PRO Line PVD 200 tương thích với các kỹ thuật sau: Bốc hơi nhiệt (tối đa sáu thuyền cá nhân 4")
Phần mềm của KJLC cho phép tạo công thức thân thiện với người dùng cùng với mô-đun xử lý đáng tin cậy, không bị gián đoạn cho phép hoàn thành quy trình, bất kể trạng thái của giao diện người dùng máy tính. Để biết thêm thông tin về gói phần mềm trực quan, độc đáo và đáng tin cậy này,
PRO Line PVD 200 cung cấp bốn loại bơm chân không cao áp trong buồng xử lý, một máy bơm tua-bin Pfeiffer 790 L/s (tiêu chuẩn), cũng như một máy bơm tua-bin Pfeiffer 1250L/s tùy chọn, Brooks CTI-8F 1500 L/s, hoặc máy bơm lạnh 3000 L/s. Máy bơm tuabin phân tử Pfeiffer là một lựa chọn tốt để bơm chất lượng cao với chi phí tổng thể hiệu quả, đặc biệt cho các ứng dụng phún xạ. Máy bơm cryo Brook CTI được sử dụng trong các ứng dụng yêu cầu độ chân không thấp nhất có thể, đặc biệt đối với các ứng dụng bay hơi nhiệt và chùm tia điện tử.
Biểu đồ bên phải thể hiện hiệu suất bơm dự kiến trung bình theo loại bơm đối với buồng xử lý PRO Line PVD 200 được trang bị sạch sẽ và khô ráo với (5) nguồn TORUS 3" Mag-keeper được lắp đặt và ống thổi uốn kim loại dài 3' dài 1,5" để gia công thô đường kẻ.
PRO Line PVD 200 đã được thiết kế để đạt được tính đồng nhất tối ưu và cho phép áp suất cơ sở tối đa mà các hệ thống R&D mô-đun cho đến nay không thể đạt được. Biểu đồ bên trái cho thấy độ đồng đều dự kiến trung bình theo loại lắng đọng và đường kính tấm wafer của chất nền. Các phép đo độ dày được thực hiện bằng Máy đo cấu hình hoặc máy đo phản xạ quang phổ. Tính đồng nhất thực tế có thể đạt được sẽ là một chức năng của cấu hình cuối cùng của hệ thống và các thông số quy trình.
Các nguồn TORUS® được vận hành ở áp suất phún xạ thông thường (< 20 mTorr) và sử dụng các tấm Si để lắng đọng. Mục tiêu SiO2 chạy với Công suất RF, độ dày màng >=500Å. Al Mục tiêu chạy với Nguồn DC, độ dày màng >=1500Å. Ni Target chạy với High Strength TORUS® & DC Power, độ dày màng >=1500Å.
Quá trình lắng đọng chùm tia điện tử KJLC sử dụng các tấm Si để lắng đọng. Vật liệu bay hơi Ti có độ dày màng >=1500Å.
Tất cả Phim đều được đo trên Máy đo cấu hình, Máy đo độ phản xạ hoặc Máy đo độ elip (nếu có).
Các điểm đo được lấy bắt đầu từ trung tâm của chất nền và sau đó hướng ra ngoài mỗi 0,5 inch (12,7mm), trên danh nghĩa (hình tham chiếu bên phải).
Công thức tính toán độ đồng nhất là: ((Tối đa - Tối thiểu) / (2 x Trung bình)) x 100% với loại trừ cạnh 0,2 inch (5 mm).
Thông số kỹ thuật
Khối lượng buồng chứa xử lý | 19.25” rộng x 20.5” sâu x 24” cao (488.95mm rộng x 520.7mm sâu x 609.6mm cao) thuận lợi cho các ứng dụng phún xạ hoặc bay hơi ngắn hơn hoặc e-beam | 155 lít |
19.25” rộng x 20.5” sâu x 36” cao (488.95mm rộng x 520.7mm sâu x 914.4mm cao) thuận lợi cho các quá trình bay hơi xa hoặc e-beam | 232 lít | |
Nhôm, kín vòng chữ O, có bản lề, cửa ra vào phía trước Tấm bên kín vòng chữ O (2), cho phép mô-đun hóa và khả năng nâng cấp tối đa |
| |
Buồng xử lý | Thép không gỉ 304L với cửa bản lề bằng Aluminum 6061 | |
Cabinet | Carbon, Giá đỡ dụng cụ được bao kín hoàn toàn, Khu vực buồng mở, Lớp hoàn thiện sơn tĩnh điện màu xám | |
Deposition Sources (Available in various combinations) | Lên tới (8) 2' or 3” Torus® Cathode phún xạ Magnetron | |
Nguồn tia điện tử 4 túi 8cc, 8 túi 12cc và 6 túi 20cc Có sẵn | ||
Lên tới (6) 4'' Nguồn bốc hơi nhiệt | ||
Lên tới (2) LTE Nguồn bốc hơi vật liệu hữu cơ | ||
Định hướng lắng đọng | Phún xạ hướng lên, Bay hơi hướng lên | |
Làm sạch bề mặt | Nguồn ion hoặc Nguồn ion thiên vị eH400 end-Hall, nguồn ion có lưới KDC40 hoặc Thiên vị RF 100W | |
Kích thước chất nền (max) | Đơn 8'' (200mm) với vòng quay biến thiên tối đa 20 RPM | |
Làm nóng/Làm mát bề mặt | Lên tới 850°C hoặc làm đóng băng | |
Áp xuất bơm chân không cơ sở (CDE) | Bơm tăng áp 790 l/sec — 9 x 10-7 torr (1.2 x 10-6 mbar) tăng áp 1250 l/sec — 5 x 10-7 torr (6.7 x 10-7 mbar) 1500 l/sec Bơm lạnh sẵn có — 8 x 10-8 torr (1.1 x 10-7 mbar) 3000 l/sec Bơm lạnh sẵn có — 5 x 10-8 torr (6.7 x 10-8 mbar) | |
Xử lý khí | Kiểm soát lưu lượng lớn 4 kênh với van cổng 3 vị trí hoặc vị trí thay đổi | |
Điều khiển hệ thống | Kiểm soát công thức nâng cao và ghi dữ liệu PC-Based HMI, eKLipseTM | |
Nguồn yêu cầu (điển hình, dựa trên một số tuỳ chọn) | 208VAC, 3Ø, 50/60 Hz; Tuỳ chọn 380VAC, 3Ø, 50/60 Hz | |
Chứng nhận sẵn có, Đánh dấu | Các hệ thống trong Khu vực Kinh tế Châu Âu (EEA) được đánh dấu CE và tuân thủ các chỉ thị sau của EU: -Chỉ thị Điện áp Thấp (LVD) 2014/35/EU -Chỉ thị về Khả năng Tương thích Điện từ (EMC) 2014/30/EU Các hệ thống bên ngoài EEA có thể được đánh dấu CE theo yêu cầu CSA và chứng nhận NRTL có sẵn | |
Bảo hành | 12 tháng sau khi giao hàng | |
Kích thước tổng thể | rộng 59.5” (1511.3mm) x sâu 32” (812.8mm) x cao 75.9” (1928mm) | |
Trọng lượng | 2,200 lbs (998 kg) | |
Các ứng dụng
CÁM ƠN BẠN ĐÃ GHÉ THĂM WEBSITE MỚI CỦA CHÚNG TÔI!
