng tủ găng tay chuyên dụng làm việc với chất độc hại, bột nguy hiểm hoặc tác nhân gây bệnh. Vận hành dưới áp suất âm và hệ thống lọc kép HEPA đảm bảo an toàn tuyệt đối.<\/p>","content":"Đặc điểm chính:<\/strong><\/p>Vận hành dưới áp suất âm để ngăn rò rỉ chất độc ra ngoài.&nbsp;<\/p>Hệ thống lọc HEPA kép (đầu vào và đầu ra) an toàn cao.&nbsp;<\/p>Bảo vệ tối ưu cho cả người vận hành và sản phẩm.&nbsp;<\/p>Thiết kế chuyên biệt cho xử lý bột độc hại (cytotoxic, pathogens).&nbsp;<\/p>Dễ dàng vệ sinh và khử trùng bề mặt bên trong.&nbsp;<\/p>Tích hợp các cổng kết nối kín để thải bỏ chất thải an toàn.&nbsp;<\/p>Hệ thống giám sát dòng khí và áp suất liên tục.&nbsp;<\/p>Tuân thủ các tiêu chuẩn an toàn sinh học và dược phẩm khắt khe.<\/p>&nbsp;<\/p>Thông số kỹ thuật chính:<\/strong><\/p>Chế độ vận hành: Áp suất âm (Negative pressure).&nbsp;<\/p>Hiệu suất lọc: HEPA H14 (99.995%).&nbsp;<\/p>Độ sạch không khí: Đạt ISO 5 theo tiêu chuẩn 14644-1.&nbsp;<\/p>Vật liệu: Thép không gỉ chống hóa chất mạnh.&nbsp;<\/p>Găng tay: Vật liệu CSM hoặc Butyl kháng hóa chất\/UV.&nbsp;<\/p>An toàn: Van an toàn áp suất tích hợp.&nbsp;<\/p>","image_url":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/datafiles\/39825\/upload\/images\/Jacomex_products.jpg?t=1778515234","image_thumb_url":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/datafiles\/39825\/upload\/thumb_images\/Jacomex_products.jpg?t=1779339627","tags":["tủ găng tay an toàn","G Safe Jacomex","tủ cách ly dược phẩm","xử lý chất độc hại"],"count_view":55,"seo_name":"g-safe-tu-gang-tay-an-toan-cao-cho-chat-doc-hai","date_update":1778515445,"date_created_format":"","meta_title":"","meta_desc":"","meta_keyword":"tủ găng tay an toàn,G Safe Jacomex,tủ cách ly dược phẩm,xử lý chất độc hại","sku":"","code":"","rate":0,"image_2_url":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/datafiles\/39825\/upload\/images\/Jacomex_products.jpg?t=1778515234","image_2_thumb_url":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/datafiles\/39825\/upload\/thumb_images\/Jacomex_products.jpg?t=1779339627","time_promotion":false,"date_sale":[],"status_order":7,"variant_options":[],"variants":[],"variantIdDefault":0,"image_list":[{"image_url":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/datafiles\/39825\/upload\/images\/Jacomex_products.jpg","image_thumb_url":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/datafiles\/39825\/upload\/\/thumb_images\/Jacomex_products.jpg"}],"product_articles":[],"total_point_review":0,"link_youtube":"https:\/\/www.youtube.com\/embed\/","video_url":"","booking_url":"javascript:void(0)","brand_name":"JACOMEX","qr_code":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/g-safe-tu-gang-tay-an-toan-cao-cho-chat-doc-hai.html","promotion_name":"","status_inventory_value":1,"status_inventory":"Còn hàng","price":false,"price_final":false,"percent_discount":false,"price_discount":false}]},"widget_6484467":{"content_data":{"content":"Sản phẩm liên quan"}},"widget_6465025":{"content_data":{"content":"SẢN PHẨM"}},"widget_6465119":{"content_data":{"content":"bài viết ỨNG DỤNG"}},"widget_6465145":{"content_data":{"content":"Dịch vụ"}},"widget_6465148":{"content_data":{"content":"THƯ VIỆN KHOA HỌC"}},"widget_6465151":{"content_data":{"content":"Công ty"}},"widget_6465154":{"content_data":{"content":"MẠNG XÃ HỘI"}},"widget_6442277":{"content_data":{"content":"Thông tin"}},"widget_6465152":{"content_data":[{"id":136579,"name":"Liên hệ","desc":"","content":"","image_url":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/datafiles\/39825\/upload\/files\/ADST%20favicon%20Red.png","image_thumb_url":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/datafiles\/39825\/upload\/thumb_files\/ADST%20favicon%20Red.png","tags":"","count_view":0,"seo_name":"lien-he","date_update":0,"date_created_format":"0","meta_title":"","meta_desc":"","meta_keyword":"","unique":110713,"index":0}]},"widget_6587237":{"content_data":{"content":"Đăng ký"}},"title_page":"Sản phẩm","relate_object_id":3617151}

Hệ thống quang khắc chùm ion Elionix

Đặc điểm nổi bật

Thông số kỹ thuật chính

Ứng dụng

sản phẩm

Sản phẩm liên quan

Hệ thống Quang khắc không mặt nạ đầu dò nhiệt NanoFrazor

Hệ thống Quang khắc không mặt nạ sản xuất khối lượng lớn MLA 300

Hệ thống Quang khắc không mặt nạ Grayscale DWL 2000 GS / 4000 GS

G[SAFE] - Tủ Găng Tay An Toàn Cao Cho Chất Độc Hại

ADST - Công Ty Cổ Phần Công Nghệ An Đông

Thông tin

SẢN PHẨM

bài viết ỨNG DỤNG

Dịch vụ

THƯ VIỆN KHOA HỌC

Công ty

MẠNG XÃ HỘI