Hệ thống quang khắc chùm ion Elionix

Đặc điểm nổi bật

  • Ăn mòn/lắng đọng đa năng: Một số mẫu như EIS-220P được trang bị hai súng ion, cho phép luân phiên thực hiện cả hai quá trình ăn mòn (etching) và lắng đọng (deposition) mà không cần tháo mẫu ra khỏi buồng chân không, giúp duy trì môi trường sạch và hiệu quả quy trình.

  • Sử dụng nhiều loại khí: Máy có thể sử dụng cả khí trơ (như Argon, Xenon) và khí hoạt hóa (như Oxy, CF4) làm nguồn ion, cho phép thực hiện cả ăn mòn vật lý và ăn mòn hóa học.

  • Kiểm soát góc chiếu: Cho phép điều chỉnh góc chiếu chùm ion để tạo ra các cấu trúc có thành nghiêng.

Thông số kỹ thuật chính

 

  • Nguồn ion: Nguồn ion loại cộng hưởng cyclotron điện tử (ECR).

  • Khí ion hóa: Có thể sử dụng các loại khí trơ (như Ar, Xe) và khí hoạt hóa (như O₂, CF₄).

  • Điện áp gia tốc: Có thể thay đổi liên tục từ 100 V đến 3000 V.

  • Mật độ dòng ion: Đạt ≥ 1.5 mA/cm² (với Ar) và ≥ 2.0 mA/cm² (với O₂) ở 2 kV.

  • Đường kính chùm tia: Khoảng Φ 20 mm.

  • Kích thước mẫu: Hỗ trợ tối đa wafer 4 inch.

Ứng dụng

  • Tạo cấu trúc nano: Khắc các mẫu nanomet như đường và khoảng trống (Line & Space), các cấu trúc trụ với đường kính nhỏ tới 35 nm.

  • Vật liệu và thiết bị quang học: Tạo các mẫu có độ sâu lớn, các cấu trúc quang học như lưới nhiễu xạ (holographic pattern) với độ sâu lên tới 1050 nm.

  • Công nghệ bán dẫn: Chế tạo các cấu trúc phức tạp như mô hình nâng (lift-off pattern) và cấu trúc T-gate.

  • Nghiên cứu vật liệu: Ăn mòn các vật liệu khó như Pt và Si.

 
  • Chia sẻ qua viber bài: Hệ thống quang khắc chùm ion Elionix
  • Chia sẻ qua reddit bài:Hệ thống quang khắc chùm ion Elionix

PRODUCTS

Loading...

RELATED PRODUCTS

IQM Resonance – Quantum Cloud Platform

IQM Resonance – Quantum Cloud Platform Supplier: IQM – Finland IQM Resonance is a fully managed cloud-based quantum computing platform that provides instant access to advanced Quantum Processing Units (QPUs), ideal for enterprises, research institutes, and academic environments.
Xem thêm

IQM Radiance 20, 54 and 150 Qubits quantum computer

IQM Radiance 20, 54 and 150 Qubits quantum computer Model: IQM Radiance Manufacturer: IQM Quantum Computers - Finland Origin: Finland IQM Radiance is an advanced superconducting quantum computing platform designed for high-performance computing (HPC) centers, data centers, government agencies, and enterprises seeking to harness quantum advantage. With high-quality qubits and hybrid integration, Radiance is an ideal solution for practical applications in machine learning, cybersecurity, energy optimization, and chemical research.
Xem thêm

IQM Spark 5-qubit quantum computer

IQM Spark 5-qubit quantum computer Model: IQM Spark Manufacturer: IQM Quantum Computers – Finland Origin: Finland IQM Spark is a superconducting quantum computer system specifically designed for universities, research institutes, and laboratories to support education, quantum algorithm development, and research in the NISQ (Noisy Intermediate-Scale Quantum) era. With a cost-effective approach, this system offers high performance, flexible integration, and an optimized design for quantum research applications.
Xem thêm

LD250 Dilution Refrigerator Measurement System

LD250 Dilution Refrigerator Measurement System Model: LD250 Manufacturer: Bluefors - Finland Origin: Finland Designed to provide an ultra-low temperature environment (below 10 mK) for quantum experiments and low-temperature physics research, the LD250 system stands out with its rapid cooling capability, automated operation, and open design for easy access to the experimental space. It is optimized to deliver high cooling power, making it suitable for experiments requiring large sample spaces and robust cooling performance.  
Xem thêm