Hệ thống quang khắc chùm ion Elionix

Đặc điểm nổi bật

  • Ăn mòn/lắng đọng đa năng: Một số mẫu như EIS-220P được trang bị hai súng ion, cho phép luân phiên thực hiện cả hai quá trình ăn mòn (etching) và lắng đọng (deposition) mà không cần tháo mẫu ra khỏi buồng chân không, giúp duy trì môi trường sạch và hiệu quả quy trình.

  • Sử dụng nhiều loại khí: Máy có thể sử dụng cả khí trơ (như Argon, Xenon) và khí hoạt hóa (như Oxy, CF4) làm nguồn ion, cho phép thực hiện cả ăn mòn vật lý và ăn mòn hóa học.

  • Kiểm soát góc chiếu: Cho phép điều chỉnh góc chiếu chùm ion để tạo ra các cấu trúc có thành nghiêng.

Thông số kỹ thuật chính

 

  • Nguồn ion: Nguồn ion loại cộng hưởng cyclotron điện tử (ECR).

  • Khí ion hóa: Có thể sử dụng các loại khí trơ (như Ar, Xe) và khí hoạt hóa (như O₂, CF₄).

  • Điện áp gia tốc: Có thể thay đổi liên tục từ 100 V đến 3000 V.

  • Mật độ dòng ion: Đạt ≥ 1.5 mA/cm² (với Ar) và ≥ 2.0 mA/cm² (với O₂) ở 2 kV.

  • Đường kính chùm tia: Khoảng Φ 20 mm.

  • Kích thước mẫu: Hỗ trợ tối đa wafer 4 inch.

Ứng dụng

  • Tạo cấu trúc nano: Khắc các mẫu nanomet như đường và khoảng trống (Line & Space), các cấu trúc trụ với đường kính nhỏ tới 35 nm.

  • Vật liệu và thiết bị quang học: Tạo các mẫu có độ sâu lớn, các cấu trúc quang học như lưới nhiễu xạ (holographic pattern) với độ sâu lên tới 1050 nm.

  • Công nghệ bán dẫn: Chế tạo các cấu trúc phức tạp như mô hình nâng (lift-off pattern) và cấu trúc T-gate.

  • Nghiên cứu vật liệu: Ăn mòn các vật liệu khó như Pt và Si.

 
  • Chia sẻ qua viber bài: Hệ thống quang khắc chùm ion Elionix
  • Chia sẻ qua reddit bài:Hệ thống quang khắc chùm ion Elionix

sản phẩm

Loading...

Sản phẩm liên quan

Nền tảng điện toán lượng tử trên đám mây IQM Resonance

Nền tảng điện toán lượng tử trên đám mây IQM Resonance  Hãng cung cấp: IQM - Phần Lan IQM Resonance là nền tảng điện toán lượng tử trên đám mây được quản lý hoàn toàn, cung cấp truy cập tức thì đến các QPU (Quantum Processing Unit) tiên tiến, lý tưởng cho doanh nghiệp, viện nghiên cứu và môi trường học thuật
Xem thêm

Máy tính lượng tử siêu dẫn 20, 54 và 150 qubit

Máy tính lượng tử siêu dẫn 20, 54 và 150 qubit Model: IQM Radiance Nhà sản xuất: IQM Quantum Computers - Phần Lan Xuất xứ: Phần Lan IQM Radiance là nền tảng máy tính lượng tử siêu dẫn tiên tiến, được thiết kế cho các trung tâm tính toán hiệu năng cao (HPC), trung tâm dữ liệu, cơ quan chính phủ và các doanh nghiệp muốn khai thác lợi thế lượng tử (quantum advantage). Với các qubit chất lượng cao và tích hợp hybrid, Radiance là giải pháp lý tưởng cho các ứng dụng thực tiễn trong machine learning, an ninh mạng, tối ưu hóa năng lượng, và nghiên cứu hóa học.
Xem thêm

Máy tính lượng tử siêu dẫn 5 qubit

Máy tính lượng tử siêu dẫn 5 Qubit Model: IQM Spark Nhà sản xuất: IQM Quantum Computers - Phần Lan Xuất xứ: Phần Lan IQM Spark là hệ thống máy tính lượng tử siêu dẫn được thiết kế dành riêng cho các trường đại học, viện nghiên cứu, và phòng thí nghiệm để phục vụ giảng dạy, phát triển thuật toán lượng tử, và nghiên cứu trong kỷ nguyên NISQ (Noisy Intermediate-Scale Quantum). Với chi phí hợp lý, hệ thống này mang đến hiệu suất cao, khả năng tích hợp linh hoạt, và thiết kế tối ưu cho các ứng dụng nghiên cứu lượng tử. Ứng dụng Nghiên cứu lượng tử: Thí nghiệm vật lý lượng tử, nghiên cứu linh kiện lượng tử. Phát triển và thử nghiệm các thuật toán lượng tử (VD: VQE, QAOA). Giáo dục: Phù hợp cho giảng dạy tại các trường đại học (cử nhân, thạc sĩ, tiến sĩ). Tài liệu học tập và hướng dẫn qua IQM Academy. Ứng dụng công nghiệp: Tối ưu hóa các vấn đề trong hóa học lượng tử, tối ưu hóa tổ hợp, và máy học lượng tử.  
Xem thêm

Hệ thống làm lạnh pha loãng bằng đồng vị Heli LD250

Hệ thống làm lạnh pha loãng bằng đồng vị Heli LD250 Model: LD250 Hãng sản xuất: Bluefors - Phần Lan Xuất xứ: Phần Lan Được thiết kế để cung cấp môi trường nhiệt độ cực thấp (dưới 10 mK) cho các thí nghiệm lượng tử và nghiên cứu vật lý nhiệt độ thấp. Hệ thống này nổi bật với khả năng làm lạnh nhanh, vận hành tự động, và thiết kế mở giúp dễ dàng tiếp cận không gian thí nghiệm. LD250 được tối ưu hóa để cung cấp công suất làm lạnh, phù hợp cho các thí nghiệm yêu cầu không gian mẫu lớn và công suất làm lạnh mạnh mẽ.
Xem thêm