Quang khắc không mặt nạ nhiệt, lithography chế tạo cấu trúc 3D nano

Key Features

Fixed optical system, real-time autofocus, and high-end frictionless air-bearing XY stage.
High-resolution interferometer continuously monitors stage position.
Advanced climate control, temperature stability of ±0.1°C, ISO 4 environment.
Integrated CCD camera and macro camera for effortless alignment.
Supports 4 write modes to optimize performance according to specific applications.
Generates complex structures directly from CAD files (DXF, BMP, STL, X,Y,Z-ASCII) with up to 1023 grayscale levels.
Comprehensive software: manipulate and merge CAD files, design complex patterns, and optimize structures.

Detailed Description

Technology & Principle

The DWL 2000 GS / 4000 GS is a Grayscale laser lithography system utilizing 1023 gray levels (unlike traditional binary lithography). 3D CAD data maps directly to laser intensity, enabling the fabrication of continuous 2.5D structures (microlens arrays, blazed gratings) in a single step.

Binary lithography requires multiple masks and alignment steps, leading to overlay errors. For microlenses/holograms, old methods take weeks due to mask design, manufacturing, and repetitive alignment. Photomask costs are extremely high for complex structures. Furthermore, standard software lacks direct 3D CAD to laser signal conversion, causing geometric distortions.

A single-step grayscale process saves cost and mask manufacturing time, making it faster than e-beam lithography. It achieves ultra-smooth surfaces (5nm roughness). The software imports STL/DXF/BMP files for automatic mapping and fully supports GenISys BEAMER.

Integration & Expansion

Easily integrates with profilometers and microscopes; compatible with AZ 1500 and AZ 4562 photoresists; cleanroom-ready.

Technical Specifications

Parameter	Value
Maximum exposure area	200 × 200 mm² (2000 GS), 400 × 400 mm² (4000 GS)
Overlay accuracy (3σ, over 8"x8")	300 nm
Write speed (maximum)	1250 mm²/min
Maximum throughput	5600 mJ/cm² (Mode I)
Autofocus compensation range	80 μm
Light source	Laser diode, 405 nm
Substrate thickness	0 – 12 mm

Contact

{"default_contact":"Liên hệ","default_notification":"Thông báo","default_redirect_click":"Nhấn vào đây nếu đợi quá lâu.","default_fullname":"Họ và tên","default_email":"Email","default_address":"Địa chỉ","default_phone":"Điện thoại","default_send":"Gởi đi","default_reset":"Làm lại","default_select_all":"Chọn tất cả","default_captcha":"Mã bảo vệ","default_input_captcha":"Nhập vào mã bảo vệ","default_contact_send_success":"Bạn đã gởi liên hệ thành công","default_contact_send_false":"Bạn đã gởi liên hệ thất bại","default_back_page_home":"Quay về trang chủ","product_sort_name_asc":"Sắp xếp theo tên (A-Z)","product_sort_name_desc":"Sắp xếp theo tên (Z-A)","product_sort_price_asc":"Sắp xếp theo giá (Nhỏ -> Lớn)","product_sort_price_desc":"Sắp xếp theo giá (Lớn -> Nhỏ)","product_sort_price_sale_asc":"Sắp xếp theo khuyến mãi (Không -> Có)","product_sort_price_sale_desc":"Sắp xếp theo khuyến mãi (Có -> không)","key_option_product_discount":"Sản phẩm khuyến mãi","key_option_product_new":"Sản phẩm mới","key_option_product_special":"Sản phẩm đặt biệt","key_option_product_hot":"Sản phẩm Hot","key_option_news_new":"Tin mới","key_option_news_highlight":"Tin nổi bật","key_option_news_special":"Tin đặc biệt","key_option_news_hot":"Tin hot","key_option_classified_news_highlight":"Tin rao nổi bật","default_newsletter_thanks":"Cảm ơn bạn đã đăng ký trên hệ thống của chúng tôi","error_email_exists":"Email đã tồn tại trong hệ thống","error_email_not_exists":"Email không tồn tại trong hệ thống","error_email_invalid":"Địa chỉ email phải đúng cú pháp, ví dụ: info@tenmien.vn!","member_change_info_success":"Thông tin thay đổi thành công.","member_change_info_fail":"Thay đổi thông tin thất bại.","member_change_password_success":"Mật khẩu thay đổi thành công","member_change_password_fail":"Mật khẩu thay đổi thất bại","member_login_success":"Bạn đã đăng nhập thành công","member_register_success":"Đăng ký tài khoản thành công","member_register_fail":"Đăng ký tài khoản thất bại","member_send_password_new_mail_success":"Mật khẩu mới đã gửi về email đăng ký!","member_send_password_new_fail":"Lấy lại mật khẩu thất bại","error_account_not_found":"Không tìm thấy tài khoản trong hệ thống.","error_limit_login":"Bạn đã nhập sai vượt quá số lần quy định. Vui lòng đăng nhập lại sau:","error_username_required":"Bạn vui lòng nhập tên truy cập","error_username_not_exists":"Tên truy cập không tồn tại.","error_username_space":"Tên truy cập không được chứa khoảng trắng","error_username_exists":"Tên truy cập đã tồn tại","error_account_block":"Tài khoản đã bị khóa","error_password_not_exists":"Mật khẩu bạn nhập không chính xác.","error_password_required":"Bạn vui lòng nhập mật khẩu","error_password_not_regex":"Mật khẩu phải chứa ít nhất 6 ký tự. Bao gồm chữ in hoa, chữ thường và số.","error_password_old_required":"Nhập vào mật khẩu hiện tại của bạn","error_password_old_invalid":"Mật khẩu cũ không đúng","error_password_confirm_invalid":"Mật khẩu phải chứa ít nhất 6 ký tự. Bao gồm chữ in hoa, chữ thường và số.","error_register_is_login":"Bạn đã đăng nhập vào hệ thống. Vui lòng đăng xuất để thực hiện tính năng này","page_login":"Đăng nhập","error_fullname_required":"Bạn vui lòng nhập họ tên","error_fullname_max_length":"Họ tên Không vượt quá 55 ký tự","error_address_max_length":"Địa chỉ không vượt quá 150 ký tự","error_email_required":"Bạn vui lòng nhập email","error_content_required":"Bạn vui lòng nhập nội dung","error_content_max_length":"Nội dung gửi không được vượt quá 5000 ký tự","error_phone_required":"Bạn vui lòng nhập số điện thoại","error_phone_syntax":"Số điện thoại phải đủ 8 số hoặc lớn hơn, ví dụ: 19009477, 0967897890, 0286253737, ...","error_phone_exists":"Số điện thoại đã tồn tại trong hệ thống","error_captcha_required":"Bạn vui lòng nhập mã bảo vệ","error_captcha_invalid":"Mã bảo vệ không đúng","error_token_csrf_invalid":"Token không hợp lệ","time_invalid":"Thời gian không hợp lệ","forms_required":"Trường này là bắt buộc","forms_send_success":"Bạn đã gửi thông tin đăng ký thành công","forms_send_false":"Bạn đã gửi thông tin đăng ký thất bại","forms_undefined":"Không xác định được biểu mẫu","authentication_otp":"Xác thực OTP","authentication_otp_note":"Vui lòng kiểm tra điện thoại để lấy mã Xác thực.","error_limit_send_authentication_phone":"Quý khách đã đạt đến giới hạn xác thực số điện thực, vui lòng xác thực sau 30p","error_time_resend_authentication_phone":"Chưa đến thời gian gửi lại.","send_code_otp_success":"Gửi mã OTP thành công","send_code_otp_error":"Gửi mã OTP thất bại","authentication_phone":"Xác thực số điện thoại","authentication_enter_code":"Nhập mã xác thực tại đây","authentication":"Xác thực","authentication_phone_re_send":"Gửi lại","authentication_phone_success":"Xác thực điện thoại thành công","verify_success":"Xác minh thành công","titile_authentication_phone_success":"Xác thực thành công","authentication_phone_error":"Xác thực điện thoại thất bại","warning_custom_no_authentication_phone":"Quý khách chưa xác thực số điện thoại","warning_phone_number_you_have_verified":"Số điện thoại của bạn đã xác minh","error_customer_access_page_here":"Quý khách chưa được truy cập trang này","skip_authenction":"Bỏ qua xác thực","error_enter_phone_invalid":"Khách hàng vui lòng nhập số điện thoại hợp lệ","error_info_invalid":"Thông tin không hợp lệ","error_code_verify_required":"Vui lòng nhập mã xác thực OTP","save_info_failed":"Lưu thông tin thất bại","save_info_success":"Lưu thông tin thành công","news":"Tin Tức","back_to_home":"Quay lại trang chủ","content_404":"Xin lỗi! Trang bạn đang tìm kiếm không tồn tại.","mail_welcome":"Xin chào: Anh\/Chị","best_regards":"Trân trọng","admin_website":"Ban quản trị","lost_password_subject":"Yêu cầu mật khẩu mới cho tài khoản!","lost_password_info":"Chúng tôi vừa nhận được yêu cầu khôi phục mật khẩu từ phía bạn. Vui lòng nhấn vào","lost_password_link":"đường dẫn","lost_password_active":"sau để kích hoạt mật khẩu mới.","news_password":"Mật khẩu mới:","account":"Tài khoản:","lost_password_contact":"Nếu Anh\/chị có bất kỳ câu hỏi nào, xin liên hệ với chúng tôi qua mail","onepay_cart":"Hệ thống sẽ chuyển qua cổng thanh toán OnePay.vn","product_payment_onepay":"Thanh toán OnePay","product_payment_onepay_atm":"OnePay cổng nội địa","product_payment_onepay_int":"OnePay cổng quốc tế","napas_cart":"Hệ thống sẽ chuyển qua cổng thanh toán Napas","product_payment_napas":"Thanh toán NaPas","product_payment_napas_atm":"Thanh toán NaPas nội địa","product_payment_napas_int":"Thanh toán NaPas quốc tế","product_payment_sacombank":"Thanh toán qua Sacombank","paypal_cart":"Hệ thống sẽ chuyển qua cổng thanh toán Paypal.com","product_payment_paypal":"Thanh toán PayPal","error_money_limit":"Số tiền lớn hơn mức cho phép của Paypal vui lòng chọn phương thức thanh toán khác","cart_paypal_express":"Hệ thống sẽ chuyển qua cổng thanh toán Paypal Express","vnpay_cart":"Hệ thống sẽ chuyển qua cổng thanh toán Vnpayment.vn","product_payment_vnpay":"Thanh toán VNPAY","zalopay_cart":"Hệ thống sẽ chuyển qua cổng thanh toán ZaloPay","product_payment_zalopay":"Thanh toán ZaloPay","product_payment_zalopay_app":"Thanh toán qua ví ZaloPay","product_payment_zalopay_atm":"Thanh toán ZaloPay cổng ATM","product_payment_zalopay_int":"Thanh toán ZaloPay cổng Visa\/MasterCard","error_zalopay_create_url_fail":"Tạo thanh toán qua ZaloPay thất bại. Vui lòng kiểm tra lại thông tin đơn hàng khi thanh toán.","zalopay_create_url_error":"ZaloPay tạo đơn hàng thất bại.","error_zalopay_payment_int":"Số tiền tối thiểu thanh toán qua cổng ZaloPay là 10.000đ","momo_cart":"Hệ thống sẽ chuyển qua cổng thanh toán MoMo","product_payment_momo":"Thanh toán qua ví MoMo","error_momo_create_url_fail":"Tạo thanh toán qua MoMo thất bại. Vui lòng kiểm tra lại thông tin đơn hàng khi thanh toán.","momo_create_url_error":"MoMo tạo đơn hàng thất bại.","error_momo_payment":"Số tiền tối thiểu thanh toán qua cổng MoMo là 1000đ","addon_video_relate":"Video liên quan","addon_video_empty":"Không có video thuộc chủ đề này","addon_video_error_notfound":"Không tìm thấy video trên hệ thống","cart_empty":"Bạn chưa chọn món hàng nào.","cart_payment":"Thanh Toán","cart_payment_method_online":"Thanh Toán trực tuyến","cart_order_now":"Đặt hàng nhanh","error_update_cart_fail":"Cập nhật giỏ hàng thất bại","error_update_cart_success":"Cập nhật giỏ hàng thành công","cart_add_success":"Thêm vào giỏ hàng thành công","cart_add_fail":"Thêm vào giỏ hàng thất bại","cart_add_fail_quantity":"Số lượng sản phẩm mua vượt quá số lượng có","error_login_add_cart":"Quý khách vui lòng đăng nhập để đặt hàng","confirm_delete_cart":"Bạn chắc chắn muốn xóa sản phẩm này khỏi giỏ hàng","cart_delete_success":"Xóa giỏ hàng thành công","cart_delete_fail":"Xóa giỏ hàng thất bại","cart_nganluong":"Hệ thống sẽ chuyển qua cổng thanh toán NganLuong.vn","cart_baokim":"Hệ thống sẽ chuyển qua cổng thanh toán BaoKim.vn","order_success":"Đặt hàng thành công","cart_order_success":"Thông tin đặt hàng thành công","cart_order_thank":"Xin cảm ơn quý khách đã đặt hàng trên hệ thống của chúng tôi.","cart_order_success_thank_customer":"Đặt hàng thành công, xin cảm ơn quý khách đã đặt hàng trên hệ thống của chúng tôi.","cart_note":"Ghi chú","cart_total_price":"Tổng tiền","cart_order_info":"Thông tin đơn hàng","cart_price_detail":"Chi tiết giá","cart_order_button":"Sửa","cart_payment_transportation":"Phương thức vận chuyển","form_of_delivery":"Hình thức giao hàng","cart_payment_transport_to":"Vận chuyển đến","cart_payment_select_provinces":"--- Chọn tỉnh\/thành ---","cart_payment_select_state":"--- Chọn bang ---","cart_payment_select_region":"--- Chọn Khu vực ---","cart_payment_select_district":"--- Chọn quận\/huyện ---","cart_payment_select_ward":"--- Chọn phường\/xã ---","cart_payment_city_name":"Nhập thành phố","cart_payment_postal_code":"Nhập Zip\/Postal code","cart_payment_select_shipping_method":"Chọn hãng\/phương thức giao hàng","cart_payment_transport_select":"Chọn","cart_payment_shipping_carrier":"Hãng vận chuyển","cart_payment_estimated_time":"Thời gian dự kiến","cart_payment_transport_fee":"Phí vận chuyển","cart_payment_transport_service":"Dịch vụ vận chuyển","cart_payment_cod_fee":"Phí thu hàng hộ","cart_payment_total_shipping_cost":"Tổng tiền vận chuyển","cart_payment_not_transport":"Bạn có muốn nhận hàng trực tiếp tại shop ?","shipping_fast":"Giao hàng nhanh","shipping_default":"Giao hàng mặc định","shipping_other_form":"Hình thức khác","shipping_other_form_desc":"Shop liên hệ sau khi đặt hàng thành công","info_extend_payment":"Thông tin thêm","cart_customer_info":"Thông tin khách hàng","cart_buyer_info":"Người mua hàng","cart_receive_info":"Người nhận hàng","cart_use_buyer_info":"Sử dụng thông tin người mua hàng","view_cart":"Giỏ hàng","discount_shipping_note":"Giảm giá cho phí vận chuyển","address_received_product":"Địa chỉ nhận hàng","product_payment_at_the_receive":"Thanh toán khi nhận hàng","product_payment_at_the_company":"Thanh toán tại công ty","product_payment_nganluong":"Thanh toán NganLuong.vn","product_payment_baokim":"Thanh toán BaoKim.vn","product_payment_transfer":"Thanh toán chuyển khoản","product_payment_transfer_qr":"Chuyển khoản qua QR","please_warning_enter_address_shipping":"Vui lòng chọn địa chỉ giao hàng","warning_empty_province_to_shipping":"Hiện tại không có hình thức vận chuyển phù hợp","message_not_used_method_payment":"* Chúng tôi sẽ liên hệ quý khách khi nhận được đơn hàng. Hình thức thanh toán sẽ được chúng tôi thông báo đến quý khách sớm.","product_compare_limit":"Danh sách so sánh đã đạt giới hạn cho phép (10 sản phẩm)","address_store_payment":"Địa chỉ cửa hàng","shipping_status_not_delivery":"Chưa giao hàng","status_shipping_delivered":"Đã giao hàng","status_shipping_cancel_delivery":"Hủy giao hàng","error_payment_method_required":"Xin vui lòng chọn hình thức thanh toán cho đơn hàng này","error_payment_method_fail":"Hình thức thanh toán này chưa cập nhật. Vui lòng chọn hình thức thanh toán khác","error_payment_fail":"Đã có lỗi trong quá trình thanh toán","error_payment_address_required":"Xin vui lòng nhập vào địa chỉ liên lạc của bạn!","error_payment_receive_address_required":"Xin vui lòng nhập vào địa chỉ người nhận!","error_payment_fullname_required":"Xin vui lòng nhập vào họ tên người liên hệ","error_payment_receive_fullname_required":"Xin vui lòng nhập vào họ tên người nhận","error_payment_email_required":"Hãy nhập vào địa chỉ Email mà bạn đang sử dụng","error_payment_transport_not_exists":"Không tồn tại phương thức vận chuyển này","error_cart_product_not_found":"Không tìm thấy sản phẩm giỏ hàng","error_value_must_not_be_less_than_1":"Giá trị không được nhỏ hơn 1","error_transport_method_empty":"Vui lòng chọn phương thức vận chuyển cho đơn hàng này","error_payment_total_0":"Không thể chọn phương thức thanh toán online khi giá trị đơn hàng là 0đ","error_payment_warning_select":"Không có phương thức thanh toán trực tuyến phù hợp với đơn hàng hiện tại","error_payment_province_select":"Xin vui lòng chọn tỉnh\/thành","error_payment_district_select":"Xin vui lòng chọn quận\/huyện","error_payment_ward_select":"Xin vui lòng chọn phường\/xã","error_shipping_warning_select":"Không có phương thức vận chuyển phù hợp với địa chỉ này","error_payment_shipping_rate_select":"Xin vui lòng chọn phương thức vận chuyển","error_payment_shipping_rate_not_valid":"Phương thức vận chuyển không hợp lệ","error_payment_city_name_required":"Xin vui lòng nhập vào tên thành phố","error_payment_postal_code_required":"Xin vui lòng nhập mã bưu chính","error_confirm_terms_invalid":"Bạn phải đồng ý với điều khoản trước khi thanh toán","coupon_used":"Sử dụng Coupon","point_used":"Sử dụng điểm thưởng","point_current_me":"Điểm thưởng hiện tại","voucher_used":"Sử dụng Voucher","coupon_input":"Nhập mã Coupon","voucher_input":"Nhập mã Voucher","coupon_button_apply":"Áp dụng","coupon_label":"Giảm giá Coupon","voucher_label":"Giảm giá Voucher","apply_code_coupon_success":"Áp dụng mã coupon thành công","apply_code_voucher_success":"Áp dụng mã voucher thành công","error_coupon_required":"Vui lòng nhập mã Coupon để sử dụng","error_voucher_required":"Vui lòng nhập mã Voucher để sử dụng","error_coupon_not_exists":"Mã Coupon không tồn tại!","error_coupon_not_accept":"Mã Coupon không hợp lệ!","error_coupon_not_used":"Mã Coupon đã hết lượt sử dụng!","error_coupon_total_product":"Giá trị đơn hàng tối thiểu không hợp lệ!","error_voucher_not_exists":"Mã Voucher không tồn tại!","error_voucher_not_accept":"Mã Voucher không hợp lệ!","error_voucher_not_used":"Mã Voucher đã hết lượt sử dụng!","error_coupon_apply_promotion":"Mã này không áp dụng đồng thời cùng chương trình khuyến mãi","show_more":"Xem thêm","show_less":"Thu gọn","product_in_of_stock":"Còn hàng","product_out_of_stock":"Hết hàng","product_viewed_confrim_remove":"Bạn chắc chắn muốn xóa sản phẩm này khỏi danh sách đã xem","product_viewed_confrim_remove_success":"Xóa sản phẩm khỏi danh sách đã xem thành công","product_viewed_confrim_remove_fail":"Xóa sản phẩm khỏi danh sách đã xem thất bại","product_compare_add_success":"Sản phẩm đã được thêm vào so sánh","product_compare_add_fail":"Thêm sản phẩm vào so sánh thất bại","product_compare_confirm_delete":"Bạn chắc chắn muốn xóa sản phẩm này khỏi danh sách so sánh","product_compare_confirm_delete_all":"Bạn chắc chắn muốn xóa tất cả sản phẩm này khỏi danh sách so sánh","product_compare_delete_success":"Xóa sản phẩm khỏi danh sách so sánh thành công","product_compare_delete_success_fail":"Xóa sản phẩm khỏi danh sách so sánh thất bại","add_favorite_success":"Thêm vào danh sách yêu thích thành công","add_favorite_fail":"Thêm vào danh sách yêu thích thất bại","product_favorite_confrim_remove":"Bạn chắc chắn muốn xóa sản phẩm này khỏi danh sách yêu thích","remove_favorite_success":"Xóa sản phẩm khỏi danh sách yêu thích thành công","remove_favorite_fail":"Xóa sản phẩm khỏi danh sách yêu thích thất bại","error_login_required":"Đăng nhập để thực hiện thao tác này","error_product_exists":"Sản phẩm đã tồn tại","error_product_not_found":"Không tìm thấy sản phẩm trên hệ thống","product_content_expand":"Xem thêm nội dung","product_content_collapse":"Ẩn bớt nội dung","title_order":"Đơn hàng","shipping_to":"Vận chuyển tới","promotion":"Khuyến mãi","order_expires_view":"Đơn hàng hết hạn xem","order_into_money":"Thành tiền","order_price_temporary":"Tạm tính","order_total_product":"Tổng tiền hàng","order_vat":"VAT","payment_method":"Hình thức thanh toán","delivery_method":"Hình thức giao hàng","error_order_not_found":"Không tìm thấy đơn hàng trong hệ thống. Bạn vui lòng làm mới lại website","error_content_lenght_must_be_than_10":"Nội dung phải lớn hơn 9 ký tự","error_add_member_success":"Gửi câu hỏi thành công.","error_add_member_fail":"Gửi câu hỏi thất bại.","code_product":"Mã sản phẫm","date_order":"Ngày giờ đặt hàng","receive_at_the_shop":"Đến nhận hàng trực tiếp tại cửa hàng","info_store_address":"Thông tin cửa hàng","delivery_to_your_place":"Giao hàng tận nơi","cart_code":"Mã đơn hàng","note_send_mail_order":"Nếu Anh\/chị có bất kỳ câu hỏi nào, xin liên hệ với chúng tôi qua mail","admin_shop":"Ban quản trị cửa hàng","transfer_information":"Thông tin chuyển khoản","order_shipping_to":"Đơn hàng sẽ được giao đến","notify_order_receive_and_contact_customer":"Đơn hàng của Anh\/Chị đã được tiếp nhận, chúng tôi sẽ nhanh chóng liên hệ với Anh\/Chị.","cart_discount":"Giảm giá","add_cart":"Thêm vào giỏ hàng","buy_more":"Mua thêm","send_product_reviews_success":"Gửi đánh giá sản phẩm thành công","send_product_reviews_error":"Gửi đánh giá sản phẩm thất bại","empty_product_id_error":"Sản phẩm rỗng","error_customer_write_review_consecutive":"Quý khách vui lòng đánh giá sau 5 phút","used_point":"Sử dụng điểm thưởng","look_up_order":"Tra cứu đơn hàng","status_order":"Trạng thái đơn hàng","no_exits_order":"Không tồn tại đơn hàng","result_look_up":"Kết quả tra cứu","look_up":"Tra cứu","product":"Sản phẩm","service":"Dịch vụ","copy_content_success":"Sao chép thành công","subject_title_send_mail":"Thông tin đặt hàng - MĐH","from":"từ","payment_method_unknown":"Không xác định","status_order_new":"Đơn hàng mới","status_order_accepted_processing":"Đang xử lý","status_order_pending":"Chờ xuất hàng","status_order_out_stock":"Xuất hàng","status_order_completed":"Hoàn thành","status_order_cancel":"Hủy đơn hàng","status_paid":"Đã thanh toán","status_unpaid":"Chờ thanh toán","method":"Phương thức","confirm":"Xác nhận","bank":"Ngân hàng","account_no":"Số tài khoản","content":"Nội dung","number_money":"Số tiền","summary_order":"Tóm tắt đơn hàng","selected_country":"Quốc gia","error_country_empty":"Quốc gia không thể trống","default":"Mặc định","product_payment_qr":"Chuyển khoản qua QR Code","order_not_found":"Không tìm thấy đơn hàng","cart_payment_success":"Thanh toán thành công","cart_payment_fail":"Thanh toán thất bại","cart_payment_welcome":"Xin chào: Anh\/Chị","cart_payment_thank":"Cảm ơn Anh\/Chị đã đặt hàng trên website của chúng tôi.","cart_payment_noti_success":"Giao dịch thanh toán đơn hàng của Anh\/Chị đã thành công. Mã đơn hàng của Anh\/Chị là:","cart_payment_order_fail":"Số đơn hàng của Anh\/Chị là:","cart_payment_order_cus_noti":"Giao dịch của Anh\/Chị","cart_payment_order_status":"không thành công","cart_payment_phone":"Điện thoại hỗ trợ:","cart_payment_email":"Email hỗ trợ:","cart_payment_back_home":"Trở về trang chủ trong","cart_payment_contact":"Vui lòng kiểm tra lại thông tin thanh toán hoặc liên hệ với chúng tôi để biết thêm thông tin chi tiết.","cart_error_no":"Mã lỗi","result_payment_online":"Kết quả thanh toán online đơn hàng","you_have_just_made_online_payment_transaction_for_your_order":"Anh\/Chị vừa thực hiện giao dịch thanh toán online cho đơn hàng:","status_transaction":"Trạng thái giao dịch:","if_you_any_question_please_contact_us_via_mail":"Nếu Anh\/chị có bất kỳ câu hỏi nào, vui lòng liên hệ với chúng tôi qua mail"}

{"id":3678842,"name":"Maskless Lithography System DWL 2000 GS \/ DWL 4000 GS - Heidelberg Instruments","desc":"The DWL 2000 GS \/ 4000 GS meets industrial standards, supporting CAD export with up to 1023 grayscale levels. Proprietary Grayscale technology from Heidelberg Instruments enables the fabrication of 2.5D structures and microlenses with surface roughness down to 5nm. An optimal solution for manufacturing holograms, light diffusers, and Fresnel lenses in nanophotonics and micro-optics research.<\/p>","content":"<h3>Key Features<\/h3><ul><li>Fixed optical system, real-time autofocus, and high-end frictionless air-bearing XY stage.<\/li><li>High-resolution interferometer continuously monitors stage position.<\/li><li>Advanced climate control, temperature stability of ±0.1°C, ISO 4 environment.<\/li><li>Integrated CCD camera and macro camera for effortless alignment.<\/li><li>Supports 4 write modes to optimize performance according to specific applications.<\/li><li>Generates complex structures directly from CAD files (DXF, BMP, STL, X,Y,Z-ASCII) with up to 1023 grayscale levels.<\/li><li>Comprehensive software: manipulate and merge CAD files, design complex patterns, and optimize structures.<\/li><\/ul><h3>Detailed Description<\/h3><h4>Technology &amp; Principle<\/h4>The DWL 2000 GS \/ 4000 GS is a Grayscale laser lithography system utilizing 1023 gray levels (unlike traditional binary lithography). 3D CAD data maps directly to laser intensity, enabling the fabrication of continuous 2.5D structures (microlens arrays, blazed gratings) in a single step.<\/p>&nbsp;<\/p><h4>Binary lithography requires multiple masks and alignment steps, leading to overlay errors. For microlenses\/holograms, old methods take weeks due to mask design, manufacturing, and repetitive alignment. Photomask costs are extremely high for complex structures. Furthermore, standard software lacks direct 3D CAD to laser signal conversion, causing geometric distortions.<\/h4>A single-step grayscale process saves cost and mask manufacturing time, making it faster than e-beam lithography. It achieves ultra-smooth surfaces (5nm roughness). The software imports STL\/DXF\/BMP files for automatic mapping and fully supports GenISys BEAMER.<\/p>&nbsp;<\/p><h4>Integration &amp; Expansion<\/h4>Easily integrates with profilometers and microscopes; compatible with AZ 1500 and AZ 4562 photoresists; cleanroom-ready.<\/p><h3>Technical Specifications<\/h3><figure class=\"table\"><table style=\";\"><thead><tr><th style=\"background-color:#F2F2F2;border:1.0pt solid black;padding:3.75pt;vertical-align:top;width:234.0pt;\">Parameter<\/span><\/th><th style=\"background-color:#F2F2F2;border-bottom-style:solid;border-color:black;border-left-style:none;border-right-style:solid;border-top-style:solid;border-width:1.0pt;padding:3.75pt;vertical-align:top;width:234.0pt;\">Value<\/span><\/p>&nbsp;<\/span><\/p><\/th><\/tr><\/thead><tbody><tr><td style=\"border-bottom-style:solid;border-color:black;border-left-style:solid;border-right-style:solid;border-top-style:none;border-width:1.0pt;padding:3.75pt;vertical-align:top;width:234.0pt;\">Maximum exposure area<\/td><td style=\"border-bottom:1.0pt solid black;border-left-style:none;border-right:1.0pt solid black;border-top-style:none;padding:3.75pt;vertical-align:top;width:234.0pt;\">200 × 200 mm² (2000 GS), 400 × 400 mm² (4000 GS)<\/td><\/tr><tr><td style=\"border-bottom-style:solid;border-color:black;border-left-style:solid;border-right-style:solid;border-top-style:none;border-width:1.0pt;padding:3.75pt;vertical-align:top;width:234.0pt;\">Overlay accuracy (3σ, over 8\"x8\")<\/td><td style=\"border-bottom:1.0pt solid black;border-left-style:none;border-right:1.0pt solid black;border-top-style:none;padding:3.75pt;vertical-align:top;width:234.0pt;\">300 nm<\/td><\/tr><tr><td style=\"border-bottom-style:solid;border-color:black;border-left-style:solid;border-right-style:solid;border-top-style:none;border-width:1.0pt;padding:3.75pt;vertical-align:top;width:234.0pt;\">Write speed (maximum)<\/td><td style=\"border-bottom:1.0pt solid black;border-left-style:none;border-right:1.0pt solid black;border-top-style:none;padding:3.75pt;vertical-align:top;width:234.0pt;\">1250 mm²\/min<\/td><\/tr><tr><td style=\"border-bottom-style:solid;border-color:black;border-left-style:solid;border-right-style:solid;border-top-style:none;border-width:1.0pt;padding:3.75pt;vertical-align:top;width:234.0pt;\">Maximum throughput<\/td><td style=\"border-bottom:1.0pt solid black;border-left-style:none;border-right:1.0pt solid black;border-top-style:none;padding:3.75pt;vertical-align:top;width:234.0pt;\">5600 mJ\/cm² (Mode I)<\/td><\/tr><tr><td style=\"border-bottom-style:solid;border-color:black;border-left-style:solid;border-right-style:solid;border-top-style:none;border-width:1.0pt;padding:3.75pt;vertical-align:top;width:234.0pt;\">Autofocus compensation range<\/td><td style=\"border-bottom:1.0pt solid black;border-left-style:none;border-right:1.0pt solid black;border-top-style:none;padding:3.75pt;vertical-align:top;width:234.0pt;\">80 μm<\/td><\/tr><tr><td style=\"border-bottom-style:solid;border-color:black;border-left-style:solid;border-right-style:solid;border-top-style:none;border-width:1.0pt;padding:3.75pt;vertical-align:top;width:234.0pt;\">Light source<\/td><td style=\"border-bottom:1.0pt solid black;border-left-style:none;border-right:1.0pt solid black;border-top-style:none;padding:3.75pt;vertical-align:top;width:234.0pt;\">Laser diode, 405 nm<\/td><\/tr><tr><td style=\"border-bottom-style:solid;border-color:black;border-left-style:solid;border-right-style:solid;border-top-style:none;border-width:1.0pt;padding:3.75pt;vertical-align:top;width:234.0pt;\">Substrate thickness<\/td><td style=\"border-bottom:1.0pt solid black;border-left-style:none;border-right:1.0pt solid black;border-top-style:none;padding:3.75pt;vertical-align:top;width:234.0pt;\">0 – 12 mm<\/td><\/tr><\/tbody><\/table><\/figure>","image_url":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/datafiles\/39825\/upload\/images\/Product_image_MLA300.webp?t=1779260713","image_thumb_url":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/datafiles\/39825\/upload\/thumb_images\/Product_image_MLA300.webp","tags":["ADST MLA300 MasklessLithography Semiconductor MEMS HeidelbergInstruments"],"count_view":47,"seo_name":"maskless-lithography-system-dwl-2000-gs-dwl-4000-gs-heidelberg-instruments-1779261685","date_update":1779338850,"date_created_format":"","meta_title":"Quang khắc không mặt nạ nhiệt, lithography chế tạo cấu trúc 3D nano","meta_desc":"GS grayscale lithography systems create 2.5D structures, microlenses, and holograms. 5nm roughness, 1023 gray levels. Contact ADST.","meta_keyword":"Grayscale lithography,grayscale lithography system,grayscale laser lithography,microlens fabrication,hologram manufacturing,microoptics,25D lithography,maskless pattern generator,maskless lithography,semiconductor manufacturing,MLA 300","sku":"","code":"","rate":0,"image_2_url":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/datafiles\/39825\/upload\/images\/Product_image_MLA300.webp?t=1779260713","image_2_thumb_url":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/datafiles\/39825\/upload\/thumb_images\/Product_image_MLA300.webp","time_promotion":false,"date_sale":[],"status_order":7,"variant_options":[],"variants":[],"variantIdDefault":0,"image_list":[{"image_url":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/datafiles\/39825\/upload\/images\/Product_image_MLA300.webp","image_thumb_url":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/datafiles\/39825\/upload\/\/thumb_images\/Product_image_MLA300.webp"}],"product_articles":[],"total_point_review":0,"link_youtube":"https:\/\/www.youtube.com\/embed\/","video_url":"","booking_url":"javascript:void(0)","file_url":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/datafiles\/39825\/upload\/images\/Product_image_MLA300.webp","config_panorama":[],"brand_name":"Heidelberg Instruments","qr_code":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/maskless-lithography-system-dwl-2000-gs-dwl-4000-gs-heidelberg-instruments-1779261685.html","promotion_name":"","option":{"3":"Sản phẩm đặt biệt"},"status_inventory_value":1,"status_inventory":"Còn hàng","price":false,"price_final":false,"percent_discount":false,"price_discount":false,"company_logo":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/datafiles\/39825\/upload\/files\/ADST%20logo%20final%20dark%20background.png","company_name":"ADST - An Dong Technology Join Stock Company","company_email":"info@adst.vn","company_phone":"(+84) 24 3201 6056","company_address":"7F, Viwaseen Tower, 48 To Huu, Trung Van ward, Nam Tu Liem district, Hanoi, Vietnam","company_fax":"","date_now":1779361224,"company_tags":["ADST","ADST Vietnam","An Dong","An Dong Joint Stock Company","An Dong Technology","ADTECHNOLOGY","scientific and technical equipment","laboratory equipment","RD equipment","hightech equipment","materials science","life sciences","earth sciences","semiconductor electronics","semiconductor equipment","scientific and technical equipment supply","scientific and technical equipment distribution","reputable scientific and technical equipment supplier","longstanding scientific and technical equipment supplier","leading scientific and technical equipment supplier","research equipment","university equipment","laboratory solutions","scientific solution consulting","scientific equipment installation","scientific equipment maintenance and repair","hightech equipment operation training"],"search_keyword":null,"facebook_comment":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/he-thong-quang-khac-khong-mat-na-san-xuat-khoi-luong-lon-mla-300.html","breadscrumb":[{"url":"https:\/\/www.adtechnology.vn","name":"Home","icon":"","active":false},{"url":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/etching-photolithography.html","name":"Etching - Photolithography","icon":"","active":true}],"list_products_tmp":[],"list_section":[{"id":648466,"name":"Đầu trang - Header 01","seo_name":"#w30s-section-648466","url":"#w30s-section-648466"},{"id":648511,"name":"Đầu trang - Header 01","seo_name":"#w30s-section-648511","url":"#w30s-section-648511"},{"id":263231,"name":"Content - 26\/4\/2023 - Nghiệm thu","seo_name":"#w30s-section-263231","url":"#w30s-section-263231"},{"id":261916,"name":"Footer","seo_name":"#w30s-section-261916","url":"#w30s-section-261916"}],"type_page":4,"id_page":136575,"widget_15109877":{"content_data":{"content":" "}},"widget_15109875":{"content_data":[]},"widget_15110831":{"content_data":[{"id":39852,"title":"American","code":"us","is_expires":false,"is_active":0},{"id":39851,"title":"Viet Nam","code":"vn","is_expires":false,"is_active":1}]},"widget_15110827":{"content_data":{"content":"Liên hệ"}},"widget_6938608":{"content_data":{"content":"PRODUCTS"}},"widget_6484472":{"content_data":{"content":"Xem thêm"}},"widget_6484468":{"content_data":[{"id":3679039,"name":"Hệ thống Quang khắc không mặt nạ đầu dò nhiệt NanoFrazor","desc":"NanoFrazor dùng công nghệ khắc nhiệt không mặt nạ (t-SPL) với đầu dò siêu nhọn, tạo cấu trúc nano chính xác cao, không cần chùm điện tử hay mặt nạ đắt tiền. Độ sâu khắc sai số &lt;1nm, tích hợp kiểm tra in-situ, hỗ trợ grayscale 3D cho quang tử nano, cảm biến lượng tử, màng sinh học. Module Decapede 10 đầu dò giúp tăng thông lượng gấp 10 lần.<\/span><\/p>","content":"Đặc điểm chính&nbsp;<\/strong><\/span><\/p>Closed‑loop lithography – Kiểm soát độ sâu thời gian thực, sai số &lt;1 nm, tạo grayscale chính xác.<\/span><\/p>In‑situ inspection&nbsp;– Chụp ảnh cấu trúc ngay sau khắc bằng chính đầu dò, xác nhận tức thì.<\/span><\/p>Grayscale nanolithography – Tạo cấu trúc 3D\/2.5D cho quang tử, lượng tử, khung tế bào.<\/span><\/p>Hybrid mix &amp; match – Kết hợp laser (DLS) gia công vùng rộng tốc độ cao với t‑SPL cho chi tiết nano.<\/span><\/p>Module Decapede – 10 đầu dò độc lập, tăng thông lượng 10 lần, độ phân giải &lt;50 nm.<\/span><\/p>Markerless overlay &amp; damage‑free&nbsp;– Căn chỉnh chính xác không cần marker, không hỏng vật liệu nhạy (2D, nanowire…).<\/span><\/p>&nbsp;<\/p>Mô tả chi tiết<\/strong><\/span><\/p>Công nghệ &amp; nguyên lý<\/u><\/span><\/p>NanoFrazor dùng đầu dò nhiệt đốt nóng để bay hơi cản quang PPA, không tái lắng đọng. Vừa khắc vừa chụp ảnh bề mặt (in-situ imaging), điều khiển khép kín (closed-loop), đảm bảo độ sâu chính xác đến nanomet. Không proximity effect, không cần chân không cao.<\/span><\/p>Hạn chế của lithography truyền thống<\/u><\/span><\/p>Chùm điện tử năng lượng cao dễ phá hủy vật liệu 2D (MoS₂), nanowire.<\/span><\/p>Tạo cấu trúc 3D bằng e-beam cần nhiều bước khắc xếp chồng, căn chỉnh khó, sai số lớn.<\/span><\/p>Ưu điểm của hệ thống maskless lithography NanoFrazor&nbsp;<\/u><\/span><\/p>Damage‑free&nbsp;– dùng nhiệt, không hư hại vật liệu 2D, nanowire.<\/span><\/p>In‑situ inspection&nbsp;– chụp ảnh ngay bằng đầu dò, không cần thiết bị riêng.<\/span><\/p>Grayscale chính xác &lt;1nm – closed‑loop cho phép tạo màng tế bào, grating, waveguide chỉ một bước.<\/span><\/p>Markerless overlay &amp; auto‑stitching&nbsp;– căn chỉnh không cần dấu chuẩn, lý tưởng cho transistor đơn lớp.<\/span><\/p>Tích hợp &amp; mở rộng<\/u><\/span><\/p>Hybrid DLS (laser vùng rộng µm + t-SPL nano). Glovebox tùy chọn cho mẫu nhạy khí. Quy trình transfer chuẩn (lift-off, etching, molding) với PPA + PMMA, PMMA\/MA, PMGI.<\/span><\/p>&nbsp;<\/p>Thông số kỹ thuật&nbsp;<\/strong><\/span><\/p><figure class=\"table\" style=\"width:100.0%;\"><table style=\";\"><tbody><tr><td style=\"border:1.0pt solid windowtext;padding:0in 5.4pt;vertical-align:top;width:35.92%;\">Parameter<\/span><\/p><\/td><td style=\"border-bottom-style:solid;border-color:windowtext;border-left-style:none;border-right-style:solid;border-top-style:solid;border-width:1.0pt;padding:0in 5.4pt;vertical-align:top;width:64.08%;\">Value<\/span><\/p><\/td><\/tr><tr><td style=\"border-bottom-style:solid;border-color:windowtext;border-left-style:solid;border-right-style:solid;border-top-style:none;border-width:1.0pt;padding:0in 5.4pt;vertical-align:top;width:35.92%;\">Độ phân giải (lateral)<\/span><\/p><\/td><td style=\"border-bottom:1.0pt solid windowtext;border-left-style:none;border-right:1.0pt solid windowtext;border-top-style:none;padding:0in 5.4pt;vertical-align:top;width:64.08%;\">10nm<\/span><\/p><\/td><\/tr><tr><td style=\"border-bottom-style:solid;border-color:windowtext;border-left-style:solid;border-right-style:solid;border-top-style:none;border-width:1.0pt;padding:0in 5.4pt;vertical-align:top;width:35.92%;\">Diện tích phơi sáng tối đa&nbsp;<\/span><\/p><\/td><td style=\"border-bottom:1.0pt solid windowtext;border-left-style:none;border-right:1.0pt solid windowtext;border-top-style:none;padding:0in 5.4pt;vertical-align:top;width:64.08%;\">150 × 150 mm²&nbsp;<\/span><\/p><\/td><\/tr><tr><td style=\"border-bottom-style:solid;border-color:windowtext;border-left-style:solid;border-right-style:solid;border-top-style:none;border-width:1.0pt;padding:0in 5.4pt;vertical-align:top;width:35.92%;\">Độ chính xác chồng lớp<\/span><\/p><\/td><td style=\"border-bottom:1.0pt solid windowtext;border-left-style:none;border-right:1.0pt solid windowtext;border-top-style:none;padding:0in 5.4pt;vertical-align:top;width:64.08%;\">25nm<\/span><\/p><\/td><\/tr><tr><td style=\"border-bottom-style:solid;border-color:windowtext;border-left-style:solid;border-right-style:solid;border-top-style:none;border-width:1.0pt;padding:0in 5.4pt;vertical-align:top;width:35.92%;\">Nguồn sáng&nbsp;<\/span><\/p><\/td><td style=\"border-bottom:1.0pt solid windowtext;border-left-style:none;border-right:1.0pt solid windowtext;border-top-style:none;padding:0in 5.4pt;vertical-align:top;width:64.08%;\">Không dùng laser – Dùng đầu dò nhiệt (heated tip)<\/span><\/p><\/td><\/tr><tr><td style=\"border-bottom-style:solid;border-color:windowtext;border-left-style:solid;border-right-style:solid;border-top-style:none;border-width:1.0pt;padding:0in 5.4pt;vertical-align:top;width:35.92%;\">Cơ chế lấy nét&nbsp;<\/span><\/p><\/td><td style=\"border-bottom:1.0pt solid windowtext;border-left-style:none;border-right:1.0pt solid windowtext;border-top-style:none;padding:0in 5.4pt;vertical-align:top;width:64.08%;\">In‑situ topography imaging bằng chính đầu dò<\/span><\/p><\/td><\/tr><tr><td style=\"border-bottom-style:solid;border-color:windowtext;border-left-style:solid;border-right-style:solid;border-top-style:none;border-width:1.0pt;padding:0in 5.4pt;vertical-align:top;width:35.92%;\">Độ dày đế<\/span><\/p><\/td><td style=\"border-bottom:1.0pt solid windowtext;border-left-style:none;border-right:1.0pt solid windowtext;border-top-style:none;padding:0in 5.4pt;vertical-align:top;width:64.08%;\">Lên đến 10mm<\/span><\/p><\/td><\/tr><tr><td style=\"border-bottom-style:solid;border-color:windowtext;border-left-style:solid;border-right-style:solid;border-top-style:none;border-width:1.0pt;padding:0in 5.4pt;vertical-align:top;width:35.92%;\">Loại cản quang&nbsp;<\/span><\/p><\/td><td style=\"border-bottom:1.0pt solid windowtext;border-left-style:none;border-right:1.0pt solid windowtext;border-top-style:none;padding:0in 5.4pt;vertical-align:top;width:64.08%;\">PPA, PMMA, PMMA\/MA, PMGI<\/span><\/p><\/td><\/tr><\/tbody><\/table><\/figure>","image_url":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/datafiles\/39825\/upload\/images\/product\/NanoFrazor%281%29.jpg","image_thumb_url":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/datafiles\/39825\/upload\/thumb_images\/product\/NanoFrazor%281%29.jpg","tags":["NanoFrazor","thermal scanning probe lithography","tSPL"],"count_view":18,"seo_name":"he-thong-quang-khac-khong-mat-na-dau-do-nhiet-nanofrazor","date_update":1779339650,"date_created_format":"","meta_title":"Quang khắc không mặt nạ đầu dò nhiệt NanoFrazor tạo cấu trúc 3D nano","meta_desc":"NanoFrazor sử dụng công nghệ t-SPL tạo cấu trúc nano sai số <1nm, không e-beam, không mask. Grayscale chính xác, in-situ inspection, module 10 đầu dò tăng thông lượng 10 lần. Liên hệ ADST.","meta_keyword":"máy quang khắc không mặt nạ nhiệt,lithography đầu dò nhiệt,chế tạo cấu trúc 3D nano,grayscale lithography cho quang tử,damagefree lithography,khắc vật liệu 2D MoS₂","sku":"","code":"","rate":0,"image_2_url":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/datafiles\/39825\/upload\/images\/product\/NanoFrazor%281%29.jpg","image_2_thumb_url":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/datafiles\/39825\/upload\/thumb_images\/product\/NanoFrazor%281%29.jpg","time_promotion":false,"date_sale":[],"status_order":7,"variant_options":[],"variants":[],"variantIdDefault":0,"image_list":[{"image_url":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/datafiles\/39825\/upload\/images\/product\/NanoFrazor%281%29.jpg","image_thumb_url":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/datafiles\/39825\/upload\/\/thumb_images\/product\/NanoFrazor%281%29.jpg"}],"product_articles":[],"total_point_review":0,"link_youtube":"https:\/\/www.youtube.com\/embed\/","video_url":"","booking_url":"javascript:void(0)","brand_name":"Heidelberg Instruments","qr_code":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/he-thong-quang-khac-khong-mat-na-dau-do-nhiet-nanofrazor.html","promotion_name":"","option":{"3":"Sản phẩm đặt biệt"},"status_inventory_value":1,"status_inventory":"Còn hàng","price":false,"price_final":false,"percent_discount":false,"price_discount":false},{"id":3678835,"name":"Maskless Lithography System DWL 2000 GS \/ DWL 4000 GS - Heidelberg Instruments","desc":"The DWL 2000 GS \/ 4000 GS meets industrial standards, supporting CAD export with up to 1023 grayscale levels. Proprietary Grayscale technology from Heidelberg Instruments enables the fabrication of 2.5D structures and microlenses with surface roughness down to 5nm. An optimal solution for manufacturing holograms, light diffusers, and Fresnel lenses in nanophotonics and micro-optics research.<\/p>","content":"<h3>Key Features<\/h3><ul><li>Fixed optical system, real-time autofocus, and high-end frictionless air-bearing XY stage.<\/li><li>High-resolution interferometer continuously monitors stage position.<\/li><li>Advanced climate control, temperature stability of ±0.1°C, ISO 4 environment.<\/li><li>Integrated CCD camera and macro camera for effortless alignment.<\/li><li>Supports 4 write modes to optimize performance according to specific applications.<\/li><li>Generates complex structures directly from CAD files (DXF, BMP, STL, X,Y,Z-ASCII) with up to 1023 grayscale levels.<\/li><li>Comprehensive software: manipulate and merge CAD files, design complex patterns, and optimize structures.<\/li><\/ul><h3>Detailed Description<\/h3><h4>Technology &amp; Principle<\/h4>The DWL 2000 GS \/ 4000 GS is a Grayscale laser lithography system utilizing 1023 gray levels (unlike traditional binary lithography). 3D CAD data maps directly to laser intensity, enabling the fabrication of continuous 2.5D structures (microlens arrays, blazed gratings) in a single step.<\/p>&nbsp;<\/p><h4>Binary lithography requires multiple masks and alignment steps, leading to overlay errors. For microlenses\/holograms, old methods take weeks due to mask design, manufacturing, and repetitive alignment. Photomask costs are extremely high for complex structures. Furthermore, standard software lacks direct 3D CAD to laser signal conversion, causing geometric distortions.<\/h4>A single-step grayscale process saves cost and mask manufacturing time, making it faster than e-beam lithography. It achieves ultra-smooth surfaces (5nm roughness). The software imports STL\/DXF\/BMP files for automatic mapping and fully supports GenISys BEAMER.<\/p>&nbsp;<\/p><h4>Integration &amp; Expansion<\/h4>Easily integrates with profilometers and microscopes; compatible with AZ 1500 and AZ 4562 photoresists; cleanroom-ready.<\/p><h3>Technical Specifications<\/h3><figure class=\"table\"><table style=\";\"><thead><tr><th style=\"background-color:#F2F2F2;border:1.0pt solid black;padding:3.75pt;vertical-align:top;width:234.0pt;\">Parameter<\/span><\/th><th style=\"background-color:#F2F2F2;border-bottom-style:solid;border-color:black;border-left-style:none;border-right-style:solid;border-top-style:solid;border-width:1.0pt;padding:3.75pt;vertical-align:top;width:234.0pt;\">Value<\/span><\/p>&nbsp;<\/span><\/p><\/th><\/tr><\/thead><tbody><tr><td style=\"border-bottom-style:solid;border-color:black;border-left-style:solid;border-right-style:solid;border-top-style:none;border-width:1.0pt;padding:3.75pt;vertical-align:top;width:234.0pt;\">Maximum exposure area<\/td><td style=\"border-bottom:1.0pt solid black;border-left-style:none;border-right:1.0pt solid black;border-top-style:none;padding:3.75pt;vertical-align:top;width:234.0pt;\">200 × 200 mm² (2000 GS), 400 × 400 mm² (4000 GS)<\/td><\/tr><tr><td style=\"border-bottom-style:solid;border-color:black;border-left-style:solid;border-right-style:solid;border-top-style:none;border-width:1.0pt;padding:3.75pt;vertical-align:top;width:234.0pt;\">Overlay accuracy (3σ, over 8\"x8\")<\/td><td style=\"border-bottom:1.0pt solid black;border-left-style:none;border-right:1.0pt solid black;border-top-style:none;padding:3.75pt;vertical-align:top;width:234.0pt;\">300 nm<\/td><\/tr><tr><td style=\"border-bottom-style:solid;border-color:black;border-left-style:solid;border-right-style:solid;border-top-style:none;border-width:1.0pt;padding:3.75pt;vertical-align:top;width:234.0pt;\">Write speed (maximum)<\/td><td style=\"border-bottom:1.0pt solid black;border-left-style:none;border-right:1.0pt solid black;border-top-style:none;padding:3.75pt;vertical-align:top;width:234.0pt;\">1250 mm²\/min<\/td><\/tr><tr><td style=\"border-bottom-style:solid;border-color:black;border-left-style:solid;border-right-style:solid;border-top-style:none;border-width:1.0pt;padding:3.75pt;vertical-align:top;width:234.0pt;\">Maximum throughput<\/td><td style=\"border-bottom:1.0pt solid black;border-left-style:none;border-right:1.0pt solid black;border-top-style:none;padding:3.75pt;vertical-align:top;width:234.0pt;\">5600 mJ\/cm² (Mode I)<\/td><\/tr><tr><td style=\"border-bottom-style:solid;border-color:black;border-left-style:solid;border-right-style:solid;border-top-style:none;border-width:1.0pt;padding:3.75pt;vertical-align:top;width:234.0pt;\">Autofocus compensation range<\/td><td style=\"border-bottom:1.0pt solid black;border-left-style:none;border-right:1.0pt solid black;border-top-style:none;padding:3.75pt;vertical-align:top;width:234.0pt;\">80 μm<\/td><\/tr><tr><td style=\"border-bottom-style:solid;border-color:black;border-left-style:solid;border-right-style:solid;border-top-style:none;border-width:1.0pt;padding:3.75pt;vertical-align:top;width:234.0pt;\">Light source<\/td><td style=\"border-bottom:1.0pt solid black;border-left-style:none;border-right:1.0pt solid black;border-top-style:none;padding:3.75pt;vertical-align:top;width:234.0pt;\">Laser diode, 405 nm<\/td><\/tr><tr><td style=\"border-bottom-style:solid;border-color:black;border-left-style:solid;border-right-style:solid;border-top-style:none;border-width:1.0pt;padding:3.75pt;vertical-align:top;width:234.0pt;\">Substrate thickness<\/td><td style=\"border-bottom:1.0pt solid black;border-left-style:none;border-right:1.0pt solid black;border-top-style:none;padding:3.75pt;vertical-align:top;width:234.0pt;\">0 – 12 mm<\/td><\/tr><\/tbody><\/table><\/figure>","image_url":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/datafiles\/39825\/upload\/images\/Product_image_DWL4000GS.webp?t=1779260712","image_thumb_url":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/datafiles\/39825\/upload\/thumb_images\/Product_image_DWL4000GS.webp","tags":["Grayscale Maskless Lithography System DWL 2000 GS DWL 4000 GS Heidelberg Instruments","DWL 2000 GS DWL 4000 GS Grayscale Lithography","ADST"],"count_view":51,"seo_name":"maskless-lithography-system-dwl-2000-gs-dwl-4000-gs-heidelberg-instruments","date_update":1779338738,"date_created_format":"","meta_title":"Grayscale Maskless Lithography System DWL 2000 GS \/ DWL 4000 GS","meta_desc":"DWL 2000 GS and DWL 4000 GS grayscale lithography systems create 2.5D structures, microlenses, and holograms. 5nm roughness, 1023 gray levels. Contact ADST.","meta_keyword":"DWL 2000 GS,DWL 4000 GS,Grayscale lithography,grayscale lithography system,grayscale laser lithography,microlens fabrication,hologram manufacturing,microoptics,25D lithography,maskless pattern generator,maskless lithography,semiconductor manufacturing","sku":"","code":"","rate":0,"image_2_url":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/datafiles\/39825\/upload\/images\/Product_image_DWL4000GS.webp?t=1779260712","image_2_thumb_url":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/datafiles\/39825\/upload\/thumb_images\/Product_image_DWL4000GS.webp","time_promotion":false,"date_sale":[],"status_order":7,"variant_options":[],"variants":[],"variantIdDefault":0,"image_list":[{"image_url":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/datafiles\/39825\/upload\/images\/Product_image_DWL4000GS.webp","image_thumb_url":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/datafiles\/39825\/upload\/\/thumb_images\/Product_image_DWL4000GS.webp"}],"product_articles":[],"total_point_review":0,"link_youtube":"https:\/\/www.youtube.com\/embed\/","video_url":"","booking_url":"javascript:void(0)","brand_name":"Heidelberg Instruments","qr_code":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/maskless-lithography-system-dwl-2000-gs-dwl-4000-gs-heidelberg-instruments.html","promotion_name":"","option":{"3":"Sản phẩm đặt biệt"},"status_inventory_value":1,"status_inventory":"Còn hàng","price":false,"price_final":false,"percent_discount":false,"price_discount":false},{"id":3617151,"name":"Hệ thống quang khắc chùm ion Elionix","desc":"<ul>\n\t<li>\n\tEIS-200ERP (Elionix Ion Beam Etching\/Sputtering System):<\/b> Đ&acirc;y l&agrave; một hệ thống quang khắc\/ph&uacute;n xạ ch&ugrave;m ion, cho ph&eacute;p ăn m&ograve;n vật liệu ở cấp độ nano v&agrave; lắng đọng bằng c&aacute;ch sử dụng ch&ugrave;m ion ECR.<\/p>\n\t<\/li>\n\t<li>\n\tEIS-220P:<\/b> Một mẫu m&aacute;y mới hơn, cũng thuộc d&ograve;ng sản phẩm quang khắc\/ph&uacute;n xạ ch&ugrave;m ion ECR.<\/p>\n\t<\/li>\n<\/ul>\n","content":"<h3>Đặc điểm nổi bật<\/h3>\n\n<ul>\n\t<li>\n\tĂn m&ograve;n\/lắng đọng đa năng:<\/b> Một số mẫu như EIS-220P được trang bị hai s&uacute;ng ion, cho ph&eacute;p lu&acirc;n phi&ecirc;n thực hiện cả hai qu&aacute; tr&igrave;nh ăn m&ograve;n (etching) v&agrave; lắng đọng (deposition) m&agrave; kh&ocirc;ng cần th&aacute;o mẫu ra khỏi buồng ch&acirc;n kh&ocirc;ng, gi&uacute;p duy tr&igrave; m&ocirc;i trường sạch v&agrave; hiệu quả quy tr&igrave;nh.<\/p>\n\t<\/li>\n\t<li>\n\tSử dụng nhiều loại kh&iacute;:<\/b> M&aacute;y c&oacute; thể sử dụng cả kh&iacute; trơ (như Argon, Xenon) v&agrave; kh&iacute; hoạt h&oacute;a (như Oxy, CF4) l&agrave;m nguồn ion, cho ph&eacute;p thực hiện cả ăn m&ograve;n vật l&yacute; v&agrave; ăn m&ograve;n h&oacute;a học.<\/p>\n\t<\/li>\n\t<li>\n\tKiểm so&aacute;t g&oacute;c chiếu:<\/b> Cho ph&eacute;p điều chỉnh g&oacute;c chiếu ch&ugrave;m ion để tạo ra c&aacute;c cấu tr&uacute;c c&oacute; th&agrave;nh nghi&ecirc;ng.<\/p>\n\t<\/li>\n<\/ul>\n","image_url":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/datafiles\/39825\/upload\/files\/Elionix%20EIS-220P.png","image_thumb_url":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/datafiles\/39825\/upload\/thumb_files\/Elionix%20EIS-220P.png","tags":"","count_view":258,"seo_name":"he-thong-quang-khac-chum-ion-elionix","date_update":"1756182139","date_created_format":"","meta_title":"","meta_desc":"","meta_keyword":"","sku":"64220-64222-141017-3617151","code":"","rate":0,"image_2_url":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/datafiles\/39825\/upload\/files\/Elionix%20EIS-220P.png","image_2_thumb_url":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/datafiles\/39825\/upload\/thumb_files\/Elionix%20EIS-220P.png","time_promotion":false,"date_sale":[],"status_order":7,"variant_options":[{"id":63715,"name":"Application","code_color":"","display_order":1,"image":"","thumb_url":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/datafiles\/39825\/upload\/thumb_files\/ADST%20favicon%20Red.png","type":3,"options":[{"id":63716,"name":"Materials Sciences","code_color":"","display_order":1,"image":"","thumb_url":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/datafiles\/39825\/upload\/thumb_files\/ADST%20favicon%20Red.png","type":3},{"id":64220,"name":"Electronics - Semiconductors","code_color":"","display_order":4,"image":"","thumb_url":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/datafiles\/39825\/upload\/thumb_files\/ADST%20favicon%20Red.png","type":3}]},{"id":64221,"name":"Technique","code_color":"","display_order":2,"image":"","thumb_url":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/datafiles\/39825\/upload\/thumb_files\/ADST%20favicon%20Red.png","type":3,"options":[{"id":64787,"name":"Analysis and Measurement","code_color":"","display_order":3,"image":"","thumb_url":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/datafiles\/39825\/upload\/thumb_files\/ADST%20favicon%20Red.png","type":3},{"id":141012,"name":"Design, Synthesis and Fabrication","code_color":"","display_order":5,"image":"","thumb_url":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/datafiles\/39825\/upload\/thumb_files\/ADST%20favicon%20Red.png","type":3},{"id":64222,"name":"Surface treatment","code_color":"","display_order":6,"image":"","thumb_url":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/datafiles\/39825\/upload\/thumb_files\/ADST%20favicon%20Red.png","type":3}]},{"id":140780,"name":"Field of study","code_color":"","display_order":3,"image":"","thumb_url":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/datafiles\/39825\/upload\/thumb_files\/ADST%20favicon%20Red.png","type":3,"options":[{"id":141017,"name":"Physics","code_color":"","display_order":1,"image":"","thumb_url":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/datafiles\/39825\/upload\/thumb_files\/ADST%20favicon%20Red.png","type":3}]}],"variants":[{"status_inventory":1,"status_order":7,"id":826729,"product_id":3617151,"sku":"1755679086261","barcode":"","quantity":0,"quantity_alert":0,"price":0,"price_discount":0,"images":[],"display_order":0,"is_point":"","point":"","vat":"","weight":"","variant_options":{"63715":{"id":63716,"name":"Materials Sciences"},"64221":{"id":64787,"name":"Analysis and Measurement"},"140780":{"id":141017,"name":"Physics"}},"variant_option_name":"Materials Sciences-Analysis and Measurement-Physics","image":"","price_final":0,"price_final_format":"0 đ","price_format":"0 đ","price_discount_format":"0 đ","percent_discount":0,"date_sale":[],"percent_discount_format":"- 0%","price_discount_final_format":"0 đ"},{"status_inventory":1,"status_order":7,"id":827477,"product_id":3617151,"sku":"63716-141012-141017-3617151","barcode":"","quantity":0,"quantity_alert":0,"price":0,"price_discount":0,"images":[],"display_order":0,"is_point":"","point":"","vat":"","weight":"","variant_options":{"63715":{"id":63716,"name":"Materials Sciences"},"64221":{"id":141012,"name":"Design, Synthesis and Fabrication"},"140780":{"id":141017,"name":"Physics"}},"variant_option_name":"Materials Sciences-Design, Synthesis and Fabrication-Physics","image":"","price_final":0,"price_final_format":"0 đ","price_format":"0 đ","price_discount_format":"0 đ","percent_discount":0,"date_sale":[],"percent_discount_format":"- 0%","price_discount_final_format":"0 đ"},{"status_inventory":1,"status_order":7,"id":827478,"product_id":3617151,"sku":"63716-64222-141017-3617151","barcode":"","quantity":0,"quantity_alert":0,"price":0,"price_discount":0,"images":[],"display_order":0,"is_point":"","point":"","vat":"","weight":"","variant_options":{"63715":{"id":63716,"name":"Materials Sciences"},"64221":{"id":64222,"name":"Surface treatment"},"140780":{"id":141017,"name":"Physics"}},"variant_option_name":"Materials Sciences-Surface treatment-Physics","image":"","price_final":0,"price_final_format":"0 đ","price_format":"0 đ","price_discount_format":"0 đ","percent_discount":0,"date_sale":[],"percent_discount_format":"- 0%","price_discount_final_format":"0 đ"},{"status_inventory":1,"status_order":7,"id":827479,"product_id":3617151,"sku":"64220-64787-141017-3617151","barcode":"","quantity":0,"quantity_alert":0,"price":0,"price_discount":0,"images":[],"display_order":0,"is_point":"","point":"","vat":"","weight":"","variant_options":{"63715":{"id":64220,"name":"Electronics - Semiconductors"},"64221":{"id":64787,"name":"Analysis and Measurement"},"140780":{"id":141017,"name":"Physics"}},"variant_option_name":"Electronics - Semiconductors-Analysis and Measurement-Physics","image":"","price_final":0,"price_final_format":"0 đ","price_format":"0 đ","price_discount_format":"0 đ","percent_discount":0,"date_sale":[],"percent_discount_format":"- 0%","price_discount_final_format":"0 đ"},{"status_inventory":1,"status_order":7,"id":827480,"product_id":3617151,"sku":"64220-141012-141017-3617151","barcode":"","quantity":0,"quantity_alert":0,"price":0,"price_discount":0,"images":[],"display_order":0,"is_point":"","point":"","vat":"","weight":"","variant_options":{"63715":{"id":64220,"name":"Electronics - Semiconductors"},"64221":{"id":141012,"name":"Design, Synthesis and Fabrication"},"140780":{"id":141017,"name":"Physics"}},"variant_option_name":"Electronics - Semiconductors-Design, Synthesis and Fabrication-Physics","image":"","price_final":0,"price_final_format":"0 đ","price_format":"0 đ","price_discount_format":"0 đ","percent_discount":0,"date_sale":[],"percent_discount_format":"- 0%","price_discount_final_format":"0 đ"},{"status_inventory":1,"status_order":7,"id":827481,"product_id":3617151,"sku":"64220-64222-141017-3617151","barcode":"","quantity":0,"quantity_alert":0,"price":0,"price_discount":0,"images":[],"display_order":0,"is_point":"","point":"","vat":"","weight":"","variant_options":{"63715":{"id":64220,"name":"Electronics - Semiconductors"},"64221":{"id":64222,"name":"Surface treatment"},"140780":{"id":141017,"name":"Physics"}},"variant_option_name":"Electronics - Semiconductors-Surface treatment-Physics","image":"","price_final":0,"price_final_format":"0 đ","price_format":"0 đ","price_discount_format":"0 đ","percent_discount":0,"date_sale":[],"percent_discount_format":"- 0%","price_discount_final_format":"0 đ"}],"variantIdDefault":827481,"image_list":[{"image_url":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/datafiles\/39825\/upload\/files\/Elionix%20EIS-220P.png","image_thumb_url":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/datafiles\/39825\/upload\/\/thumb_files\/Elionix%20EIS-220P.png"}],"product_articles":[{"id":109856,"name":"Thông số kỹ thuật chính","desc":"","content":"<h3>Th&ocirc;ng số kỹ thuật ch&iacute;nh<\/h3>\n\n&nbsp;<\/p>\n\n<ul>\n\t<li>\n\tNguồn ion:<\/b> Nguồn ion loại cộng hưởng cyclotron điện tử (ECR).<\/p>\n\t<\/li>\n\t<li>\n\tKh&iacute; ion h&oacute;a:<\/b> C&oacute; thể sử dụng c&aacute;c loại kh&iacute; trơ (như Ar, Xe) v&agrave; kh&iacute; hoạt h&oacute;a (như O₂, CF₄).<\/p>\n\t<\/li>\n\t<li>\n\tĐiện &aacute;p gia tốc:<\/b> C&oacute; thể thay đổi li&ecirc;n tục từ 100 V<\/b> đến 3000 V<\/b>.<\/p>\n\t<\/li>\n\t<li>\n\tMật độ d&ograve;ng ion:<\/b> Đạt &ge; 1.5 mA\/cm&sup2;<\/b> (với Ar) v&agrave; &ge; 2.0 mA\/cm&sup2;<\/b> (với O₂) ở 2 kV.<\/p>\n\t<\/li>\n\t<li>\n\tĐường k&iacute;nh ch&ugrave;m tia:<\/b> Khoảng &Phi; 20 mm<\/b>.<\/p>\n\t<\/li>\n\t<li>\n\tK&iacute;ch thước mẫu:<\/b> Hỗ trợ tối đa wafer 4 inch<\/b>.<\/p>\n\t<\/li>\n<\/ul>\n"},{"id":109857,"name":"Ứng dụng","desc":"","content":"<h3>Ứng dụng<\/h3>\n\n<ul>\n\t<li>\n\tTạo cấu tr&uacute;c nano:<\/b> Khắc c&aacute;c mẫu nanomet như đường v&agrave; khoảng trống (Line &amp; Space), c&aacute;c cấu tr&uacute;c trụ với đường k&iacute;nh nhỏ tới 35 nm<\/b>.<\/p>\n\t<\/li>\n\t<li>\n\tVật liệu v&agrave; thiết bị quang học:<\/b> Tạo c&aacute;c mẫu c&oacute; độ s&acirc;u lớn, c&aacute;c cấu tr&uacute;c quang học như lưới nhiễu xạ (holographic pattern) với độ s&acirc;u l&ecirc;n tới 1050 nm<\/b>.<\/p>\n\t<\/li>\n\t<li>\n\tC&ocirc;ng nghệ b&aacute;n dẫn:<\/b> Chế tạo c&aacute;c cấu tr&uacute;c phức tạp như m&ocirc; h&igrave;nh n&acirc;ng (lift-off pattern) v&agrave; cấu tr&uacute;c T-gate.<\/p>\n\t<\/li>\n\t<li>\n\tNghi&ecirc;n cứu vật liệu:<\/b> Ăn m&ograve;n c&aacute;c vật liệu kh&oacute; như Pt v&agrave; Si.<\/p>\n\t<\/li>\n<\/ul>\n"}],"total_point_review":0,"link_youtube":"https:\/\/www.youtube.com\/embed\/","video_url":"","booking_url":"javascript:void(0)","brand_name":"Elionix","qr_code":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/he-thong-quang-khac-chum-ion-elionix.html","promotion_name":"","option":{"2":"Sản phẩm mới"},"status_inventory_value":1,"status_inventory":"Còn hàng","price":false,"price_final":false,"percent_discount":false,"price_discount":false},{"id":3610750,"name":"Plasma Enhanced Chemical Vaporator Deposition - PECVD","desc":"The PlasmaPro 80 is a compact, open-loading tool for plasma etch and deposition. It represents the next generation of plasma systems. This system is ideally suited for R&amp;D or small-scale production, capable of processing from the smallest wafer pieces up to 200mm wafers. Its open load design allows for fast wafer loading and unloading, making it ideal for research, prototyping, and low-volume production.<\/p>\n","content":"<ul>\n\t<li>Compact, small-footprint system that is easy to site and use, with no compromise on process quality .<\/li>\n\t<li>Multiple process technology configurations including RIE, ICP, PECVD, and RIE\/PE .<\/li>\n\t<li>Optimised electrode cooling results in excellent process control, wafer temperature uniformity, and flexibility .<\/li>\n\t<li>Advanced Auto Matching Unit (AMU) allows easy setup, fast matching over a wide range, and excellent RF transfer .<\/li>\n\t<li>Optional end-point detection systems like laser interferometry and Optical Emission Spectrometry (OES) for etch control .<\/li>\n\t<li>Modular gas control system with remote bypass facility, allowing up to 12 gas lines .<\/li>\n\t<li>User-friendly PC4000&trade; software provides clear user interface, process recipe management, continuous data logging (50ms), and is fully GEM\/SECS compatible .<\/li>\n\t<li>Low heat load and high energy efficiency.<\/li>\n<\/ul>\n","image_url":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/datafiles\/39825\/upload\/files\/PlasmaPro-80-PECVD-Operator.jpg?t=1752828898","image_thumb_url":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/datafiles\/39825\/upload\/thumb_files\/PlasmaPro-80-PECVD-Operator.jpg?t=1779261602","tags":["PlasmaPro80","Plasma etch","Plasma deposition","RIE","ICP","PECVD","thinfim","deposition"],"count_view":755,"seo_name":"plasma-enhanced-chemical-vaporator-deposition-pecvd","date_update":"1756119476","date_created_format":"","meta_title":"Plasma Enhanced Chemical Vaporator Deposition - PECVD","meta_desc":"The PlasmaPro 80 is a compact, open-loading tool for plasma etch and deposition. It represents the next generation of plasma systems. This system is ideally suited for R&D or small-scale production, capable of processing from the smallest wafer pieces up ","meta_keyword":"PlasmaPro 80, plasma etch, plasma deposition, RIE, ICP, PECVD, dry etch, silicon etch, III-V etch, DLC deposition, SiO2 etch, quartz etch, failure analysis, wafer processing, semiconductor equipment, Oxford Instruments, R&D plasma system, small-scale prod","sku":"1752828286504","code":"","rate":0,"image_2_url":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/datafiles\/39825\/upload\/files\/PlasmaPro-80-PECVD-Operator.jpg?t=1752828898","image_2_thumb_url":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/datafiles\/39825\/upload\/thumb_files\/PlasmaPro-80-PECVD-Operator.jpg?t=1779261602","time_promotion":false,"date_sale":[],"status_order":7,"variant_options":[{"id":63715,"name":"Application","code_color":"","display_order":1,"image":"","thumb_url":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/datafiles\/39825\/upload\/thumb_files\/ADST%20favicon%20Red.png","type":3,"options":[{"id":63716,"name":"Materials Sciences","code_color":"","display_order":1,"image":"","thumb_url":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/datafiles\/39825\/upload\/thumb_files\/ADST%20favicon%20Red.png","type":3}]},{"id":64221,"name":"Technique","code_color":"","display_order":2,"image":"","thumb_url":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/datafiles\/39825\/upload\/thumb_files\/ADST%20favicon%20Red.png","type":3,"options":[{"id":64787,"name":"Analysis and Measurement","code_color":"","display_order":3,"image":"","thumb_url":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/datafiles\/39825\/upload\/thumb_files\/ADST%20favicon%20Red.png","type":3}]}],"variants":[{"status_inventory":1,"status_order":7,"id":819862,"product_id":3610750,"sku":"1752828286504","barcode":"","quantity":0,"quantity_alert":0,"price":0,"price_discount":0,"images":[],"display_order":0,"is_point":"","point":"","vat":"","weight":"","variant_options":{"63715":{"id":63716,"name":"Materials Sciences"},"64221":{"id":64787,"name":"Analysis and Measurement"}},"variant_option_name":"Materials Sciences-Analysis and Measurement","image":"","price_final":0,"price_final_format":"0 đ","price_format":"0 đ","price_discount_format":"0 đ","percent_discount":0,"date_sale":[],"percent_discount_format":"- 0%","price_discount_final_format":"0 đ"}],"variantIdDefault":819862,"image_list":[{"image_url":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/datafiles\/39825\/upload\/files\/PlasmaPro-80-PECVD-Operator.jpg","image_thumb_url":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/datafiles\/39825\/upload\/\/thumb_files\/PlasmaPro-80-PECVD-Operator.jpg"}],"product_articles":[{"id":108104,"name":"Specification","desc":"","content":"Wafer Size: Smallest wafer pieces up to 200mm wafers&nbsp; \nElectrode Diameter: 240mm electrode accommodates wafers up to 200mm in size for all system configurations&nbsp; \nElectrode Temperature Range: Up to 400oC, with options for helium-assisted backside cooling and cryogenic electrode option down to &minus;150 ∘ C&nbsp; \nPlasma Power Frequencies: 13.56 MHz (for RIE, ICP, PE). For PECVD, stress control is provided by selectable or mixed high\/low frequency plasma power&nbsp; \nDatalogging: 50ms datalogging of capacitor values and continuous system data logging (50ms)&nbsp; \nGas Lines: Up to 12 gas lines&nbsp; \nOverall Dimensions (mm): Height: 1527mm; Width: 762mm; Depth: 940mm (with wheels), 1256mm (for transportation purposes, likely without wheels). Wheels are removable and for transportation purposes only<\/p>\n"},{"id":108105,"name":"Đặc điểm","desc":"","content":"- Hệ thống nhỏ gọn, chiếm &iacute;t kh&ocirc;ng gian, dễ d&agrave;ng lắp đặt v&agrave; sử dụng, kh&ocirc;ng ảnh hưởng đến chất lượng quy tr&igrave;nh . \n- Nhiều cấu h&igrave;nh c&ocirc;ng nghệ xử l&yacute; bao gồm RIE, ICP, PECVD v&agrave; RIE\/PE . \n- L&agrave;m m&aacute;t điện cực tối ưu mang lại khả năng kiểm so&aacute;t quy tr&igrave;nh, độ đồng đều nhiệt độ wafer v&agrave; t&iacute;nh linh hoạt tuyệt vời . \n- Bộ tự động khớp nối (AMU) ti&ecirc;n tiến cho ph&eacute;p c&agrave;i đặt dễ d&agrave;ng, khớp nối nhanh trong phạm vi rộng v&agrave; truyền RF tuyệt vời . \n- C&aacute;c hệ thống ph&aacute;t hiện điểm cuối t&ugrave;y chọn như giao thoa kế laser v&agrave; quang phổ ph&aacute;t xạ quang (OES) để kiểm so&aacute;t qu&aacute; tr&igrave;nh khắc . \n- Hệ thống điều khiển kh&iacute; m&ocirc;-đun với cơ sở bỏ qua từ xa, cho ph&eacute;p l&ecirc;n đến 12 đường kh&iacute; . \n- Phần mềm PC4000&trade; th&acirc;n thiện với người d&ugrave;ng cung cấp giao diện người d&ugrave;ng r&otilde; r&agrave;ng, quản l&yacute; c&ocirc;ng thức quy tr&igrave;nh, ghi nhật k&yacute; dữ liệu li&ecirc;n tục (50ms) v&agrave; ho&agrave;n to&agrave;n tương th&iacute;ch GEM\/SECS . \n- Tải nhiệt thấp v&agrave; hiệu suất năng lượng cao.<\/p>\n"}],"total_point_review":0,"link_youtube":"https:\/\/www.youtube.com\/embed\/","video_url":"","booking_url":"javascript:void(0)","brand_name":"Oxford Instruments","qr_code":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/plasma-enhanced-chemical-vaporator-deposition-pecvd.html","promotion_name":"","option":{"2":"Sản phẩm mới","3":"Sản phẩm đặt biệt","4":"Sản phẩm Hot"},"status_inventory_value":1,"status_inventory":"Còn hàng","price":false,"price_final":false,"percent_discount":false,"price_discount":false}]},"widget_6484467":{"content_data":{"content":"RELATED PRODUCTS"}},"widget_6465025":{"content_data":{"content":"PRODUCTS"}},"widget_6465119":{"content_data":{"content":"APPLICATION"}},"widget_6465145":{"content_data":{"content":"SERVICES"}},"widget_6465148":{"content_data":{"content":"LIBRARY"}},"widget_6465151":{"content_data":{"content":"COMPANY"}},"widget_6465154":{"content_data":{"content":"SOCIAL NETWORK"}},"widget_6442277":{"content_data":{"content":"Thông tin"}},"widget_6465152":{"content_data":[{"id":136579,"name":"Contact","desc":"","content":"","image_url":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/datafiles\/39825\/upload\/files\/ADST%20favicon%20Red.png","image_thumb_url":"https:\/\/www.adtechnology.vn\/datafiles\/39825\/upload\/thumb_files\/ADST%20favicon%20Red.png","tags":"","count_view":0,"seo_name":"contact","date_update":0,"date_created_format":"0","meta_title":"","meta_desc":"","meta_keyword":"","unique":110713,"index":0}]},"widget_6587237":{"content_data":{"content":"REGISTER"}},"title_page":"Products","relate_object_id":3678842}

Maskless Lithography System DWL 2000 GS / DWL 4000 GS - Heidelberg Instruments

Key Features

Detailed Description

Technology & Principle

Integration & Expansion

Technical Specifications

PRODUCTS

RELATED PRODUCTS

Hệ thống Quang khắc không mặt nạ đầu dò nhiệt NanoFrazor

Maskless Lithography System DWL 2000 GS / DWL 4000 GS - Heidelberg Instruments

Hệ thống quang khắc chùm ion Elionix

Plasma Enhanced Chemical Vaporator Deposition - PECVD

ADST - An Dong Technology Join Stock Company

Thông tin

PRODUCTS

APPLICATION

SERVICES

LIBRARY

COMPANY

SOCIAL NETWORK